>[0031] 其中，该干式膜面清洁制程可W电晕（Corona)、电浆（Plasma)及紫外线照射 OJVirradiation)等物理性高能量制程为之，此不但可清洁膜面外，亦可具有不同程度的表 面改质，W增加其表面的附着力，而电晕方式更可活化膜面的亲水性，有利于后续的湿式膜 面清洗制程。
[0032] 其中，该湿式膜面清洁制程可为化学药液清洗，其还包括有一超音波震荡制程，可 促进化学药液对膜面污垢的处理效率。
[0033] 请参阅图3所示，本发明卷对卷聚酷亚胺膜清的清洗系统的第一实施例，其依序 包括有下列装置。
[0034] 一放卷装置30,其用W将卷筒式聚酷亚胺膜进行放卷制程。
[0035]一黏尘装置31，其为一黏层轮，用W黏着膜面的较大的杂质。
[0036] 一膜面清洁装置，其依序为一干式清洁机32,再为一湿式清洁机33,其中，该湿 式处理机33还包括有一超音波震荡装置34 ;干式清洁机32可为电晕（Corona)、电浆 (Plasma)及紫外线照射（UV irradiation)等物理性高能量处理机。所述膜面清洁装置，用 W清洁聚酷亚胺膜；膜面清洁装置包括一干式清洁机和一湿式清洁机。
[0037] 烘干处理机35,其用W烘干该清洗完成的聚酷亚胺膜。及
[0038] 一收卷装置36,将烘干完的聚酷亚胺膜收起成卷。
[0039] 请参阅图4所示，本发明卷对卷聚酷亚胺膜的清洗系统的第二实施例，其依序包 括有下列装置。
[0040] 一放卷装置40,其用W将卷筒式聚酷亚胺膜进行放卷制程。
[0041] 一黏尘装置41，其为一黏层轮，用W黏着膜面的较大的杂质。
[0042] 一膜面清洁装置，其是一湿式清洁机42,其中，该湿式清洁机42还包括有一超音 波震荡装置43。
[0043] 一烘干处理机44,其用W烘干该清洗完成的聚酷亚胺膜。及
[0044] 一干式清洁机45,其用W清洁该聚酷亚胺膜，其可为电晕（Corona)、电浆 (Plasma)及紫外线照射（UV irradiation)等物理性高能量处理机为之。及
[0045] 一收卷装置46,是将烘干完的聚酷亚胺膜收起成卷。
[0046] 通过W上清洗方法及清洗系统，可有效地将激光加工完成预钻孔的聚酷亚胺膜清 洗完成，W便于后续金属化制成（如化学锻儀及电锻铜）。
[0047] 如下表格显示，经电晕处理可提升化儀作业的质量。
[0048]
[0049] 图5为未实施膜面清洗而直接化锻，而有漏锻的情形发生。
[0050] 图6为未实施膜面清洗而直接化锻，而钻孔边缘有漏锻的情形发生。
[0051] 图7为实施膜面清洗后进行化锻，其外观正常，未有漏锻的情形。
[0052] W上所述，仅为本发明中的【具体实施方式】，但本发明的保护范围并不局限于此，任 何熟悉该技术的人在本发明所掲露的技术范围内，可理解想到的变换或替换，都应涵盖在 本发明的包含范围之内。
【主权项】
1. 一种卷对卷聚酰亚胺膜的清洗方法，其特征在于包括有下列步骤： 提供一卷筒式聚酰亚胺膜； 将该聚酰亚胺膜进行放卷制程； 将该聚酰亚胺膜进行一膜面清洁制程，其中该膜面清洁制程可为先进行干式膜面清 洁制程，再进行湿式膜面清洁制程，或可先进行湿式膜面清洁制程，再进行干式膜面清洁制 程；及 进行一收卷制程。2. 如权利要求1所述的方法，其特征在于，在该膜面清洁制程前可进行一黏尘制程。3. 如权利要求1所述的方法，其特征在于，该干式膜面清洁制程包括电晕、电衆、紫外 光照射的物理性高能量处理方式。4. 如权利要求1所述的方法，其特征在于，该湿式膜面清洁制程是以化学药液清洗。5. 如权利要求1所述的方法，其特征在于，该湿式膜面清洁制程还包括有一超音波震 荡。6. 如权利要求1所述的方法，其特征在于，在完成湿式膜面清洁制程后可进行一烘干 制成。7. 如权利要求1所述的方法，其特征在于，该聚酰亚胺膜是激光加工制成。8. -种卷对卷聚酰亚胺膜的清洗系统，其特征在于依序包括有： 一放卷装置，用以将卷筒式聚酰亚胺膜进行放卷； 一膜面清洁装置，用以清洁聚酰亚胺膜；膜面清洁装置包括一干式清洁机和一湿式清 洁机，其先为一干式清洁机，再为一湿式清洁机，或先为一湿式清洁机，再为一干式清洁机； 及 一收卷装置，用以将清洁的聚酰亚胺膜收起成卷。9. 如权利要求8所述的系统，其特征在于，于该膜面清洁装置前设置有一黏尘装置。10. 如权利要求9所述的系统，其特征在于，该黏尘装置为黏层轮。11. 如权利要求8所述的系统，其特征在于，该干式清洁机为电晕、电浆或紫外光照射 的高能量清洁机。12. 如权利要求8所述的系统，其特征在于，该湿式处理机为化学清洗装置。13. 如权利要求8所述的系统，其特征在于，该湿式处理机还包括有一超音波震荡装 置。14. 如权利要求8所述的系统，其特征在于，该湿式膜面清洗装置后设有一烘干处理 机。
【专利摘要】本发明是一种卷对卷聚酰亚胺膜的清洗方法及其系统，其包括有提供下列步骤：提供一卷筒式聚酰亚胺膜；将该聚酰亚胺膜进行放卷制程；将该聚酰亚胺膜进行一膜面清洁制程，其中该膜面清洁制程，可先进行干式膜面清洁制程，再进行湿式膜面清洁制程，或可先进行湿式膜面清洁制程，再进行干式膜面清洁制程；及进行一收卷制程。另外，该清洗系统依序包括有一放卷装置；一膜面清洁装置，其可先为一干式清洁机，再为一湿式清洁机，或可先为一湿式清洁机，再为一干式清洁机；及一收卷装置。
【IPC分类】B08B3/12, B08B13/00, B08B3/08, B08B7/04, B08B7/00
【公开号】CN105170576
【申请号】
【发明人】陈宗仪, 滨泽晃久, 陈文钦, 邱建峰, 范士诚
【申请人】柏弥兰金属化研究股份有限公司, 达迈科技股份有限公司, 荒川化学工业股份有限公司
【公开日】2015年12月23日
【申请日】2015年5月11日