18)组合来提供图形化的电场，其保持DETF 66A和66B的齿的谐振(例如，以谐振频率并且在平面内且异相来振动齿)。在一些示例中，电极68可以充当拾取电极，其可以检测指示齿的位置的齿位置拾取信号。在这些示例中，齿位置拾取信号的频率可以指示齿的谐振频率。以这种方式，与振荡器电路组合的电极68可以被配置成保持DETF 66A和66B的齿的谐振。以这种方式，电极68还可以被配置成将DETF 66A和66B的齿的位置检测为齿位置拾取信号，其可以具有频率变化，，该频率变化指示由从悬垂的检验质量的旋转接收的力所引起的齿的谐振频率的变化。在一些示例中，电极68可以对应于如图1中所描述的电极14A和14B。
[0033]台面72A与72B是分离结构，其提供了66A和66B的齿与电极68之间的必要距离，因而DETF 66A和66B的齿可以自由振动，同时仍保持来自电极68的电场。例如，台面72A与72B可以将齿与其相应的电极分尚。
[0034]图3是图示出根据本文所描述的技术的另一示例性加速度计101的顶视图的框图。在图3的示例中，加速度计101包括悬垂的检验质量102，齿104A-104D(统称为“齿104”)，弯曲部106，支撑基座108，电极114A和114B，以及谐振器116A和116B，其可以分别对应于悬垂的检验质量2，齿4，弯曲部6，支撑基座8，电极14A和14B，和谐振器16A和16B。在一些示例中，加速度计101可以是微机电系统(MEMS)加速度计。
[0035]悬垂的检验质量102由于加速度计101的加速度而在如由支撑基座108定义的平面中旋转。齿104通过由于齿104上的力的变化引起的加速度计1I的频率的变化而能够实现检测加速度计101中的力的量(例如，力的增加或减小)ο在一些示例中，齿104可以是谐振器116A和116B的一部分。例如，齿104可以是双端音叉(DETF)的一部分。在一些示例中，当被放置在电场中时齿104可以保持谐振。在其它示例中，当其被提供电荷时齿104可以保持谐振。当力(例如，力的增加或减少)被置于齿104上时，齿104可以具有谐振频率的变化。在一些示例中，齿104可以被多个电极围绕。例如，多个电极可以与齿104相邻和/或在齿104下面。在这些示例中，齿104可以保持来自由多个电极(例如，起驱动电极的作用)提供的电场的它们的谐振(即，继续在平面内且异相振动)。在这些示例中，齿104的位置还可以由多个电极(例如，起拾取电极作用)确定。在一些示例中，齿104的谐振频率可以由多个电极检测，从而多个电极提供齿位置拾取信号，其可以被独立地放大，并且对每个信号的频率的任何变化被解释为加速度。在这些示例中，来自相应的谐振器的多个齿位置拾取信号的变化可以被组合，并将其解释为加速度计101的加速度的量。
[0036]弯曲部106灵活地将悬垂的检验质量102连接到支撑基座108，并支撑在支撑基座108内的悬垂的检验质量102。在一些示例中，弯曲部106可以是铰链，其使得悬垂的检验质量102能够因为加速度计101的加速度而在由支撑基座108定义的平面中绕弯曲部106在枢轴上转动。
[0037]支撑基座108通过弯曲部106向悬垂的检验质量102提供支撑，并且谐振器116A和116B可以包含可以使悬垂的检验质量102位移的力。在一些示例中，支撑基座108可以是平面的，定义了平面，其中悬垂的检验质量102、齿104、弯曲部106以及谐振器116A和116B也位于所定义的平面中。例如，支撑基座108可以由单片材料构成，其中蚀刻多个特征以形成加速度计101的顶层。在一些示例中，支撑基座108可以必要地由石英衬底或硅衬底构成。
[0038]在图3的示例中，加速度计101包括悬垂的检验质量102，齿104，弯曲部106，支撑基座108，电极114A和114B，以及谐振器116A和116B。在本示例中，加速度计101可以在从右到左的加速度下。加速度计101从右到左的加速度可以引起悬垂的检验质量102通过牛顿力的从左到右的旋转，其是等于质量乘以加速度的力。悬垂的检验质量102从左到右的旋转可以引起悬垂的检验质量102的中心质量绕由弯曲部106创建的铰链旋转，从而悬垂的检验质量102的左上部分在平面内向右移动，并且悬垂的检验质量102的右上部分在平面内向右移动。悬垂的检验质量102向右的平面内移动可以引起谐振器116A接收张力并且谐振器116B接收压缩力，这可以改变谐振器116A和116B的频率。
