电子枪异常检测装置以及电子枪异常检测方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种电子枪(electron gun)异常检测装置以及电子枪异常检测方法。
【背景技术】
[0002]电磁钢板(electricalsteel sheet)是一种透磁率(magnetic permeability)高、铁损少的磁特性优异的钢板。例如，多将方向性电磁钢板(grain oriented electricalsteel sheet)使用于变压器的磁芯。在卷绕于变压器的磁芯的电线中流动的交流电流，在磁芯的内部产生交流磁场。通常，在钢板内施加有交流磁场的情况下，产生祸流损耗(eddycurrent loss)和磁滞损耗(hysteresis loss) ο要求在电磁钢板中减少这些祸流损耗以及磁滞损耗。
[0003]在钢板施加有交流磁场时产生涡流损耗是不可避免的，频率越高，涡流损耗越大。另一方面，钢板的磁畴(magnetic domain)的宽度是一个对该祸流损耗给予影响的因素，该宽度越窄，则越能够减少涡流损耗。这样，公知钢板的磁特性与磁畴的形状有非常紧密的联系O
[0004]因此，在方向性电磁钢板的制造工序中，为了减少涡流损耗，实施细化磁畴的手法(磁畴细化(magnetic domain refining)处理)。方向性电磁钢板的磁畴沿滚乳方向延伸，在横切该磁畴的方向加入形变、形成槽，由此能够细化磁畴(例如参照专利文献I)。作为加入形变的方法，例如公知有沿横切磁畴的方向照射激光、电子束等给予热形变的方法。为了检查是否适当实施了该磁畴细化处理，而公知有观察磁畴构造(magnetic domainstructure)的技术(参照专利文献2)。
[0005]专利文献1:日本特开2012 — 52230号公报
[0006]专利文献2:日本特开2007 - 101519号公报
[0007]然而，在磁畴细化处理中，由于产生电子束的电子枪的灯丝劣化等的重要因素，存在没有实施规定的磁畴细化处理的情况。另外，在现有的检查技术中，在磁畴细化处理之后无法立即对实施了磁畴细化处理的钢板的磁畴构造进行检测，需要另外取样钢板，进行离线检查。例如，在专利文献2所记载的检查技术中，磁粉在溶液中移动而形成反映磁畴构造的影像是需要时间的。因此，在磁畴细化处理中产生了不良的情况下，也由于检测该不良情况需要很长时间，而持续制造不合格品导致产生成品率的降低。
【发明内容】
[0008]本发明是鉴于上述情况而产生的，其目的在于提供一种通过相比磁畴细化装置的电子枪的设置台数更少的检查点中的检查，能够检测电子枪的异常的电子枪异常检测装置以及电子枪异常检测方法。
[0009]为解决上述课题，实现目的，本发明所涉及的电子枪异常检测装置检测至少具备第I电子枪与第2电子枪的电磁钢板的磁畴细化装置的电子枪的异常，其特征在于，具备:磁光元件(magnetooptic device)，其与检查区域接触或脱离，而检测上述检查区域中的钢板的磁畴构造作为光学特性，上述检查区域以包括上述第I电子枪向上述电磁钢板表面照射电子束而产生的磁畴不连续部与上述第2电子枪照射电子束而产生的磁畴不连续部之间的边界的方式被设定；光源，其向上述磁光元件照射直线偏振光；以及检测器，其检测由于转印于上述磁光元件的上述钢板的磁畴构造而旋转的偏振光。
[0010]为解决上述课题，实现目的，本发明所涉及一种电子枪异常检测方法检测至少具备第I电子枪与第2电子枪的磁畴细化装置的电子枪的异常，其特征在于，包括:接触步骤，在该步骤中，使磁光元件与上述钢板接触，上述磁光元件在以包括上述第I电子枪照射电子束而产生的磁畴不连续部与上述第2电子枪照射电子束而产生的磁畴不连续部之间的边界的方式设定的检查区域中检测钢板的磁畴构造作为光学特性的磁光元件；照射步骤，在该步骤中，向上述磁光元件照射直线偏振光；检测步骤，在该步骤中，检测由上述磁光元件反射的直线偏振光的偏振光面的旋转；测定步骤，在该步骤中，根据上述偏振光面的旋转测定上述钢板的磁畴构造；以及脱离步骤，在该步骤中，使上述磁光元件从上述钢板脱离。
