玻璃基板的制造方法、及玻璃基板的制造装置的制造方法_2

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是图3中A1及A2所示的平板 玻璃SG的区域。平板玻璃SG的中心部C为平板玻璃SG的宽度方向中心。具体来说,上游区域 中包含第1温度区域及第2温度区域。第1温度区域为下述第1成形步骤S31中的温度区域,且 为从成形体41的下端部41a至下述冷却辊51的上端为止的温度区域(图3中A1所示的平板玻 璃SG的区域)。另外,第2温度区域为下述第2成形步骤S32中的温度区域,且为从冷却辊51的 上端至平板玻璃SG的中心部C的温度成为缓冷点以上的温度区域(图3中A2所示的平板玻璃 SG的区域)。平板玻璃SG沿着成形体41的表面流下,在成形体41的下端部41a合流而成形为 平板玻璃SG,但在较成形体41的下端部41a更靠下游,平板玻璃SG的温度逐渐降低。另外,如 果平板玻璃SG(的侧部)与冷却辊51接触,则平板玻璃SG的温度进一步降低。如果在成形体 41的下端部41a合流并贴合的平板玻璃SG被急冷,则有产生贴合被剥离的不良状况的担忧。 当平板玻璃SG与冷却辊51接触时,平板玻璃SG的温度急剧下降,因此在平板玻璃SG(的侧 部)不与冷却辊51接触的冷却辊51的上端的上游侧、及平板玻璃SG(的侧部)与冷却辊51接 触的冷却辊51的上端的下游侧划分出第1温度区域与第2温度区域。平板玻璃SG在通过成形 腔室30内之后,通过下述冷却腔室80内。
[0044] 冷却腔室80是配置在溢出腔室20、成形腔室30的下方,用来调整平板玻璃SG的应 变量的空间。具体来说,在冷却腔室80中,已通过成形腔室30内的平板玻璃SG经过缓冷点、 应变点而被冷却至接近室温的温度(下游区域冷却步骤)。此外,冷却腔室80的内部被隔热 部件80b区划为多个空间。
[0045]另外,成形装置40主要包括成形体41、间隔部件50、冷却辊51、温度调整单元60、下 拉辊81a~81g、加热器82a~82g、及切断装置90。进而,成形装置40具备控制装置91 (参照图 5)。控制装置91控制成形装置40中所包含的各构成的驱动部。
[0046] 以下,对成形装置40中所包含的各构成进行详细说明。
[0047] (2-1)成形体
[0048]成形体41设置于溢出腔室20内。成形体41是通过使熔融玻璃FG溢出,而将熔融玻 璃FG成形为片状的玻璃(平板玻璃SG)。
[0049] 如图3所示,成形体41具有剖面形状为大致五边形的形状(类似楔形的形状)。大致 五边形的前端相当于成形体41的下端部41a。
[0050] 另外,成形体41在第1端部具有流入口 42(参照图4)。流入口 42与上述下游管24连 接,从澄清装置12流出的熔融玻璃FG从流入口 42流入至成形体41。在成形体41中形成着槽 43。槽43沿着成形体41的长度方向延伸。具体来说,槽43从第1端部延伸至第1端部的相反侧 的端部也就是第2端部。更具体来说,槽43沿着图4的左右方向延伸。槽43是以流入口 42附近 最深,随着靠近第2端部而逐渐变浅的方式形成。流入至成形体41的熔融玻璃FG从成形体41 的一对顶部4lb、4lb溢出,一边沿着成形体41的一对侧面(表面)41 c、41 c一边流下。之后,熔 融玻璃FG在成形体41的下端部41a合流而成为平板玻璃SG。
[0051 ]此时,在成形体41的下端部41a的平板玻璃SG的液相温度为1100°C以上,液相粘度 为2.5X105poiSe以上,更优选为,液相温度为1160°C以上,液相粘度为1.2X10 5poiSe以上。 另外,使成形体41的下端部41a的平板玻璃SG的侧部(边缘部、端部)的粘度小于10 5'7P〇ise。 [0052] (2-2)间隔部件
[0053]间隔部件50是阻断热从溢出腔室20移动至成形腔室30的部件。间隔部件50配置于 熔融玻璃FG的合流点的附近。另外,如图3所示,间隔部件50配置于在合流点合流的熔融玻 璃FG(平板玻璃SG)的厚度方向两侧。间隔部件50是隔热材料。间隔部件50是通过将熔融玻 璃FG的合流点的上侧环境及下侧环境隔开,而阻断热从间隔部件50的上侧向下侧移动。
[0054] (2-3)冷却辊
[0055] 冷却辊51设置于成形腔室30内。更具体来说,冷却辊51配置于间隔部件50的正下 方。另外,冷却辊51配置于平板玻璃SG的厚度方向两侧且平板玻璃SG的宽度方向两侧。配置 于平板玻璃SG的厚度方向两侧的冷却辊51成对地进行动作。也就是说,平板玻璃SG的两侧 部(宽度方向两端部)被两对冷却辊51、51、…夹住。