[0039]谐振器116A和116B可以是具有齿104的双端音叉(DETF)，其可以检测悬垂的检验质量102的旋转。谐振器116A和116B还可以包括可以部分地围绕齿104的一部分的电极114A和114B。例如，电极114A和114B可以与齿104相邻或者被施加在齿104上。谐振器116A和116B中的每个可以通过电极114A和114B连接到相应的振荡器电路(例如，如图1中所描述的振荡器电路18)，以保持齿104的谐振。
[0040]相应的振荡器电路通过如下来保持齿104的谐振:使用来自电极114A和114B的所检测的瞬时DETF齿位置(例如，相应的齿位置拾取信号)，并且随后放大相应的齿位置拾取信号以创建相应的谐振器驱动信号，然后使用电极114A和114B将其施加到谐振器116A和116B。谐振器116A和116B的频率可以是跨齿104施加的负载的函数(例如，通过悬垂的检验质量102的移动)。以这种方式，在相应的谐振器驱动信号与相应的齿位置拾取信同相的情况下，相应的谐振器驱动信号满足Barkhausen稳定准则。
[0041]电极114A和114B中的每个包括驱动齿104以保持齿104的谐振并检测齿104的位置的多个电极。与相应的振荡器电路组合的电极114A和114B提供了图案化的电场以引起齿104保持齿104的谐振。与相应的齿104相邻的电极114A和114B中的每个可以将相应的齿104的位置检测为相应的齿位置拾取信号。电极114A和114B可以被配置成使用电容、电磁或光学装置来检测相应的齿104的位置。在一些示例中，与由电极114A和114B检测的相应的齿位置拾取信号相关联的频率可以指示齿104的谐振频率。电极114A和114B还可以向相应的振荡器电路提供检测的相应的齿位置拾取信号，所述振荡器电路放大相应的齿位置拾取信号从而创建相应的谐振器驱动信号。相应的谐振器驱动信号可以由相应的振荡器电路提供到相应的电极114A和114B以保持齿104的谐振(例如，平面内且异相)。相应的齿位置拾取信号还可以被独立地放大，并将其作为输出提供到处理器(例如，处理器20)。以这种方式，电极114A和114B可以通过检测相应的齿位置拾取信号来检测悬垂的检验质量102的旋转，每一个相应的齿位置拾取信号具有指示齿104的谐振频率的改变的频率。
[0042]电极114A和114B可以是位于齿104或基底层(未示出)上的金属化结构。例如，电极114A和114B可以包括被蒸汽沉积在围绕齿104的基底层上的多个电极，或者可以通过将基底层直接熔融结合到支撑基座108来被施加到支撑基座108。在一些示例中，基底层的电极114A和114B可以通过使用钎焊材料、环氧树脂或粘合剂而被施加到支撑基座108，以将基底层结合到支撑基座108。在一些示例中，电极114A和114B可以经由导线结合而具有从附着的电子设备(例如，振荡器等)发送的电荷或电场，并且通过真空沉积来将金属化图案应用为电极114A和114B。
[0043]在图3的示例中，谐振器116A和116B与弯曲部106将悬垂的检验质量102连接到支撑基座108，并且谐振器116A和116B在垂直于弯曲部106的阈值度数内(例如，在75°和105°之间，在垂直的加或减15度内)。在一些示例中，谐振器116A和116提供相对于检验质量102的推挽装置(push-pull arrangement)。在图3的示例中，在悬垂的检验质量102的第一侧的中间附近连接弯曲部106。在图3的示例中，与悬垂的检验质量102的第二侧的中间等距离地连接谐振器116A和116B，其中第二侧与悬垂的检验质量102的第一侧相对。在一些示例中，谐振器116A和116B与弯曲部106可以具有零计量长度，因为弯曲部106与谐振器116A和116B以相同的速率沿着类似的距离膨胀，这降低了对热膨胀的敏感性。虽然在图3中未示出，但是在一些示例中，壳体结构可以围绕加速度计101，并且可以被附着到支撑基座108。
[0044]图4是图示出根据本文所描述的技术的另一示例性加速度计201的顶视图的框图。在图4的示例中，加速度计201包括悬垂的检验质量202，齿204A-204D(统称为“齿204”)，弯曲部206，支撑基座208，电极214A和