[0011]本发明所涉及的电子枪异常检测装置以及电子枪异常检测方法起到如下效果，即、通过相比磁畴细化装置的电子枪的设置台数更少的检查点中的检查，能够检测电子枪的异常。
【附图说明】
[0012]图1是表示本发明的实施方式所涉及的组装有电子枪异常检测装置的生产线的结构图。
[0013]图2是对本发明的实施方式所涉及的电子枪异常检测的结构进行说明的示意图。
[0014]图3是在检查区域检测出电子枪的异常时的检查图像的示意图。
[0015]图4是在检查区域检测出电子枪的异常时的检查图像的示意图。
[0016]图5是表示电子枪异常检测装置的检查单元的内部构成例的示意图。
[0017]图6是表示磁光元件的构成例的剖视图。
[0018]图7是电子枪异常检测装置的驱动机构的侧视图。
[0019]图8是电子枪异常检测装置的驱动机构的俯视图。
[0020]图9是表示本发明的实施方式所涉及的电子枪异常检测方法的流程图。
[0021]图10是通过本发明的实施方式所涉及的电子枪异常检测方法检测的磁畴不连续部的宽度的最小值的图表。
[0022]图11是通过本发明的实施方式所涉及的电子枪异常检测方法检测的磁畴不连续部的宽度的最小值的图表。
【具体实施方式】
[0023]以下，基于附图对本发明的实施方式所涉及的电子枪异常检测装置以及电子枪异常检测方法进行详细说明。此外，以下说明的实施方式并不限定本发明。
[0024]电子枪异常检测装置
[0025]图1是表示组装有本发明的实施方式所涉及的电子枪异常检测装置I的生产线的结构图。如图1所示，本发明的实施方式所涉及的电子枪异常检测装置I被配置于进行钢板S的磁畴细化处理的磁畴细化装置2的后段。磁畴细化装置2是在内部具备电子枪3，并通过从电子枪3向钢板S照射电子束，而在横切钢板S的磁畴的方向给予形变的装置。
[0026]磁畴细化装置2对钢板S的表面实施磁畴细化处理，电子枪异常检测装置I对通过磁畴细化装置2被实施磁畴细化处理后的钢板S的表面进行检查。然后，控制机构Ib基于电子枪异常检测装置I的检查结果，判定磁畴细化装置2的电子枪3的异常，并根据需要进行对电子枪3的控制。此外，控制机构Ib可为PLC等自动控制装置或者操作人员手动控制的任何一种。
[0027]图2是对本发明的实施方式所涉及的电子枪异常检测的结构进行说明的示意图。如图2所示，磁畴细化装置2具备多个电子枪此外，图2所示的磁畴细化装置2虽然具备4个电子枪，但是本发明也可以适用于具备更多电子枪的磁畴细化装置2。本发明可以适用于具备至少两个以上电子枪的磁畴细化装置2。
[0028]多个电子枪相互配合地向钢板S的表面在宽度方向照射直线状的电子束B。B卩，对于多个电子枪言，在钢板S的宽度方向加入横切直线状的磁畴的形变时，划分该宽度方向的直线，各电子枪向被划分的直线照射电子束B。此夕卜，图2所示的磁畴细化装置2虽然直线状地具备4个电子枪，但是还能够构成为对4个电子枪3^3,44进行所谓的交错配置，通过控制照射电子束B的时机，相互配合地向钢板S的表面在宽度方向照射直线状的电子束B。
[0029]在这样照射有电子束或者激光的钢板S的表面，以断开朝向滚乳方向的主磁畴的方式形成有回流磁畴(closure domain)。以下，将形成于照射有电子束或者激光的钢板S的表面的回流磁畴称为磁畴不连续部L。
[0030]利用后段的电子枪异常检测装置I对如上所述利用多个电子枪3a、3b、3e、3d实施处理后的钢板S进行检查。即，电子枪异常检测装置I检查由多个电子枪3a、3b、3e、3d形成的磁畴不连续部L是否形成为所希望的处理结果。
[0031]如上所述，磁畴不连续部L以在钢板S的宽度方向被分割为多个的方式被照射电子束。因此，电子枪异常检测装置I在磁畴不连续部L的各划分的边界进行检查。
[0032]在图2所示的示意图中，将由电子枪3a生成的磁畴不连续部L与由电子枪3 b生成的磁畴不连续部L之间的边界处的电子枪异常检测装置I的检查区域设为R1;将由电子枪3b生成的磁畴不连续部L与由电子枪3。生成的磁畴不连续部L之间的边界处的电子枪异常检测装置I的检查区域设为R2;将由电子枪3。生成的磁畴不连续部L与由电子枪3 d生成的