一种适用于涂膜表面的真空镀膜设备的利记博彩app

文档序号:12110052阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种适用于涂膜表面的真空镀膜设备,其特征在于,所述适用于涂膜表面的真空镀膜设备设置有上挂预备腔室、紫外固化腔室、等离子辐照腔室、磁控溅射沉积腔室、冷却腔室、下挂取样腔室;

所述上挂预备腔室、紫外固化腔室、等离子辐照腔室、磁控溅射沉积腔室、冷却腔室、下挂取样腔室内设有用于挂架产品台的推送机构;

所述上挂预备腔室、紫外固化腔室、等离子辐照腔室、磁控溅射沉积腔室、冷却腔室、下挂取样腔室之间设置有插板阀;上挂预备腔室、下挂取样腔室与大气连通的一侧采用翻板阀密封。

2.如权利要求1所述的适用于涂膜表面的真空镀膜设备,其特征在于,所述紫外固化腔室、等离子辐照腔室和磁控溅射沉积腔室内设有用于挂架的转动装置。

3.如权利要求1所述的适用于涂膜表面的真空镀膜设备,其特征在于,所述紫外固化腔室腔体内壁均匀布置于打底漆固化的紫外光源。

4.如权利要求1所述的适用于涂膜表面的真空镀膜设备,其特征在于,所述等离子辐照腔室采用平行电极方式产生等离子体,电极布置于离子辐照腔室腔体的前后侧。

5.如权利要求1所述的适用于涂膜表面的真空镀膜设备,其特征在于,所述磁控溅射沉积腔室中的磁控溅射源布置于腔体的前后侧,采用多组磁控溅射靶同时镀覆。

6.一种如权利要求1所述的适用于涂膜表面的真空镀膜设备的真空镀膜方法,其特征在于,所述真空镀膜方法包括以下步骤:

(1)工件经电泳打底、纯水喷淋、脱干水后置于真空镀挂架上,打开翻板阀,将挂架与推送装置相关联,关闭翻板阀,在温度为80℃环境条件下烘烤20分钟;

(2)打开插板阀,将挂架推送入紫外固化,关闭插板阀,用机械泵抽真空至小于10Pa,再向腔室内充入净化空气,启动转动装置,挂架转速5转/分钟,在强度为3500mj/cm2的LED-UV固化机照射2min,完成打底层固化;

(3)打开插板阀,将挂架推送到等离子体辐照室,关闭插板阀,用机械泵、罗茨泵,迅速恢复等离子辐照腔室的真空度到3×10-1Pa,再向等离子辐照腔室充入Ar/O2混合气,Ar/O2体积比为95:5,气体流量为200SCCM,调节真空度至100Pa,采用直流辉光方法产生等离子体,施加电压1500V,工件进行等离子体辐照时间为10分钟;

(4)停止等离子体辐照室进气后,恢复真空至3×10-1Pa,打开插板阀,将挂架推送至磁控溅射沉积腔室,关闭插板阀,用机械泵、罗茨泵、分子泵组抽真空至3×10-4Pa,向磁控溅射沉积腔室内通入高纯Ar气,流量为60SCCM,调节真空度至2Pa,进行脉冲磁控溅射镀铝,铝靶纯度99.99%,靶到工件表面直线距离5cm,电源功率3千瓦,频率15kHz,占空比30%,施镀5分钟;

(5)停止磁控溅射沉积腔室进气,恢复真空至3×10-4Pa,同时,冷却室用机械泵、罗茨泵、分子泵抽真空至3×10-4Pa;此时打开插板阀,将挂架推送入冷却腔室,关闭插板阀,暂存产品进行充分冷却;

(6)将下挂取样腔室抽真空至3×10-1Pa,待工件充分冷却后,打开翻板阀,将挂架推送入下挂取样腔室,关闭插板阀,恢复冷却腔室真空至3×10-4Pa,同时下挂取件室停止抽真空操作,充入空气,腔室内外压力平衡时打开翻板阀即可取工件;

(7)循环上述操作,即可实现涂膜打底工件的连续真空镀膜。

7.一种使用权利要求1-5任意一项所述适用于涂膜表面的真空镀膜设备的电子产品涂膜工艺。

8.一种使用权利要求1-5任意一项所述适用于涂膜表面的真空镀膜设备的光学元件涂膜工艺。

9.一种使用权利要求1-5任意一项所述适用于涂膜表面的真空镀膜设备的传感器涂膜工艺。

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