模块400可以根据插值点X所在的插 值区间分为三种情况考虑，通过以下公式计算得出该插值点X对应的工艺参数值y。
[0046] 在本发明的一个实施例中，计算模块400还用于当X彡a。时，计算得到y = b。。具 体而言，如果插值点X小于或者等于采集时间点a。，说明插值点X位于采集到的最小采集时 间点a。之前或者位于采集到的最小采集时间点a。上，此时，计算模块400用最小的采集时 间点a。上的工艺参数值b。代替插值点X上的工艺参数值y。
[0047] 在本发明的一个实施例中，计算模块400还用于当X e [ai, ai+1]时，计算得到
3i+l，其中，[&1，a 1+1]为多个插值区间中的一个，h是采集时间点对 应的工艺参数值，b1+1是采集时间点a1+1对应的工艺参数值。具体而言，如果插值点X在某 个插值区间[ai，a1+1]之内，计算模块400在区间[ai，a 1+1]上可以利用一维线性插值的原理 近似得到插值点X上的工艺参数值y。
[0048] 在本发明的一个实施例中，计算模块400还用于当X > an时，计算得到y = bn。具 体而言，如果插值点X大于或者等于采集时间点an，说明插值点X位于采集到的最大采集时 间点a n之后或者位于采集到的最大采集时间点an上，此时，计算模块400用最大的采集时 间点a n上的工艺参数值bn代替插值点X上的工艺参数值y。
[0049] 本发明实施例的工艺数据的处理装置，通过采集到的工艺数据中的采集时间点生 成多个插值区间，并确定多个插值点所处的插值区间，以及利用分段线性插值原理计算得 到插值点上的工艺参数值，对工艺数据进行插值处理，由此，针对采集到的工艺数据缺失情 况，最大限度的发掘工艺数据信息，保证了工艺过程中的工艺数据的完备性，有利于监测人 员的查看，为后续的工艺数据的分析工作提供了完整有效的数据支持。
[0050] 应当理解，本发明的各部分可以用硬件、软件、固件或它们的组合来实现。在上述 实施方式中，多个步骤或方法可以用存储在存储器中且由合适的指令执行系统执行的软件 或固件来实现。例如，如果用硬件来实现，和在另一实施方式中一样，可用本领域公知的下 列技术中的任一项或他们的组合来实现：具有用于对数据信号实现逻辑功能的逻辑门电路 的离散逻辑电路，具有合适的组合逻辑门电路的专用集成电路，可编程门阵列（PGA)，现场 可编程门阵列（FPGA)等。
[0051] 在本发明中，除非另有明确的规定和限定，术语"安装"、"相连"、"连接"、等术语应 做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也 可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连 通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言，可 以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
[0052] 在本说明书的描述中，参考术语"一个实施例"、"一些实施例"、"示例"、"具体示 例"、或"一些示例"等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特 点包含于本发明的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不 必须针对的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任 一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。此外，在不相互矛盾的情况下，本领域的技 术人员可以将本说明书中描述的不同实施例或示例以及不同实施例或示例的特征进行结 合和组合。
[0053] 尽管上面已经示出和描述了本发明的实施例，可以理解的是，上述实施例是示例 性的，不能理解为对本发明的限制，本领域的普通技术人员在本发明的范围内可以对上述 实施例进行变化、修改、替换和变型。
【主权项】
1. 一种工艺数据的处理方法，其特征在于，包括以下步骤： 获取采集的多个工艺数据，其中，所述多个工艺数据中包括多个采集时间点a。-^以及 所述多个采集时间点对应的多个工艺参数值bfh ; 根据所述多个采集时间点生成多个插值区间； 获取插值点集合，其中，所述插值点集合中包括η个插值点χη，η为正整数；以及 获取所述插值点集合中每个插值点X所处的插值区间，并根据所述每个插值点所处的 插值区间计算所述每个插值点X对应的工艺参数值y。2. 如权利要求1所述的工艺数据的处理方法，其特征在于，所述根据所述每个插值点 所处的插值区间计算所述每个插值点X对应的工艺参数值y具体包括： 如果X彡a。，则y = b0。3. 如权利要求1所述的工艺数据的处理方法，其特征在于，所述根据所述每个插值点 所处的插值区间计算所述每个插值点X对应的工艺参数值y具体包括： 如果X e [ai，ai+1]，其中，a1+1]为所述多个插值区间中 的一个，4是采集时间点对应的工艺参数值，b1+1是采集时间点a1+1对应的工艺参数值。4. 如权利要求1所述的工艺数据的处理方法，其特征在于，所述根据所述每个插值点 所处的插值区间计算所述每个插值点X对应的工艺参数值y具体包括： 如果X彡an，则y = bn。5. -种工艺数据的处理装置，其特征在于，包括： 第一获取模块，用于获取采集的多个工艺数据，其中，所述多个工艺数据中包括多个采 集时间点以及所述多个采集时间点对应的多个工艺参数值bfh ; 生成模块，用于根据所述多个采集时间点生成多个插值区间； 第二获取模块，用于获取插值点集合，其中，所述插值点集合中包括η个插值点χη，η为 正整数；以及 计算模块，用于获取所述插值点集合中每个插值点X所处的插值区间，并根据所述每 个插值点所处的插值区间计算所述每个插值点X对应的工艺参数值y。6. 如权利要求5所述的工艺数据的处理装置，其特征在于，所述计算模块具体用于： 如果X彡a。，则y = b0。7. 如权利要求5的工艺数据的处理装置，其特征在于，所述计算模块具体用于：其中，[ai，a1+1]为所述多个插值区间中 的一个，4是采集时间点对应的工艺参数值，b1+1是采集时间点a1+1对应的工艺参数值。8. 如权利要求5所述的工艺数据的处理装置，其特征在于，所述计算模块具体用于： 如果X彡an，则y = bn。
【专利摘要】本发明提出一种工艺数据的处理方法和装置。其中，该方法包括：获取采集的多个工艺数据，其中，多个工艺数据中包括多个采集时间点a0-an以及多个采集时间点a0-an对应的多个工艺参数值b0-bn；根据多个采集时间点生成多个插值区间；获取插值点集合，其中，插值点集合中包括n个插值点xn，n为正整数；以及获取插值点集合中每个插值点x所处的插值区间，并根据每个插值点所处的插值区间计算每个插值点x对应的工艺参数值y。本发明实施例的工艺数据的处理方法，针对采集到的工艺数据缺失情况，最大限度的发掘工艺数据信息，保证了工艺过程中的工艺数据的完备性，有利于监测人员的查看，为后续的工艺数据的分析工作提供了完整有效的数据支持。
【IPC分类】G05B19/418
【公开号】CN105676792
【申请号】
【发明人】相会凤
【申请人】北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司
【公开日】2016年6月15日
【申请日】2014年11月17日