一种镀膜仪样品架的利记博彩app
【技术领域】
[0001 ]本发明涉及矿物测试领域，特别涉及一种镀膜仪样品架。
【背景技术】
[0002]进行电子探针测试的样品大都是不导电的岩石和矿物样品，一般事先制作成表面抛光的电子探针薄片(长<50mm，一般48mm左右，宽25mm左右)。上机测试之前需要在薄片的表面镀一层导电薄膜，通常是在真空镀膜仪上给电子探针薄片镀一层导电的碳膜。
[0003]以日本电子株式会社生产的JEE-420型真空镀膜仪为例，摆放样品的底盘是一个半径为I OOmm的圆盘。碳膜喷射点(即碳弧)位于圆盘中心上方高约I OOmm的地方。喷碳时，碳蒸汽以碳弧为中心点以球状发射的方式向四周喷射。因此，在一次镀碳过程中，距离碳弧越近的地方镀上的碳膜越厚，离碳弧越远的地方则越薄。由于镀上的碳膜会吸收入射电子束的能量以及从样品激发出来的特征X射线，导致元素的特征X射线激发量变少，特征X射线的强度和碳膜的厚度成反比。但是，如果碳膜过薄，容易引起样品放电，致使图像不清晰。因此，要得到较理想的镀膜效果，就是做到不同样品的碳膜厚度尽量相差较小。一般认为最适宜的碳膜厚度为15nm?20nm，即不同地方碳膜厚度相差在5nm的范围内。为了得到这个碳膜厚度的范围，通过理论计算得出真空镀膜仪底盘上镀碳有效区域是以喷射点正下方为中心，半径约为55mm的圆。在此情况下，在一次喷碳过程中真空镀膜仪底盘一般只放置6块探针薄片，摆放过多会导致位于底盘边缘部位的薄片镀膜效果不好或者位于圆盘中间部位的薄片镀膜太厚，影响测试结果。
[0004]由于电子探针测试对镀膜效果的要求比较高，在每次镀膜的过程中，JEE-420真空镀膜仪的抽真空时间较长，一般一个完整的镀膜流程需要6h左右，且磨制碳棒制作碳弧也是一个费时费力的过程，一次又只能对6个电子探针薄片进行镀膜，因此导致了电子探针薄片镀膜效率低下。
【发明内容】
[0005]本发明的目的在于提供一种镀膜仪样品架，在保证镀膜效果的前提下，解决了现有电子探针薄片镀膜效率低下的技术问题。
[0006]本发明实施例提供的一种镀膜仪样品架，为N个相同尺寸的棱侧板围绕固定在一起而成的正棱柱架，其中，每个所述棱侧板在朝内板面上设置多个放置探针薄片的区域，N为5?13的正整数。
[0007]优选的，所述正棱柱架具体为:由八个相同尺寸的所述棱侧板围绕固定在一起而成的中空正八棱柱。
[0008]优选的，所述正棱柱架中有一个或相邻多个所述棱侧板为金属板，其余所述棱侧板均为金属杆连接而成金属矩形架。
[0009]优选的，所述正棱柱架包括:五个相邻所述金属板顺次固定连接而成的第一整体部分，三个相邻所述金属矩形架顺次固定连接而成的第二整体部分，所述第二整体部分搭载在所述第一整体部分上；
[0010]其中，与居中的所述金属板相邻的每个所述金属板上均固定有两个第一限位件，一个所述第一限位件固定在所述金属板的第一板端，另一个所述第一限位件固定在距离所述第一板端为第一距离的朝内板面位置上。
[0011]优选的，与居中的所述金属板相隔的每个所述金属板上均固定有两个第二限位件，其中，一个所述第二限位件固定在所述金属板的第二板端，另一个所述第二限位件固定在距离所述第二板端为第二距离的朝内板面位置上。
[0012]优选的，每个所述第二限位件由两个金属片相互垂直焊接而成。
[0013]优选的，每个所述金属矩形架为面中空。
[0014]优选的，每个所述金属矩形架的第一金属杆上固定有第一L形槽，所述第一金属杆为平行于所述正棱柱架的轴线的所述金属杆；
