体和待测气体均采用高压钢瓶储存。
[0045]各待测气源2连接于第一气体混合腔4,第一气体混合腔4至少有两个等效进气口和一个出气口,且第一气体混合腔4的进气口与待测气源2连接。第二气体混合腔5具有至少两个进气口和至少两个出气口。第二气体混合腔5的第一出气口及第二出气口分别与气体检测装置10的出气口以及第一进气口连接。第二气体混合腔5的第一进气口与第一气体混合腔4的出气口连接。待测气体先进入第一气体混合腔4进行第一次混气,再通入第二气体混合腔5与稀释气体一起进行第二次混气。第二进气口与稀释气源I连接,且稀释气源I与气体检测装置10的第二进气口连接。稀释气源分别连接第二气体混合腔5和气体检测装置10,不仅可以用于稀释预混合后的待测气体,还可以对气体检测装置10检测腔进行清洗,使得检测腔快速恢复到检测前的气氛状态,实现快速切换,加快检测速度。
[0046]本实施例中,第一气体混合腔4为一个六通管,有五个等效的进气口和一个出气口。气体检测装置10有两个进气口和一个出气口,一个进气口通过阀门连接第二气体混合腔5,另一进气口通过阀门连接稀释气源I,出气口通过阀门连接气体处理装置12。气体检测装置10内设置有传感器阵列9,可以同时对多个气敏传感器进行测试。其它实施例中,当待测气体少于四种时,第一气体混合腔4可使用三通管、四通管或直管替代。
[0047]具体来说,待测气源2、第一气体混合腔4、第二气体混合腔5的第一进气口依次相连构成第一气体输入气路;稀释气源1、第二气体混合腔5的第二进气口依次相连构成第二气体输入气路;稀释气源1、阀门、气体检测装置10依次相连构成第三气路输入气路。实际使用中,可以根据需要增减元件或适当调整连接顺序。
[0048]本实施方式中,待测气体或稀释气体的气体输出气路中,还可以连接有用于对待测气源2和稀释气源I输出的气体流量进行控制和检测的流量控制装置。流量控制装置电连接智能控制装置,智能控制装置会经由流量控制装置采样,提取出所需的信息,例如实时显示流量值,以精确控制气体的流量的稳定及各气体流量之间比例的稳定。智能控制装置根据用户的设置进行智能流量控制。流量控制装置采用带流量控制功能的质量流量计,例如气体质量流量控制器。本实施例中,五个第一流量控制装置301设置于待测气源2与第一气体混合腔4之间的气体管路,一个第一流量控制装置301设置于稀释气源I与第二气体混合腔5之间的气体管路,一个第二流量控制装置302设置于待测气源2以及气体检测装置10之间的气体管路;其中,第二流量控制装置302的量程大于等于第一流量控制装置301的量程。具体的,第一流量控制装置301量程为O?50sccm,第二流量控制装置302量程为O?5slm。
[0049]本实施方式中,待测气体或稀释气体的气体输出气路中,还可以连接有用于对待测气源2和稀释气源I输出的气体气压进行调节和检测的气压调节装置。气压调节装置被设计成降低并维持来自相应气源的气体的输送压力。气压调节装置可以为自带减压阀的钢瓶,也可以加装泄压阀与流量控制装置连接,实时调节。
[0050]实施例二
[0051 ]根据实施例一,如图1所示,本实施例还包括气体收集装置6和气体处理装置12,其中,气体收集装置6通过气体阀门连接第二气体混合腔5的第一出气口,气体处理装置12连接于气体检测装置10的出气口以及第二气体混合腔5的第一出气口。
[0052]本实施例中的第二气体混合腔5的第二出气口与气体检测装置10连接,且气体检测装置10与气体处理装置12连接;第二气体混合腔5的第一出气口直接与气体收集装置6及气体处理装置12连接,其中,气体收集装置6及气体处理装置12并联。一方面,第二气体混合腔5的第一出气口不通过气体检测装置10,直接与气体处理装置12连接,可用于气体浓度调试。因为配气时,如果气体浓度还未到达预期浓度便进入气体检测装置10的检测腔与传感器发生反应,容易造成检测数据混乱和错误,此时可以先通过第二气体混合腔5的第一出气口进行气体浓度的调试,以避免混气后的前段气体浓度未达标而对检测数据造成混乱和错误。另一方面,第二气体混合腔5的第一出气口不通过气体检测装置10,直接与气体收集装置6(例如气袋)连接,用于储气,便于对混气后的气体引出进行第三方检验,进一步证明调试后的气体混合物浓度符合要求,而且也便于日后的校准,判断测试结果的准确性。
