技术总结
本发明提供一种超声波传感器，其具备形成有开口部的基板、以封闭开口部的方式设置于基板的振动板及包括层叠于振动板的与开口部相反侧的第一电极、压电体层及第二电极的超声波元件，在将第一电极、压电体层以及第二电极层叠的方向作为Z方向，将在Z方向上第一电极、压电体层以及第二电极重叠的部分作为有源部，将振动板因该有源部的驱动而能够振动的范围作为可动部时，有源部配置为与可动部对置，在俯视观察时，有源部的外形比可动部的外形小，在有源部的侧方的、至少与可动部对置的区域设置有调整共振频率的共振频率调整部。
技术研发人员：小岛力
受保护的技术使用者：精工爱普生株式会社
文档号码：201580035961
技术研发日：2015.07.06
技术公布日：2017.05.10