[0056] 冷却辊51被通往内部的空气冷却管空气冷却。冷却辊51与平板玻璃SG的侧部(边 缘部、端部)R、L(图3中,方便起见,由对应的玻璃板PG的宽度方向位置表示)接触,通过热传 导而将平板玻璃SG的侧部(边缘部、端部)R、L急冷(急冷步骤)。与冷却辊51接触的平板玻璃 SG的侧部R、L的粘度为特定值(具体来说为lO^poise)以上。此处,所谓平板玻璃SG的侧部 R、L是指平板玻璃SG的宽度方向的两端部的区域,具体来说,是指从平板玻璃SG的宽度方向 的缘朝向平板玻璃SG的中心部C为平板玻璃SG的宽度方向200nm以内的范围。
[0057]冷却辊51是通过冷却辊驱动电动机390 (参照图5)而旋转驱动。冷却辊51将平板玻 璃SG的侧部R、L冷却,并且也具有将平板玻璃SG朝下方下拉的功能。
[0058]此外,利用冷却辊51冷却平板玻璃SG的侧部R、L对平板玻璃SG的宽度W及平板玻璃 SG的厚度的均匀化造成影响。
[0059] (2-4)温度调整单元
[0060]温度调整单元60是设置于溢出腔室20内及成形腔室30内,将平板玻璃SG冷却至接 近缓冷点的单元。温度调整单元60配置于与成形体41的下端部41a对向的位置、及间隔部件 50的下方且冷却腔室80的顶板80a上。
[0061]温度调整单元60将平板玻璃SG的上游区域冷却(上游区域冷却步骤)。具体来说, 温度调整单元60是以平板玻璃SG的侧部的粘度维持与软化点对应的粘度以上的方式,且以 平板玻璃SG的中心部C的温度接近缓冷点的方式,将平板玻璃SG冷却。之后,平板玻璃SG的 中心部C在下述冷却腔室80内,经过缓冷点、应变点而被冷却至接近室温的温度(下游区域 冷却步骤)。此处,所谓软化点是指粘度η成为l〇gn = 7.65的温度。另外,玻璃的缓冷点为例 如715.0°C,应变点为例如661°C。
[0062] 温度调整单元60具有多个冷却单元61~65。多个冷却单元61~65沿着平板玻璃SG 的宽度方向及平板玻璃SG的流动方向配置。具体来说,多个冷却单元61~65包含中央区域 冷却单元61~63、及侧部冷却单元64、65。中央区域冷却单元61~63对平板玻璃SG的中央区 域CA进行空气冷却。此处,所谓平板玻璃SG的中央区域是指平板玻璃SG的宽度方向中央部 分,也就是包含平板玻璃SG的有效宽度及其附近的区域。换句话说,平板玻璃SG的中央区域 是被平板玻璃SG的两侧部(两边缘部、两端部)夹着的部分。中央区域冷却单元61~63沿着 流动方向配置于与平板玻璃SG的中央区域CA的表面对向的位置。中央区域冷却单元61~63 中所包含的各单元能够独立地进行控制。另外,侧部冷却单元64、65对平板玻璃SG的侧部 (边缘部、端部)R、L进行水冷。侧部冷却单元64、65沿着流动方向配置于与平板玻璃SG的侧 部R、L(宽度方向的两端部)的表面对向的位置。侧部冷却单元64、65中所包含的各单元能够 独立地进行控制。此外,关于配置于与成形体41的下端部41a对向的位置的温度调整单元 60,虽省略了冷却单元61~65之间的边界的图示,但该温度调整单元60还具有如上所述那 样构成的冷却单元61~65。
[0063] (2-5)下拉辊
[0064]下拉辊81a~81g设置于冷却腔室80内,将已通过成形腔室30内的平板玻璃SG朝平 板玻璃SG的流动方向下拉。下拉辑81a~81g在冷却腔室80的内部沿着流动方向隔开特定间 隔而配置。下拉辊81a~81g在平板玻璃SG的厚度方向两侧(参照图3)、及平板玻璃SG的宽度 方向两侧(参照图4)配置多个。也就是说,下拉辊81a~81g-边与平板玻璃SG的宽度方向的 两侧部(两边缘部、两端部)R、L且平板玻璃SG的厚度方向的两侧接触,一边将平板玻璃SG朝 下方下拉。
[0065]下拉辊81a~81g是由下拉辊驱动电动机391 (参照图5)驱动。另外,下拉辊81a~ 8 lg相对于平板玻璃SG朝内侧(在与平板玻璃SG接触的部分向下方)旋转。关于下拉辊8 la~ 81g的周速度,越是下游侧的下拉辊,周速度越大。也就是说,多个下拉辊81a~81g中的下拉 车昆81a的周速度最小,下拉辑8 lg的周速度最大。配置于平板玻璃SG的厚度方向两侧的下拉 辊81 a~81 g成对地进行动作,成对的下拉辊81 a、81 a、…将平板玻璃SG朝下方向下拉。
[0066] (2-6)加
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