缩小探针的针尖尺寸的方法及载台的利记博彩app
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种探针的调整方法及载台，且特别是涉及一种缩小探针的针尖尺寸的方法及载台。
【背景技术】
[0002]在半导体技术领域，集成电路芯片必须利用探针对芯片进行电性测试。就传统的探针而言，探针必须与芯片接点达到良好的电性导通。然而，在目前各种消费性电子装置讲求轻薄化的趋势之下，且为了在相同的晶片单位面积上切割出更多的芯片以降低生产成本，芯片的面积需要不断缩小，而使得芯片内部的元件密度也愈来愈高，因此集成电路芯片上的接点的尺寸与间距也愈来愈小。芯片微小化的趋势使得探针尺寸必须不断缩小，以确保操作时探针的针尖与试片表面最终的接触点落在针尖处。
【发明内容】
[0003]本发明的目的在于提供一种缩小探针的针尖尺寸的方法，其可有效地缩小探针的针尖尺寸。
[0004]本发明的再一目的在于提供一种载台，其可稳定地将探针进行固定，且有利于进行缩小探针的针尖尺寸的操作。
[0005]为达上述目的，本发明提出一种缩小探针的针尖尺寸的方法，包括下列步骤。将探针固定在载台上。在载台的多个旋转角度的位置上，以离子束倾斜于探针的方式，对探针分别进行倾斜角离子切削制作工艺，而使得探针的针尖呈角锥状。
[0006]依照本发明的一实施例所述，在上述的缩小探针的针尖尺寸的方法中，在进行倾斜角离子切削制作工艺之前，还包括以针尖正对离子束的方式，通过具有不同内径的多个环状切削图案的离子束对探针进行正向离子切削制作工艺。
[0007]依照本发明的一实施例所述，在上述的缩小探针的针尖尺寸的方法中，发射出离子束的机台例如是双束型聚焦离子束显微镜或单束型聚焦离子束显微镜。
[0008]依照本发明的一实施例所述，在上述的缩小探针的针尖尺寸的方法中，在对探针进行倾斜角离子切削制作工艺之后，还包括量测针尖的尺寸是否符合规格。
[0009]依照本发明的一实施例所述，在上述的缩小探针的针尖尺寸的方法中，当针尖的尺寸不符合规格时，还包括在载台的上述多个旋转角度的位置上，重复对探针进行倾斜角离子切削制作工艺。
[0010]依照本发明的一实施例所述，在上述的缩小探针的针尖尺寸的方法中，量测针尖的尺寸是否符合规格的设备例如是扫描式电子显微镜。
[0011]依照本发明的一实施例所述，在上述的缩小探针的针尖尺寸的方法中，载台包括底座、载板及可拆卸垫片。载板连接于底座的表面上，且具有至少一沟槽，其中沟槽的延伸方向垂直于底座的表面，且沟槽用以容置探针。可拆卸垫片跨过沟槽且固定在载板上，以将探针固定在载板上。
[0012]依照本发明的一实施例所述，在上述的缩小探针的针尖尺寸的方法中，载台还包括固定件，用于将可拆卸垫片固定在载板上。
[0013]本发明提出一种载台，适用于承载至少一探针，且包括底座、载板及可拆卸垫片。载板连接于底座的表面上，且具有至少一沟槽，其中沟槽的延伸方向垂直于底座的表面，且沟槽用以容置探针。可拆卸垫片跨过沟槽且固定在载板上，以将探针固定在载板上。
[0014]依照本发明的一实施例所述，在上述的载台中，还包括固定件，用于将可拆卸垫片固定在载板上。
[0015]基于上述，在本发明所提出的缩小探针的针尖尺寸的方法中，会在载台的多个旋转角度的位置上，对探针分别进行倾斜角离子切削制作工艺，而通过离子束的切削图案所形成的夹角将探针的针尖修尖，因此可有效地缩小探针的针尖尺寸。
[0016]此外，通过本发明所提出的载台，可通过沟槽与可拆卸垫片稳定地将探针进行固定，且可将探针立在底座上而有利于进行缩小探针的针尖尺寸的操作。
[0017]为让本发明的上述特征和优点能更明显易懂，下文特举实施例，并配合所附的附图作详细说明如下。
【附图说明】
[0018]图1为本发明的一实施例的载台的分解图；
[0019]图2为图1中的载台的组合图；
[0020]图3为本发明的一实施例的缩小探针的针尖尺寸的流程图；
[0021]图4为本发明的一实施例的固定有探针的载台、聚焦离子束发射器与扫描式电子显微镜的相对位置示意图；
[0022]图5为本发明的一实施例的固定有探针的载台、聚焦离子束发射器与扫描式电子显微镜的另一相对位置示意图；
[0023]图6为本发明的一实施例的对探针进行正向离子切削制作工艺的示意图；
