式。
[0055]图7中示出了本实施例的运算部的处理流程。此外，步骤510以前和步骤512以后的处理与上述第一实施方式的处理相同，因此省略。在第二实施方式中，除了上述第一实施方式以外，还需要以下的前提条件。首先，在数值b被输入到图2所示的球面像差系数Cs输入部35、数值c被输入到失焦量Af输入部36、数值d被输入到散射角度辩俞入部的状态下，按下显示分析区域执行部34来执行显示分析区域。另外，由图像检测部5检测的像的倍率M是已知的。在步骤701中，进行显示分析区域执行判定，在“是”的情况下，使用上述三个输入值b，c，d，根据
[0056][式2]
[0057]Δ =08.β3-Δ?.β
[0058]来计算偏移量△(步骤702)，在“否”的情况下，进入上述第一实施例的步骤511的处理。在步骤703中，根据上述倍率M来计算与轮廓线图像Ie(x，y)的I像素相当的长度L。在步骤704中，根据上述偏移量△和该长度L来计算用像素数来表示偏移量△的量△ P。在步骤705中，导出在轮廓线图像Ie(x，y)上绘制的轮廓线的中心坐标P(xx，yy)以及轮廓线的半径r。在步骤706中，新制作分析区域图像Ia (X，y )，在该图像上绘制以上述坐标P (xx，yy)为中心、以上述半径r与上述偏移量△ p相加所得的长度为半径的圆。在步骤707中，在位置偏移校正映射图像Im’(x，y)上绘制该分析区域图像Ia(x，y)，制作轮廓线绘制图像Im”(x，y)后输出到图像显示部(步骤512)。
[0059]通过以上的处理，表示限制视场光阑位置的轮廓线的直径成为预计了电子光学的误差的分析区域，能够通过目视来识别观察视场中的该分析区域，因此能够提高分析的可靠性。
[0060]上述实施例将预计了电子光学的误差的分析区域绘制成圆，但是本发明也可以基于所提取的轮廓线来绘制扩大了偏移量A后的上述分析区域。
[0061]上述实施例绘制一个预计了电子光学的误差的分析区域，但是本发明也可以同时绘制多个失焦量Af不同的分析区域和散射角β不同的分析区域。
[0062]上述实施例在映射图像上绘制预计了电子光学的误差的分析区域，但是本发明也可以通过将预计了电子光学的误差的分析区域图像与映射图像相加来在映射图像上显示预计了电子光学的误差的分析区域。
[0063]符号说明
[0064]1:试样;2:照射透镜系统;3:物镜系统;4:成像透镜系统;5:图像检测部;6:限制视场光阑；7:计算机;8:运算装置;9:存储装置；10:信号传递部；11:输入装置；12:输出装置；20:观察视场;21:以往的观察视场；22:使用本发明的观察视场;30:GUI主窗口； 31:图像显示部;32:映射图像摄影执行部;33: SAA对齐模式执行部;34:显示分析区域执行部;35:球面像差系数Cs输入部;36:失焦量△ f输入部;37:散射角度辩俞入部;41:映射图像;42:限制视场光阑插入后的观察视场;43:在观察视场中用轮廓线绘制限制视场光阑的位置信息而得到的图像;44:轮廓线提取图像试样;60:入射电子射线；61:透射波;62:衍射波;63:物镜系统的焦点面;64:散射角度β;65:物镜系统的像面;66:被限制视场光阑所限制的区域;67:透射波与衍射波在物镜系统的像面上的偏移量;68:预计了电子光学的误差的分析区域。
【主权项】
