热器
[0067]加热器82a~82g设于冷却腔室80的内部，调整冷却腔室80的内部空间的温度。具 体来说，加热器82a~82g在平板玻璃SG的流动方向及平板玻璃SG的宽度方向配置多个。更 具体来说，在平板玻璃SG的流动方向上配置着七个加热器，在平板玻璃的宽度方向上配置 着三个加热器。配置在宽度方向的三个加热器分别对平板玻璃SG的中央区域CA与平板玻璃 SG的侧部(边缘部、端部)R、L进行热处理。中央区域CA是包含中心部C且比平板玻璃SG的两 侧部R、L更靠平板玻璃SG的宽度方向内侧的区域，并且是平板玻璃SG的宽度方向的宽度中 从平板玻璃SG的宽度方向的中心起宽度的一半的例如85 %以内的范围的区域。加热器82a ~82g是通过下述控制装置91而控制输出。由此，控制通过冷却腔室80内部的平板玻璃SG附 近的环境温度。通过利用加热器82a~82g控制冷却腔室80内的环境温度，而对平板玻璃SG 进行温度控制。另外，通过温度控制，平板玻璃SG从粘性区域经过粘弹性区域推移至弹性区 域。这样，通过加热器82a~82g的控制，在冷却腔室80中，平板玻璃SG的温度从接近缓冷点 的温度被冷却至接近室温的温度(下游区域冷却步骤）。此处，缓冷点是粘度成为1〇 13泊时的 温度，此处为715.0°C。
[0068] 此外，在各加热器82a~82g的附近设置着检测环境温度的环境温度检测机构（本 实施方式中为热电偶)380。具体来说，将多个热电偶380配置在平板玻璃SG的流动方向及平 板玻璃SG的宽度方向。热电偶380分别检测平板玻璃SG的中心部C的温度、及平板玻璃SG的 侧部R、L的温度。加热器82a~82g的输出是基于由热电偶380检测出的环境温度而被控制。
[0069] (2-7)切断装置
[0070]切断装置90是将已在冷却腔室80内被冷却至接近室温的温度的平板玻璃SG切断 为特定的尺寸。切断装置90是以特定的时间间隔将平板玻璃SG切断。由此，平板玻璃SG成为 多个玻璃板PG。切断装置90由切断装置驱动电动机392 (参照图5)驱动。
[0071] (2-8)控制装置
[0072] 控制装置91 包括CPU(Central Processing Unit，中央处理器）、RAM(Random Access Memory，随机存取存储器）、R0M(Read Only Memory，只读存储器)及硬盘等，对玻璃 板的制造装置1 〇〇中所包含的各种机器进行控制。
[0073] 具体来说，如图5所示，控制装置91接收玻璃基板的制造装置100中所包含的各种 传感器(例如热电偶380)或开关(例如主电源开关381)等的信号，对温度调整单元60、加热 器82a~82g、冷却辊驱动电动机390、下拉辊驱动电动机391、切断装置驱动电动机392等进 行控制。
[0074] (3)温度管理
[0075] 在本实施方式的玻璃基板的制造方法中，成形步骤S3包括多个成形步骤S31、S32。 具体来说，沿着平板玻璃SG的流动方向，依序执行第1成形步骤S31、第2成形步骤S32。
[0076] 另外，在成形步骤S3中，进行平板玻璃SG的流动方向及宽度方向的温度管理。温度 管理是基于多个温度分布TP1、TP2(参照图6)而进行。温度分布TP1、TP2是有关平板玻璃SG 附近的环境温度的沿着平板玻璃SG的宽度方向的温度分布。换句话说，温度分布ΤΡ1、ΤΡ2为 目标温度分布。也就是说，温度管理是以实现多个温度分布ΤΡ1、ΤΡ2的方式进行。温度管理 是使用上述冷却辊51、温度调整单元60而进行。
[0077]平板玻璃SG的温度是通过控制平板玻璃SG附近的环境温度而加以管理。此处，平 板玻璃SG的温度与通过冷却辊51及温度调整单元60而加以控制的环境温度为基本上相同 的值。
[0078] 进而，各成形步骤S31、S32是通过一边以特定的冷却速度将平板玻璃SG冷却一边 成形，而进行平板玻璃SG的流动方向的温度管理。此处，特定的冷却速度是指与各成形步骤 S31、S32对应的冷却速度。具体来说，成形步骤S31、S32的平板玻璃SG的侧部(边缘部、端部） R、L的冷却速度中的第1成形步骤的冷却速度(第1冷却速度)慢于第2成形步骤的冷却速度 (第2冷却速度），例如第1冷却速度为8.3°C/秒以下，第2冷却速度为8.3°C/秒~17.5°C/秒。