[0024]图7为本发明的一实施例的进行正向离子切削制作工艺之后的探针的示意图；
[0025]图8为本发明的一实施例的对探针进行倾斜角离子切削制作工艺的示意图；
[0026]图9为本发明的一实施例的进行倾斜角离子切削制作工艺之后的探针的示意图；
[0027]图10为图9中的针尖上视图。
[0028]符号说明
[0029]100:载台
[0030]102:底座
[0031]104:载板
[0032]106:可拆卸垫片
[0033]108:底板
[0034]110:连杆
[0035]112:沟槽
[0036]114:固定件
[0037]200:探针
[0038]202:针尖
[0039]300:聚焦离子束发射器
[0040]302,304:离子束
[0041]302a?302g:环状切削图案
[0042]304a、304b:切削图案
[0043]400:扫描式电子显微镜
[0044]S100、S102、S104、S106、S108、S110、S112:步骤
【具体实施方式】
[0045]图1为本发明的一实施例的载台的分解图。图2为图1中的载台的组合图。
[0046]请同时参照图1及图2，载台100适用于承载至少一探针200。载台100包括底座102、载板104及可拆卸垫片106。
[0047]底座102包括底板108与连杆110。底板108的材料例如是铝。连杆110的一端连接于底板108的底面。连杆110的另一端可连接至驱动装置(未绘示)，以通过驱动装置移动或转动载台100。连杆110的材料例如是铝。连杆110与底板108的连接方式例如是一体成型或焊接。
[0048]载板104连接于底座102的表面上，且具有至少一沟槽112，其中沟槽112的延伸方向垂直于底座102的表面，且沟槽112用以容置探针200。载板104的材料例如是铝。载板104与底座102的连接方式例如是一体成型或焊接。沟槽112的深度例如是小于探针200在以可拆卸垫片106进行固定处的探针直径，以使得探针200的一部分可容置于沟槽112中。在此实施例中，沟槽112的数量虽然是以三个为例进行说明，但本发明并不以此为限，所属技术领域具有通常知识者可依照制作工艺设计需求调整沟槽112的数量。此外，载台100所能承载探针200的数量由沟槽112的数量来决定。
[0049]可拆卸垫片106跨过沟槽112且固定在载板104上，以将探针200固定在载板104上。可拆卸垫片106的材料例如是导体材料，如铝。
[0050]此外，载台100还可包括固定件114，用于将可拆卸垫片106固定在载板104上。固定件114例如是螺丝。
[0051]基于上述实施例可知，载台100可通过将探针200容置于沟槽112中，且通过将可拆卸垫片106覆盖于探针200上，以稳定地将探针200进行固定。
[0052]此外，由于沟槽112的延伸方向垂直于底座102的表面，因此可将探针立在底座102上,而有利于进行缩小探针200的针尖尺寸的操作。
[0053]图3为本发明的一实施例的缩小探针的针尖尺寸的流程图。图4为本发明的一实施例的固定有探针的载台、聚焦离子束发射器与扫描式电子显微镜的相对位置示意图。图5为本发明的一实施例的固定有探针的载台、聚焦离子束发射器与扫描式电子显微镜的另一相对位置示意图。图6为本发明的一实施例的对探针进行正向离子切削制作工艺的示意图。图7为本发明的一实施例的进行正向离子切削制作工艺之后的探针的示意图。图8为本发明的一实施例的对探针进行倾斜角离子切削制作工艺的示意图。图9为本发明的一实施例的进行倾斜角离子切削制作工艺之后的探针的示意图。图10为图9中的针尖上视图。
[0054]首先，请参照图3及图4，进行步骤S100，将探针200固定在载台100上。其中，关于载台100的结构以及将探针200固定在载台100上的方式可参考图2的说明，于此不再赘述。
[0055]接着，请参照图3、图4、图6及图7，可选择性地进行步骤S102，以针尖202正对离子束302的方式，通过具有不同内径的环状切削图案302a?302g的离子束302对探针200进行正向离子切削制作工艺。其中，可通过移动载台100的位置来将探针200的针尖202正对离子束302。离子束302的电流强度例如是9800pA至21000pA。发射出离子束302的机台例如是