示,在壁部232的上表面设有螺旋状的第二轴向动压槽列64。
[0073]在主轴马达11驱动时,旋转部件31相对于轴22以及下环状部件23朝向一个方向旋转。此时,第一轴向动压槽列63对位于上环状部221的下表面与连接部312的上表面之间的润滑液60引起动压。并且,第二轴向动压槽列64对位于壁部232的上表面与连接部312的下表面之间的润滑液60引起动压。由此,旋转部件31在轴向上支承于轴22以及下环状部件23。
[0074]另外,第一轴向动压槽列63只要设置在上环状部221的下表面以及连接部312的上表面中的与上环状部221相向的部分中的至少一方即可。第二轴向动压槽列64只要设置在壁部232的上表面以及连接部312的下表面中的与壁部232相向的部分中的至少一方即可。并且,第一轴向动压槽列以及第二轴向动压槽列也可以是人字状的槽列。
[0075]并且,旋转部件31具有与中央贯通孔310不同的连通孔317。连通孔317在比中央贯通孔310靠径向外侧且比上侧突出部315以及下侧突出部316靠径向内侧的位置将连接部312上下贯通。也就是说,连通孔317在轴向上将设置于连接部312的上表面的上开口 318与设置于连接部312的下表面的下开口 319连接。连通孔317的内部也填满了润滑液60。
[0076]这样,润滑液60从上密封部65经由轴22与旋转部件31之间的间隙以及连通孔317连续填充到下密封部66。因此,润滑液60的液面只成为保持于上密封部65的液面601以及保持于下密封部66的液面602这两个部位。由此能够抑制润滑液60蒸发。
[0077]接下来,对上述的抽吸槽列61、径向动压槽列62、第一轴向动压槽列63以及第二轴向动压槽列64中包括的各动压槽71至74的详细结构进行说明。图7为从中心轴线9侧观察抽吸槽列61附近的旋转部件31的内周面的图。图8为旋转部件31的抽吸槽列61附近的局部横向剖视图。图9为从中心轴线9侧观察径向动压槽列62附近的旋转部件31的内周面的图。图10为第一轴向动压槽列63附近的轴22的上环状部221的局部仰视图。另外,在图9以及图10中,动压槽72、73内出现的细线为后述的条纹的缘部。
[0078]如上所述,流体动压轴承6具有抽吸槽列61、径向动压槽列62、第一轴向动压槽列63以及第二轴向动压槽列64这四种动压槽列。如图4至图6所示,这些动压槽列61至64分别由多个动压槽71至74沿周向大致等间隔地配置而成。具体地说,抽吸槽列61具有多个抽吸动压槽71。径向动压槽列62具有多个径向动压槽72。第一轴向动压槽列63具有多个第一轴向动压槽73。并且,第二轴向动压槽列64具有多个第二轴向动压槽74。
[0079]动压槽71至74分别通过切削而形成。也就是说,通过使用作为切削工具的切刀对旋转部件31的内周面、轴22的上环状部221的下表面、下环状部件23的壁部232的上表面进行切削,从而形成抽吸动压槽71以及径向动压槽72、第一轴向动压槽73、第二轴向动压槽74。因此,切刀留下的槽状的切削痕迹形成于各动压槽71至74内。由于第二轴向动压槽74的详细结构与第一轴向动压槽73的相同,因此省略以下的说明。
[0080]如图7所示,在抽吸动压槽71的底部配置有多个条纹81。条纹81以及后述的条纹
821、822、83均为切刀留下的切削痕迹,且为相对于周向倾斜延伸的槽。并且,条纹81、821、
822、83分别为朝向供各条纹81、821、822、83配置的动压槽71至74的深度方向凹陷的槽。[0081 ]抽吸动压槽71朝向相对于周向具有比O度大的角度的αρ度的方向延伸。并且,条纹81朝向相对于周向具有比O度大且在αρ度以下的角度βρ度的方向延伸。
[0082]在此,优选动压槽71至74相对于周向的角度分别在10度以上且在30度以下。这种情况下,在各动压槽71至74中,能够高效地获得动压力。并且,还优选动压槽71至74相对于周向的角度分别在18度以上且22度以下。通过将动压槽71至74相对于周向的角度设定在20度附近,尤其能够在各动压槽71至74中高效地获得动压力。
[0083]如图7所示,在主轴马达11驱动时,具有抽吸动压槽71的旋转部件31相对于轴22沿周向(实线箭头所示的方向)旋转。此时,在抽吸动压槽71内,润滑液60朝向相对于周向具有αρ度的方向(虚线箭头所示的方向)移动。由此,抽吸动压槽71的下端且周向一端成为高动压区域701,抽吸动压槽71的上端且周向另一端成为低动压区域702。
[0084]并且,在主轴马达11驱动时,在条纹81的内部,润滑液60沿着条纹81所延伸的方向移动。也就是说,在条纹81的内部,润滑液60朝向相对于周向具有βρ度的方向(双点划线箭头所示的方向)移动。
