部105对省略图示的栗进行驱动控制而使冷却液从第一喷嘴61排出。
[0056]第二喷嘴控制部106对省略图示的栗进行驱动控制而使冷却液从第二喷嘴62排出。
[0057]修整装置控制部107对修整装置驱动马达81进行驱动控制而使修整装置7沿Z轴方向移动，另外，对修整器驱动马达73进行控制而使旋转修整器72旋转。
[0058]第一机器人控制部108对省略图示的卡盘用马达进行驱动控制分别使第一、第二机器人卡盘94a、94b的爪开闭从而进行被研磨物W的拾起或者设置，另外，对第一臂驱动马达95进行驱动控制使第一臂93旋转从而使支承于第一、第二机器人卡盘94a、94b的被研磨物W移动。
[0059]第二机器人控制部109对省略图示的卡盘用马达进行驱动控制分别使第一、第二机器人卡盘97a、97b的爪开闭从而进行被研磨物W的拾起或者设置，另外，对第二臂驱动马达98进行驱动控制使第二臂96旋转从而使支承于第一、第二机器人卡盘97a、97b的被研磨物W移动。
[0060]加工开始相位调整部110在支承于第一主轴31的第一主轴卡盘33的被研磨物W的研磨加工中或支承于第二主轴41的第二主轴卡盘43的被研磨物W的研磨加工中，或者在砂轮轴51从第一主轴台3朝向第二主轴台4移动中或砂轮轴51从第二主轴台4朝向第一主轴台3移动中，对第二主轴控制部102或第一主轴控制部101送出将支承于第二主轴41的第二主轴卡盘43的被研磨物W或支承于第一主轴31的第一主轴卡盘33的被研磨物W调整为预先设定了的加工开始相位的指令。特别是在被研磨物W为非圆形状时，需要进行加工开始相位的调整。
[0061 ]搬入搬出指令部111在支承于第一主轴31的第一主轴卡盘33或者第二主轴41的第二主轴卡盘43的被研磨物W的研磨加工中，相对于第二机器人控制部109或者第一机器人控制部108，将支承于第二主轴41的第二主轴卡盘43的被研磨物W的搬出以及新的被研磨物W的搬入或者支承于第一主轴31的第一主轴卡盘33的被研磨物W的搬出以及新的被研磨物W的搬入指令向第二机器人控制部109或者第一机器人控制部108送出。
[0062]接下来，参照图3A、图3B、图3C、图3D的动作图对搬入搬出装置9等动作进行说明。此外，对于第一机器人91的动作以及第二机器人92的动作而言，第一臂93以及第二臂96的被研磨物W的搬入时的旋转方向不同，即第一臂93从Z轴上方观察绕逆时针方向旋转而将被研磨物W搬入，与此相对地，第二臂96从Z轴上方观察绕顺时针方向旋转而将被研磨物W搬入，因此以下对第一臂93的动作进行说明。另外，在第一主轴31的第一主轴卡盘33支承有研磨加工完毕的被研磨物W。另外，第一臂93的原点位置成为第一机器人卡盘94a能够拾起在输送机99上搬运的被研磨物W的搬入位置。
[0063]对于第一机器人控制部108而言，确认了第一臂93定位于原点位置，被研磨物W搬运至输送机99上的搬入位置后，对卡盘用马达进行驱动控制使第一臂93的第一机器人卡盘97a的爪关闭而拾起未研磨加工的被研磨物W(参照图3A)。
[0064]对于第一机器人控制部108而言，对第一臂驱动马达95进行驱动控制使第一臂93绕逆时针方向旋转，使第一臂93的第二机器人卡盘97b定位于第一主轴31的第一主轴卡盘33。而且，第一机器人控制部108对卡盘用马达进行驱动控制使第一臂93的第二机器人卡盘97b的爪关闭而拾起支承于第一主轴31的第一主轴卡盘33的研磨加工完毕的被研磨物W(参照图3B)。
[0065]第一机器人控制部108对第一臂驱动马达95进行驱动控制使第一臂93绕逆时针方向旋转，从而使第一臂93的第一机器人卡盘97a定位于第一主轴31的第一主轴卡盘33。而且，第一机器人控制部108对卡盘用马达进行驱动控制使第一臂93的第一机器人卡盘97a的爪打开从而在第一主轴31的第一主轴卡盘33设置未研磨加工的被研磨物W(参照图3C)。