[0053]本实施中,还可以包括标准浓度检测装置(例如色谱仪),与第二气体混合腔5的第一出气口连接,对于配气是否达到预期浓度直接进行分析,更方便,使得调试结果更精确。标准浓度检测仪器直接影响整个浓度的精度,所以精度应尽量的高。
[0054]具体的,第二气体混合腔5的第一出气口、阀门、气体收集装置6依次相连构成第一气体输出气路;第二气体混合腔5的第一出气口、阀门、气体处理装置12依次相连构成第二气体输出气路;第二气体混合腔5第二出气口、阀门、气体检测装置10、阀门、气体处理装置12依次相连构成第三气路输出气路。
[0055]本实施例中,气体处理装置12或气体收集装置6的前端还可以设置有可拆卸接头11,不仅便于根据实际使用情况,自由更换气体处理装置12的类型,而且便于前端管路的整体拆卸和清洁。因为接头处往往容易残留有毒有害物质。本实施例中,可根据需要更换尾气处理装置的类型,检测无毒无害气体可不使用尾气处理装置,如酸性气体S02、H2S等可使用碱液吸收,水溶性气体HCl、乙醇等可使用水吸收。
[0056]实施例三
[0057]根据实施例二,如图1所示,本实施例还包括温控装置8,温控装置8设置于第二气体混合腔5第二出气口以及气体检测装置10之间的气体管路,不仅可以模拟现实中的大气温度,也可以避免不同气体温度对检测结果的影响。具体的,第二气体混合腔5的第二出气口、温控装置8、阀门、气体检测装置10、阀门、气体处理装置12依次相连构成第三气体输出气路。进一步,气体输出气路还可以根据用户需要对混合后的气体进行其它处理,例如干燥化、湿化、杀囷等等。
[0058]本实施例中的温控装置8可以选用玻璃材质的冷阱,其可承受-70?100°C的温度范围,内置螺旋管路以增加气体流程,需要高温时将其置于水浴中,低温时可加入液氮。
[0059]值得一提的是,本实施例中,阀门为多个手动阀门和多个自动阀门的组合。自动阀门可以为电磁阀门,电磁阀门可以由一个开关统一控制,便于快速切换气体。手动阀门可以为普通旋钮式阀门,安全可靠。此外,本实施例中的动态配气系统,除了气袋、冷阱和气体处理装置12外,均采用不锈钢材质,包括气体混合腔、气体检测装置10、阀门、三通管7以及气路,能够有效地防止腐蚀性气体对装置的腐蚀。
[0060]实施例四
[0061]如图1所示,本发明提供一种用于气敏传感器测试的动态配气方法。
[0062]步骤一,测试前,首选调节阀门开关,阀门101开启、阀门102关闭、阀门103开启、阀门201关闭、阀门202开启、阀门203开启。启动第二气体混合腔5与气体检测装置10之间的温控装置8,用于调节混合气体的温度。具体的,冷阱置于水浴中预热,考虑到气体散热较快,水浴温度比待测气体温度高5?10°C。
[0063]步骤二,打开稀释气源I和待测气源2并通过流量控制装置调节流量使得特定流量的稀释气体和待测气体进入气路。其中,待测气体经过第一气体输入气路进入第一气体混合腔4进行预混合,再进入第二气体混合腔5与稀释气体进行二次混合。稀释气体分为两路,一路经过第三气体输入气路进入气体检测装置10,进行清洗作业;另一路稀释气体经过第二气体输入气路进入第二气体混合腔,与预混合后的待测气体混合形成特定浓度的混合气体。因为阀门101开启、阀门102关闭,混合气体会顺着第二气体输出气路通往尾气处理装置,持续通气I?5分钟,待混合气体气流和浓度趋于稳定后,再进行传感器测试。其它实施例中,第一次测试时,气路不需要清洗,阀门103可以关闭或者调节对应的流量调节装置将流量设置为零,从而使稀释气体不对气体检测装置10的检测腔进行清洗。
[0064]步骤三,测试开始,调节阀门开关,阀门101关闭、阀门102打开、阀门103关闭,其余阀门不变。由于稀释气体与气体检测装置10