[0085]如现有的例子那样,假设条纹81被设定为沿周向延伸,则润滑液60在条纹81内移动的方向与润滑液60在抽吸动压槽71内且除了条纹81之外的部分移动的方向形成具有αρ度的角度。如此一来,润滑液60在条纹81内的流动阻碍了润滑液60在条纹81之外的部分沿轴向的移动。因此,难以提高在抽吸动压槽71中产生的动压力。
[0086]在该抽吸动压槽71中,通过条纹81相对于周向倾斜配置,从而在条纹81内润滑液60在沿周向移动的同时还沿轴向移动。由此,润滑液60在条纹81内的流动不易阻碍润滑液60在条纹81之外的部分沿轴向的移动。
[0087]具体地说,在该抽吸动压槽71中,润滑液60在条纹81内移动的方向与润滑液60在抽吸动压槽71内且除了条纹81之外的部分移动的方向所形成的角度θρ形成为αρ-βρ度,比现有的αρ度小。也就是说,润滑液60在条纹81内移动的方向与润滑液60在抽吸动压槽71内且除了条纹81之外的部分移动的方向所形成的角度θρ比条纹81沿周向的情况接近O度。因此,润滑液60在抽吸动压槽71内的流动不易被条纹81阻碍。
[0088]因此,在抽吸动压槽71内,润滑液60容易从低动压区域702向高动压区域701移动。由此,能够提高在抽吸动压槽71中产生的动压力。另外,更加优选αρ度与βρ度为大致相同的角度。如果像这样,则在抽吸动压槽71内,润滑液在条纹81内的流动与润滑液在条纹81外的部分的流动大致形成为相同的方向。也就是说,润滑液在条纹81内的流动不会阻碍润滑液在条纹81外的部分的流动。
[0089]在此,如图7以及图8所示,将条纹81的宽度方向的两端称为缘部811。将条纹81中的最朝向抽吸动压槽71的深度方向凹陷的部分称为最深部812。并且,如图8所示,将从配置有抽吸动压槽71的旋转部件31的内周面到最深部812的该深度方向的距离称为抽吸动压槽71的深度DI。将从缘部811到最深部812的该深度方向的距离称为条纹81的深度D2。距离条纹81的缘部811的深度D2比抽吸动压槽71的深度Dl浅。在本实施方式中,条纹81的深度D2在抽吸动压槽71的深度Dl的三分之一以下,十分小。
[0090]通过将条纹81的深度D2设置得比抽吸动压槽71的深度Dl浅,从而能够减小润滑液60在条纹81外的流动因润滑液60在条纹81内的流动而受到的影响,润滑液60在条纹81外的流动是指润滑液60在抽吸动压槽71内的大幅流动。因此,能够进一步提高抽吸动压槽71中产生的动压力。也就是说,能够降低流体动压轴承6的轴承损失,并能够进一步提高轴承刚性。
[0091]同样,后述的条纹821、822、83的深度也比各供条纹821、822、83配置的动压槽721、722、73的深度浅。
[0092]如图9所示,径向动压槽72为所谓的人字状的动压槽,所述动压槽具有:第一动压槽721,所述第一动压槽721随着从上方向下方而朝着周向一侧;以及第二动压槽722,所述第二动压槽722随着从上方向下方而朝着周向另一侧。
[0093]本实施方式的径向动压槽72还具有上下延伸的连接槽723。连接槽723将第一动压槽721的下端部和第二动压槽722的上端部连接。也就是说,第一动压槽721的周向一侧的端部与第二动压槽722的周向一侧的端部通过连接槽723而相连。连接槽723具有包括连接槽723的上端在内的第一连接部724和包括连接槽723的下端在内的第二连接部725。
[0094]在第一动压槽721以及第一连接部724的底部配置有多个条纹821。并且,在第二动压槽722以及第二连接部725的底部配置有多个条纹822。
[0095]第一动压槽721朝向相对于周向具有α?度的方向延伸。第二动压槽722朝向相对于周向具有α2度的方向延伸。并且,条纹821朝向相对于周向具有β?度的方向延伸。条纹822朝向相对于周向具有β2度的方向延伸。另外,α?度、α2度、β?度以及β2度分别为比O度大的角度。
[0096]如图9所示,在主轴马达11驱动时,具有径向动压槽72的旋转部件31相对于轴22沿周向(实线箭头所示的方向)旋转。此时,在第一动压槽721内,润滑液60朝向相对于周向具有α?度的方向(上侧的虚线箭头所示的方向)移动。并且,在第二动压槽722内,润滑液60朝向相对于周向具有α2度的方向(下侧的虚线箭头所示的方向)移动。由此,包括第一动压槽721的下侧且周向一侧的端部、连接槽723、第二动压槽722的上侧且周向一侧的端部在内的区域成为产生比其他区域高的动压力的高动压区域701。并且,包括第一动压槽721的上侧且周向另一侧的端部在内的区域与包括第二动压槽722的下侧且周向另一侧的端部在内的区域分别成为低动压区域702。
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