1.一种电子显微镜，具有: 照射透镜系统，其向观察对象物照射电子射线； 物镜系统，其对焦于所述观察对象物； 检测装置，其检测来自所述观察对象物的响应； 成像透镜系统，其使所述观察对象物映现在所述检测装置上的大小为指定的大小； 限制机构，其对映现在成像装置上的观察对象物的区域进行限制； 运算装置，其进行各种运算；以及 显示装置，其显示由所述运算装置制作出的图像或者由所述检测装置检测出的图像， 该电子显微镜还具备: 第一检测单元，其通过所述检测装置检测未被所述限制机构限制所述观察对象物的观察范围的图像； 存储单元，其存储由所述第一检测单元检测出的图像； 第二检测单元，其通过所述检测装置检测被所述限制机构限制了所述观察对象物的观察范围的图像； 提取单元，其从由所述第二检测单元检测出的图像提取所述限制机构的轮廓线； 绘制单元，其在由所述第一检测单元拍摄到的图像上绘制由所述提取单元提取出的轮廓线；以及 显示单元，其显示由所述绘制单元绘制出的图像。2.根据权利要求1所述的电子显微镜，其中， 在由所述第一检测单元检测出的图像上绘制由所述第二检测单元检测出的图像中的轮廓线内部的图像。3.根据权利要求1所述的电子显微镜，其中， 将由所述第二检测单元检测出的图像和由所述绘制单元绘制出的图像分别显示在不同的显示单元上。4.根据权利要求1所述的电子显微镜，其中， 能够任意地设定显示于所述显示单元的图像的倍率。5.—种电子显微镜，具有: 照射透镜系统，其向观察对象物照射电子射线； 物镜系统，其对焦于所述观察对象物； 检测装置，其检测来自所述观察对象物的响应； 成像系统，其使所述观察对象物映现在所述检测装置上的大小为指定的大小； 限制机构，其对映现在成像装置上的观察对象物的区域进行限制； 输入装置，其进行各种数值的输入； 运算装置，其进行各种运算；以及 显示装置，其显示由所述运算装置制作出的图像或者由所述检测装置检测出的图像， 该电子显微镜还具备: 第一检测单元，其通过所述检测装置检测未被所述限制机构限制所述观察对象物的观察范围的图像； 存储单元，其存储由所述第一检测单元检测出的图像； 第二检测单元，其通过所述检测装置检测被所述限制机构限制了所述观察对象物的观察范围的图像； 提取单元，其从由所述第二检测单元检测出的图像提取所述限制机构的轮廓线； 计算单元，其使用通过所述输入装置输入的数值来计算预计了电子光学的误差的分析区域； 第二绘制单元，其基于由所述提取单元提取出的轮廓线来绘制新的轮廓线，该新的轮廓线反映了由所述计算单元计算出的结果； 绘制单元，其在由所述第一检测单元拍摄到的图像上绘制由所述第二绘制单元绘制出的轮廓线；以及 显示单元，其显示由所述绘制单元绘制出的图像。6.根据权利要求5所述的电子显微镜，其中， 在由所述第一检测单元检测出的图像上，绘制由所述第二检测单元检测出的图像中的轮廓线内部的图像。7.根据权利要求5所述的电子显微镜，其中， 将由所述第二检测单元检测出的图像和由所述绘制单元绘制出的图像分别显示在不同的显示单元上。8.根据权利要求5所述的电子显微镜，其中， 能够任意地设定显示于所述显示单元的图像的倍率。9.根据权利要求5所述的电子显微镜，其中， 以不同的条件计算出多个通过所述计算单元计算的分析区域，通过所述第二绘制单元绘制多个线。10.根据权利要求6所述的电子显微镜，其中， 能够基于所述电子显微镜的条件来自动设定通过所述输入装置输入的数值。
【专利摘要】本发明提供一种电子显微镜，提高限制视场光阑的位置调整作业中的作业性。在电子显微镜中，具备：摄影单元，其拍摄限制视场光阑插入前的观察视场作为映射图像；存储单元，其存储所述映射图像；提取单元，其拍摄所述光阑插入后的观察视场来提取所述光阑的轮廓线；绘制单元，其在所述映射图像上绘制所述轮廓线；以及显示单元，其显示由所述绘制单元绘制出的图像。
【IPC分类】H01J37/22
【公开号】CN105659353
【申请号】
【发明人】久保贵, 小林弘幸
【申请人】株式会社日立高新技术
【公开日】2016年6月8日
【申请日】2014年10月31日