[0015]在每个所述金属矩形架上横跨有第二L形槽和T形槽，其中，所述第二L形槽的两端分别可拆卸式固定在两个与所述第一金属杆相邻的所述金属杆上，所述T形槽的两端分别可拆卸式固定在两个与所述第一金属杆相邻的所述金属杆上，所述第二 L形槽平行于所述T形槽。
[0016]优选的，碳膜喷射点位于所述正棱柱架的中心。
[0017]本发明实施例中提供的一个或多个技术方案，至少具有如下技术效果或优点:
[0018]通过N个相同尺寸的棱侧板围绕固定在一起而成正棱柱架作为镀膜仪样品架，每个棱侧板在朝内板面上设置多个放置探针薄片的区域，正棱柱架在应用时让碳棒穿过正棱柱架的轴线，则碳膜喷射点能够在正棱柱架的中心，每个棱侧板的板面中心距离碳弧的位置就会相同，因此每个棱侧板都能达到相同的镀膜效果，使一次镀膜过程可摆放的探针薄片增多，解决了现有电子探针薄片镀膜效率低下的技术问题，实现镀膜效率成倍提高。比如，每个棱侧板在朝内板面为6个放置区域，则镀膜效率至少为原来的8倍，极大地提高了探针薄片镀膜的效率。
【附图说明】
[0019]为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据提供的附图获得其他的附图。
[0020]图1为本发明实施例中镀膜仪样品架的结构示意图；
[0021 ]图2为本发明实施例中镀膜仪样品架的侧视图；
[0022]图3为本发明实施例中金属矩形架的俯视图；
[0023]图4为本发明实施例中棱侧板上放置探针薄片的位置示意图。
【具体实施方式】
[0024]为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
[0025]参考图1?图4所示，本发明实施例提供的一种镀膜仪样品架，为N个相同尺寸的棱侧板围绕固定在一起而成的正棱柱架，其中，每个棱侧板在朝内板面上设置多个放置探针薄片18的区域，N为5?13的正整数。
[0026]具体的，正棱柱架具体为由八个相同尺寸的棱侧板围绕固定在一起而成的中空正八棱柱。在具体实施过程，正棱柱架并不限定为正八棱柱，还可以为正六棱柱，正十个棱柱等等。每个棱侧板的朝内板面上均都可以放置样品，让待测试样品在碳膜喷射点13的周围呈环状分布。参考图1所示，正棱柱架中有一个或相邻多个棱侧板为金属板1、2、3、4、5，其余棱侧板均为金属杆连接而成金属矩形架6、7、8。
[0027]下面参考图1?图4所示，以正棱柱架为正八棱柱为例对镀膜仪样品架的结构进行详细描述:
[0028]正棱柱架具体有第一整体部分和第二整体部分，第一整体部分由五个相邻金属板
1、2、3、4、5顺次固定连接而成，第二整体部分由三个相邻金属矩形架6、7、8顺次固定连接而成的。在具体实施过程中，每个金属板1、2、3、4、5均为铁片、钢片或合金片等制作而成，金属矩形架6、7、8均为面中空。
[0029]具体的，参考图1和图2所示，与位于居中的金属板I相邻的为金属板2、3，金属板I与金属板2之间夹角为135°，金属板I与金属板3之间夹角为135°。金属板2、金属板3上均固定有第一限位件9、10。具体的，金属板2的第一板端和金属板3的第一板端分别固定一个第一限位件9，距离每个第一板端为第一距离的位置上分别固定有一个第一限位件10。具体来讲，金属板2的第一板端、金属板3的第一板端都为与金属板I固定的一端。在具体实施过程中，第一限位件9、10的结构相同，第一限位件9、10可以均为金属片，比如铁片，钢片，合金片等等。通过第一限位件9、10固定每个探针薄片18在金属板2、3上。
[0030]具体的，参考图1和图2所示，与位于居中的金属板I相隔的为金属板4、5。金属板4与金属板2相邻并且之间夹角为135°，金属板5与金属板3相邻并且之间夹角为135°。金属板
4、5上均固定有第二限位件11、12。