中子反射加热装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本实用新型属于中子反射装置技术领域，尤其涉及一种中子反射加热装置。
【背景技术】
[0002]中子反射是一种测量物质结构的中子衍射技术，其主要是通过将一束高度准直的中子束照射到处于加热状态的极平整的表面上，然后测试与角度或中子波长有关的反射束流强度，得到的反射率分布形状提供了表面结构的详细信息，包括沉积在基底上任何物质的厚度、密度和粗糙度。
[0003]中子反射一般要用到中子反射加热装置，现有技术中的中子反射加热装置可调节性差，无法满足不同的测试需求。
[0004]有鉴于此，确有必要提供一种中子反射加热装置，其可调节性好，可以满足不同的测试需求。
【实用新型内容】
[0005]本实用新型的目的在于:针对现有技术的不足，而提供一种中子反射加热装置，其可调节性好，可以满足不同的测试需求。
[0006]为了达到上述目的，本实用新型采用如下技术方案:
[0007]中子反射加热装置，包括样品加热炉系统和可调节样品位置的中子反射样品台，所述样品加热炉系统包括加热炉和用于夹持所述加热炉的夹持装置，所述加热炉包括炉体、炉门和入射窗，所述入射窗设置于所述炉体的两侧，所述炉门设置于所述炉体的底部，所述炉体包括加热炉丝和保温隔热层。
[0008]作为本实用新型中子反射加热装置的一种改进，所述炉门设置为陶瓷保温门。
[0009]作为本实用新型中子反射加热装置的一种改进，所述炉门通过驱动臂连接有气缸。
[0010]作为本实用新型中子反射加热装置的一种改进，所述入射窗设置为双层蓝宝石玻璃。
[0011]作为本实用新型中子反射加热装置的一种改进，所述夹持装置包括安装座、夹持座和夹持臂，所述夹持臂的一端与所述夹持座连接，所述夹持臂的另一端与所述炉体连接，所述夹持座可上下滑动地设置于所述安装座上。
[0012]作为本实用新型中子反射加热装置的一种改进，所述夹持臂包括固定部和滑动部，所述固定部的一端与所述夹持座固定连接，所述滑动部的一端与所述炉体连接，所述滑动部的另一端可滑动地设置于所述固定部上。
[0013]作为本实用新型中子反射加热装置的一种改进，所述中子反射样品台包括基座和分别设置于所述基座上的样品夹定位装置、可以实现X轴方向移动和旋转的X轴驱动装置、可以实现Y轴方向移动和旋转的Y轴驱动装置和可以实现Z轴方向旋转的Z轴驱动装置，所述X轴驱动装置、所述Y轴驱动装置和所述Z轴驱动装置均与所述样品夹定位装置连接。
[0014]作为本实用新型中子反射加热装置的一种改进，所述样品夹定位装置包括相对位置可调的第一夹体和第二夹体，所述第一夹体和所述第二夹体相对设置，并且所述第一夹体和所述第二夹体之间形成有用于容置样品的容置空间。
[0015]作为本实用新型中子反射加热装置的一种改进，所述第一夹体和所述第二夹体的纵向截面均呈“Z”字形，所述中子反射加热装置处于工作状态时，所述第一夹体和所述第二夹体位于所述炉门和所述所述炉体之间。
[0016]作为本实用新型中子反射加热装置的一种改进，所述装置还包括中子束入射装置，所述中子束入射装置设置于所述入射窗的一侧，并且所述中子束入射装置可在0-10°范围内旋转，使中子束的入射范围为0-10°。
[0017]相对于现有技术，本实用新型通过设置用于夹持加热炉的夹持装置，可以左右、上下的调节加热炉的位置，从而可以适用于不同位置、不同高度的中子反射样品台，而且中子反射样品台本身可在X方向、Y方向移动和旋转，同时在Z方向旋转，从而可以使得加热炉准确到达样品所需要的最佳位置，同时本实用新型也能适用于不同尺寸的样品。
【附图说明】
[0018]图1为本实用新型的结构示意图。
[0019]图2为本实用新型中加热炉的仰视结构示意图。
[0020]图3为本实用新型中加热炉的剖视结构示意图。
[0021]图4为本实用新型的工作原理示意图。
[0022]其中:
[0023]1-样品加热炉系统；
[0024]2-中子反射样品台；
[0025]21-基座，22-样品夹定位装置，221-第一夹体，222-第二夹体；
[0026]3-加热炉；
[0027]31-炉体，32-炉门，33-入射窗，34-驱动臂，35-气缸；
[0028]4-夹持装置；
[0029]41-安装座，42-夹持座，43-夹持臂，431-固定部，432-滑动部；
[0030]5-样品。
【具体实施方式】
[0031]以下将结合具体实施例对本实用新型及其有益效果作进一步详细的说明，但是，本实用新型的【具体实施方式】并不局限于此。
[0032]如图1至4所示，本实用新型提供的中子反射加热装置，包括样品加热炉系统I和可调节样品5位置的中子反射样品台2，样品加热炉系统I包括加热炉3和用于夹持加热炉3的夹持装置4，加热炉3包括炉体31、炉门32和入射窗33，入射窗33设置于炉体31的两侦牝炉门32设置于炉体31的底部，炉体31包括加热炉丝和保温隔热层。其中，夹持装置4可以带着加热炉3左右、上下地移动，加热炉3可以对样品5进行加热，炉门32可以打开，样品可穿过炉门32进入炉体31内，中子束可以透过其中一个入射窗33射到样品5上，在样品5上反射后，再从另外一个入射窗33射出(如图4所示)。
[0033]炉门32设置为陶瓷保温门，可以达到减少热量散失，提高产品的稳定性和降低功耗的作用。
[0034]炉门32通过驱动臂34连接有气缸35，如此，当加热炉3接触到中子反射样品台2时，炉门32就可以由气缸35通过驱动臂34驱动而打开，使得中子反射样品台2上的样品到达炉体31内，而当样品到达指定工艺位置时，气缸35再通过驱动臂34驱动炉门32关闭，使得炉体31内温度梯度均匀性好，待工艺完成后，气缸35再通过驱动臂34驱动炉门32打开，夹持装置4夹持着炉体31离开样品5后，气缸35再通过驱动臂34驱动炉门32关闭，从而减少炉内温度损失。
[0035]入射窗33设置为双层蓝宝石玻璃，中子束在蓝宝石玻璃上的透过率高，而且蓝宝石玻璃具有保温隔热的作用。
[0036]夹持装置4包括安装座41、夹持座42和夹持臂43，夹持臂43的一端与夹持座42连接，夹持臂43的另一端与炉体31连接，夹持座42可上下滑动地设置于安装座41上，从而带着加热炉3上下移动，以实现加热炉3的上下升降运动，其可精确到0.5mm。
[0037]夹持臂43包括固定部431和滑动部432，固定部431的一端与夹持座42固定连接，滑动部432的一端与炉体31连接，滑动部432的另一端