[0079] 另外，在本实施方式的成形步骤S3中，将平板玻璃SG的中心部C的冷却速度（中心 部冷却速度)与平板玻璃SG的侧部(边缘部、端部)R、L的冷却速度(侧部冷却速度)设定为不 同的速度。中心部冷却速度是基于平板玻璃SG的中心部C的温度变化的量、及温度变化所需 的时间而算出。侧部冷却速度是基于平板玻璃SG的侧部R、L的温度变化量、及温度变化所需 的时间而算出。
[0080] 以下，参照图6及图7,对各成形步骤S31、S32中的平板玻璃SG的温度管理进行详细 说明。图6表示平板玻璃SG的特定的高度位置的温度分布。图7表示平板玻璃SG(0.2mm~ 0.4mm)的冷却速度。
[0081] (3-1)第1成形步骤
[0082]第1成形步骤S31是对在成形体41的正下方合流的熔融玻璃(平板玻璃SG)进行冷 却直至该熔融玻璃(平板玻璃SG)到达不与冷却辊51接触的冷却辊51的上端为止的步骤。具 体来说，在第1成形步骤中，以侧部(边缘部、端部)R、L的粘度维持与软化点对应的粘度以上 的方式，将约l，l〇〇°C~1，200°C的平板玻璃SG的侧部以冷却速度8.3°C/秒以下进行冷却 (参照图7)。
[0083]在第1成形步骤S31中，基于第1温度分布TP1而进行平板玻璃SG的温度管理。以下， 对在第1成形步骤S31中执行的温度分布TP1、及第1成形步骤的冷却速度(第1冷却速度)进 行详细说明。
[0084] (3-1-1)第1温度分布
[0085]第1温度分布TP1是在成形体41的下端部41a的下游区域，在平板玻璃SG的最上游 侧实现的温度分布(参照图6)。第1温度分布TP1中，平板玻璃SG的中央区域CA的温度均匀， 平板玻璃SG的侧部R、L比平板玻璃SG的中央区域CA温度低。此处，所谓中央区域CA的温度均 匀是指中央区域CA的温度包含于特定的温度区域。所谓特定的温度区域是基准温度±20°C 的范围。基准温度是中央区域CA的宽度方向的平均温度。
[0086] 第1温度分布TP1是通过控制溢出腔室20内及成形腔室30内的温度调整单元60而 实现。具体来说，利用温度调整单元60(侧部冷却单元64、65)而将平板玻璃SG的侧部R、L冷 却。平板玻璃SG的侧部R、L的温度冷却为比中央区域CA的温度低特定温度的温度。在第1温 度分布TP1中，通过使中央区域CA的温度均匀，而使平板玻璃SG的中央区域CA的板厚变得均 匀。另外，通过相比中央区域CA而进一步冷却平板玻璃SG的侧部R、L，而使平板玻璃SG的侧 部R、L的粘度比中央区域CA高。其原因在于，如果平板玻璃SG的侧部R、L的粘度比中央区域 CA高，则能够抑制平板玻璃SG在宽度方向上收缩。另外，在第1温度分布TP1中，相比第2温度 分布TP2而更缓慢地冷却平板玻璃SG的侧部R、L。通过抑制平板玻璃SG的侧部R、L的冷却量， 能够抑制在成形体41的下端部41a合流并贴合的侧部R、L被剥落而分离。
[0087] 第1成形步骤S31中的第1中心部冷却速度为5.0°C/秒~50.0°C/秒。如果冷却速度 低于5.0 °C/秒，则生产性变差。如果冷却速度超过50 °C/秒，则有平板玻璃SG产生碎裂的情 况。另外，平板玻璃SG的翘曲值及板厚偏差变差。优选为，第1成形步骤S31中的中心部冷却 速度为8.0 °C /秒~16.5 °C /秒。另外，第1成形步骤S31中的第1冷却速度为8.3 °C /秒以下。 [0088] (3-2)第2成形步骤
[0089]第2成形步骤S42是对侧部(边缘部、端部)R、L的粘度维持与软化点对应的粘度以 上的平板玻璃SG进行冷却直至该平板玻璃SG到达中央区域CA的温度成为缓冷点以上的温 度区域为止的步骤(参照图7)。具体来说，在第2成形步骤S31中，以平板玻璃SG的侧部(边缘 部、端部)R、L的粘度成为10 9'V)iSe以上的方式，将侧部R、L于冷却速度8.3°C/秒~17.5°C/ 秒的范围冷却(参照图7)。
[0090] 在第2成形步骤S32中，基于第2温度分布TP2而进行平板玻璃SG的温度管理。以下， 对在第2成形步骤S32中执行的温度分布TP2、及第2成形步骤的冷却速度(第2冷却速度)进 行详细说明。
[0091] (3-2-1)第2温度分布
[0092] 第2温度分布TP2是在较平板玻璃SG与冷却辊51接触的冷却辊51的上端更靠下游 侧实现的温度分布(参照图6)。第2温度分布TP2与第1温度分布TP1同样地，平板玻璃SG的中 央区域CA的