] S101，获取采集的多个工艺数据，其中，多个工艺数据中包括多个采集时间点 以及多个采集时间点对应的多个工艺参数值bflv
[0025] 具体地，获取某个工艺参数的工艺数据（a。，b。)、（ai，bj、（a 2, b2)、…（an，bn)。其 中，工艺数据中a代表采集某个工艺参数的采集时间点，b代表该采集时间点采集到的某个 工艺参数的数值。例如，采集的工艺数据在时间点a。处有采集值b。，在时间点处有采集 值匕，在时间点a 2处有采集值b2等等。
[0026] S102,根据多个采集时间点生成多个插值区间。
[0027] 具体地，通过对采集到的工艺数据中的多个采集时间点按照从前到后的顺序排 序，然后可以根据多个采集时间点生成多个插值区间。例如，采集到η个工艺数据，可以得 到 η-1 个插值区间[a。，aj、[a^ a2]、…[an aj。
[0028] S103,获取插值点集合，其中，插值点集合中包括n个插值点xn，n为正整数。
[0029] 具体地，获取在整个工艺过程中希望得到工艺参数值的全部时间点，并将这些时 间点按由小到达的顺序进行排序，可以得到一个包含多个时间点的集合X= {Xl，X2,巧… χη}。也就是说，在这些希望得到工艺参数值的时间点上并非采集到了对应的采集值，而是 通过本发明中的方法计算得到的，换言之，这些时间点就是需要通过计算方式得到工艺参 数值的插值点。
[0030] S104,获取插值点集合中每个插值点X所处的插值区间，并根据每个插值点所处 的插值区间计算每个插值点X对应的工艺参数值y。
[0031] 具体地，由于工艺数据是基于时间序列的数据，并且工艺数据是基于工艺参数值 的变化采集的，因此，在每一个连续的采集区间内，每个插值点对应的工艺参数值应该是收 敛且连续的。因此，我们将每个插值点对应的工艺参数值落在插值区间上，使用区域分段线 性插值法去估计插值区间上的每个插值点对应的工艺参数值，使得估算出来的工艺参数值 接近缺失的插值点的实际工艺参数值。
[0032] 具体而言，依次遍历插值点集合X中的每个插值点X，确定每个插值点X所在的插 值区间，并通过分析计算得到该插值点X对应的缺失的工艺参数值y。例如，如图2所示，时 间轴上分布有根据采集到的工艺数据的采集时间点生成的插值区间，插值点 Χι、χ2和χη分 布在时间轴上的插值区间中。我们可以根据插值点X所在的插值区间分为三种情况考虑， 通过以下公式计算得出该插值点X对应的工艺参数值y。
[0033] 在本发明的一个实施例中，如果x<a。，则y = b。。具体而言，如果插值点x小于 或者等于采集时间点a。，说明插值点X位于采集到的最小采集时间点a。之前或者位于采集 到的最小采集时间点a。上，此时，我们用最小的采集时间点a。上的工艺参数值b。代替插值 点X上的工艺参数值y。
[0034] 在本发明的一个实施例中，如果X e [ai，ai+1]，贝
+1，其中，
[%，a1+1]为多个插值区间中的一个，h是采集时间点对应的工艺参数值，b1+1是采集时间 点a1+1对应的工艺参数值。具体而言，如果插值点X在某个插值区间[ai，a1+1]之内，在区间 [%，a 1+1]上可以利用一维线性插值的原理近似得到插值点X上的工艺参数值y。
[0035] 在本发明的一个实施例中，如果X > an，则y = bn。具体而言，如果插值点X大于 或者等于采集时间点an，说明插值点X位于采集到的最大采集时间点a n之后或者位于采集 到的最大采集时间点an上，此时，我们用最大的采集时间点an上的工艺参数值b n代替插值 点X上的工艺参数值y。
[0036] 应当理解的是，通过依次计算插值点集合X = {Xp X2, Χ3···Χη}中的每个插值点X 上的工艺参数值，可以得到希望得到的更加完备、直观的工艺数据。
[0037] 本发明实施例的工艺数据的处理方法，通过采集到的工艺数据中的采集时间点生 成多个插值区间，并确定多个插值点所处的插值区间，以及利用分段线性插值原理计算得 到插值点上的工艺参数值，对工艺数据进行插值处理，由此，针对采集到的工艺数据缺失情 况，最大限度的发掘工艺数据信息，保证了工艺过程中的工艺数据的完备性，有利于监测人 员的查看，为后续的工艺数据的分析工作提供了完整有效的数据支持。
[0038] 为了实现上述实施例，本发明还提出一种工艺数据的处理装置。
[0039] 图3是本发明一个实施例的工艺数据的处理装置的结构示意图。
[0040] 如图3所示，工艺数据的处理装置包括：第一获取模块100、生成模块200、第二获 取模块300和计算模块400。
[0041] 具体地，第一获取模块100用于获取采集的多个工艺数据，其中，多个工艺数据中 包括多个采集时间点以及多个采集时间点8。-8"对应的多个工艺参数值bfh。具体而 言，第一获取模块1〇〇获取某个工艺参数的工艺数据（a。，b。)、（ ai，bi)、（a2, b2)、…（an，bn)。 其中，工艺数据中a代表采集某个工艺参数的采集时间点，b代表该采集时间点采集到的某 个工艺参数的数值。例如，采集的工艺数据在时间点a。处有采集值b。，在时间点处有采 集值匕，在时间点a 2处有采集值b2等等。
[0042] 生成模块200用于根据多个采集时间点生成多个插值区间。具体而言，生成模块 200通过对采集到的工艺数据中的多个采集时间点按照从前到后的顺序排序，然后可以根 据多个采集时间点生成多个插值区间。例如，采集到η个工艺数据，可以得到n-1个插值区 间[a0, a^]、[a^，a〗]、... [ειη 1，ειη]。
[0043] 第二获取模块300用于获取插值点集合，其中，插值点集合中包括η个插值点χη，η 为正整数。具体而言，第二获取模块300获取在整个工艺过程中希望得到工艺参数值的全 部时间点，并将这些时间点按由小到达的顺序进行排序，可以得到一个包含多个时间点的 集合X= {xp x2, xfxn}。也就是说，在这些希望得到工艺参数值的时间点上并非采集到 了对应的采集值，而是通过本发明中的方法计算得到的，换言之，这些时间点就是需要通过 计算方式得到工艺参数值的插值点。
[0044] 计算模块400用于获取插值点集合中每个插值点X所处的插值区间，并根据每个 插值点所处的插值区间计算每个插值点X对应的工艺参数值y。具体而言，由于工艺数据是 基于时间序列的数据，并且工艺数据是基于工艺参数值的变化采集的，因此，在每一个连续 的采集区间内，每个插值点对应的工艺参数值应该是收敛且连续的。因此，我们假每个插值 点对应的工艺参数值落在插值区间上，使用区域分段线性插值法去估计插值区间上的每个 插值点对应的工艺参数值，使得估算出来的工艺参数值接近缺失的插值点的实际工艺参数 值。
[0045] 进一步而言，计算模块400依次遍历插值点集合X中的每个插值点X，确定每个插 值点X所在的插值区间，并通过分析计算得到该插值点X对应的缺失的工艺参数值y。例 如，如图2所示，时间轴上分布有根据采集到的工艺数据的采集时间点生成的插值区间，插 值点 Xl、x2和χη分布在时间轴上的插值区间中。计算