[0066]第一机器人控制部108对第一臂驱动马达95进行驱动控制使第一臂93绕顺时针方向旋转，从而使第一臂93的第一机器人卡盘97a定位于输送机99上的搬出位置。而且，第一机器人控制部108对卡盘用马达进行驱动控制使第一臂93的第一机器人卡盘97a的爪打开从而在输送机99上的搬出位置设置研磨加工完毕的被研磨物W(参照图3D)。以上的动作重复直至第一主轴31中进行研磨加工的被研磨物W消失。
[0067]接下来，参照图4A、图4B、图4C、图4D、图4E的动作图对第一、第二主轴台3、4、砂轮座5以及排出装置6等的动作进行说明。
[0068]第一主轴控制部101在从第一机器人91接受了未研磨加工的被研磨物W后，对卡盘用马达进行驱动控制使第一主轴31的第一主轴卡盘33的爪关闭而对被研磨物W进行支承。而且，加工开始相位调整部110将支承于第一主轴卡盘33的被研磨物W调整为预先设定了的加工开始相位(参照图4A)。砂轮座控制部104对砂轮座驱动马达进行驱动控制而使砂轮座5向X轴左方移动，从而使砂轮52定位于第一主轴卡盘33的相对于被研磨物W的研磨开始位置(参照图4B)。
[0069]砂轮轴控制部103对砂轮轴驱动马达54进行驱动控制使砂轮轴51绕逆时针方向旋转从而使保持于砂轮轴51的砂轮52旋转。第一喷嘴控制部105对栗进行驱动控制而使冷却液从第一喷嘴61排出。而且，第一主轴控制部101对第一主轴驱动马达32进行驱动控制使第一主轴31绕顺时针方向旋转从而使第一主轴卡盘33的被研磨物W绕顺时针方向旋转，并且砂轮座控制部104对砂轮座驱动马达进行驱动控制使砂轮座5沿X轴方向移动，从而使砂轮52与第一主轴卡盘33的被研磨物W接触而进行研磨加工(参照图4C)。
[0070]搬入搬出指令部111在第一主轴卡盘33的被研磨物W的研磨加工中，相对于第二机器人控制部109，指令应该支承于第二主轴41的第二主轴卡盘43的新的被研磨物W的搬入。而且，第二机器人控制部109通过第二机器人92将新的被研磨物W从输送机99拾起而设置于第二主轴卡盘43。第二主轴控制部102在从第二机器人92接受了未研磨加工的被研磨物W后，对卡盘用马达进行驱动控制使第二主轴卡盘43的爪关闭而对被研磨物W进行支承。而且，加工开始相位调整部110在第一主轴卡盘33的被研磨物W的研磨加工中，将第二主轴卡盘43的被研磨物W调整为预先设定了的加工开始相位(参照图4C)。
[0071]第一主轴控制部101在第一主轴卡盘33的被研磨物W的研磨加工结束后，对第一主轴驱动马达32进行驱动控制而使第一主轴31的旋转停止。而且，第一喷嘴控制部105对栗进行驱动控制而使来自第一喷嘴61的冷却液的排出停止。而且，砂轮座控制部104对砂轮座驱动马达进行驱动控制而使砂轮座5向X轴右向移动，使砂轮52定位于第二主轴卡盘43的相对于被研磨物W的研磨开始位置(参照图4D)。
[0072]第二喷嘴控制部106对栗进行驱动控制而将冷却液从第二喷嘴62排出。而且，第二主轴控制部102对第二主轴驱动马达42进行驱动控制使第二主轴41绕顺时针方向旋转从而使第二主轴卡盘43的被研磨物W绕顺时针方向旋转，并且砂轮座控制部104对砂轮座驱动马达进行驱动控制使砂轮座5沿X轴方向移动，使砂轮52与第二主轴卡盘43的被研磨物W接触而进行研磨加工。
[0073]搬入搬出指令部111在第二主轴卡盘43的被研磨物W的研磨加工中，相对于第一机器人控制部108，指令应该支承于第一主轴卡盘33的新的被研磨物W的搬入。而且，第一机器人控制部108通过第一机器人91将新的被研磨物W从输送机99拾起而设置于第一主轴卡盘33。第一主轴控制部101在从第一机器人91接受了未研磨加工的被研磨物W后，对卡盘用马达进行驱动控制使第一主轴卡盘33的爪关闭从而对被研磨物W进行支承。而且，加工开始相位调整部110在第二主轴卡盘43的被研磨物W的研磨加工中，将第一主轴卡盘33的被研磨物W调整为预先设定了的加工开始相位。以上的动作交替重复直至第一主轴31以及第二主轴41中进行研磨加工的被研磨物W消失。