吸嘴台设置装置的利记博彩app

本发明涉及用于将保持有电子元件安装机中使用的多个吸嘴的多个吸嘴台设置于吸嘴清洗装置等的吸嘴台设置装置。

背景技术：

在电子元件安装机中，为了将电子元件安装于电路基板而使用吸附保持电子元件的吸嘴。在这样的电子元件安装机中，为了提高电子元件的安装精度，需要适当地管理吸嘴。因此，例如在专利文献1中记载有用于对电子元件安装机中使用的吸嘴进行清洗及检查的嘴管理机。

专利文献1：国际公开第2014/068673号

技术实现要素：

发明要解决的课题

电子元件安装机中使用的吸嘴根据电子元件的种类或大小等而多样化，为了适当地管理上述吸嘴，保持多个吸嘴的吸嘴台也存在多种，因此，希望出现能够对不同的多个吸嘴台进行定位固定而且能够识别上述吸嘴台的种类的吸嘴台设置装置。

本发明鉴于上述愿望而作出，其目的在于提供一种能够设置保持有多个吸嘴的多个吸嘴台的吸嘴台设置装置。

用于解决课题的方案

为了解决上述课题，本发明的特征是在用于设置对电子元件安装机中使用的多个吸嘴进行保持的多个吸嘴台的吸嘴台设置装置中，上述吸嘴台设置装置具备：多个基准基座；及中间基座，分别以能够拆装的方式设置在上述多个基准基座上且能够载置上述多个吸嘴台，在上述多个基准基座上分别在共同的位置设有对上述中间基座进行定位的定位部，在上述多个中间基座上分别设有对上述多个吸嘴台以能够拆装的方式进行定位固定的定位固定装置，在上述多个吸嘴台上，相对于上述定位部而以一定的位置关系分别配置有二维码。

发明效果

根据上述的本发明，例如，能够在吸嘴清洗装置的吸嘴台支撑部上固定的多个基准基座上，经由中间基座而定位固定多个吸嘴台。而且，能够基于相对于定位部而以一定的位置关系分别配置的二维码来识别吸嘴台的种类。

附图说明

图1表示本发明的实施方式，是表示对电子元件安装机中使用的吸嘴进行清洗的吸嘴清洗装置的概要的图。

图2是表示将电子元件安装于基板的电子元件安装机的立体图。

图3是表示保持有多个吸嘴的吸嘴台的一例的立体图。

图4是保持有吸嘴的吸嘴台的剖视图。

图5是从图4的箭头5方向观察的吸嘴台的俯视图。

图6是表示在吸嘴清洗装置的吸嘴台支撑部上设置的基准基座的图。

图7是表示在基准基座上载置有中间基座的状态的图。

图8是表示在中间基座上载置有吸嘴台的状态的图。

图9是表示在基准基座上直接载置大型用吸嘴台的状态的图。

图10是表示中间基座的下表面的图。

图11是表示定位销相对于吸嘴清洗装置的机械原点的位置关系的图。

图12是表示吸嘴台的下表面的图。

图13是表示与图12不同的吸嘴台的下表面的图。

图14是表示横跨多个基准基座地载置有中间基座的状态的图。

具体实施方式

以下，基于附图对本发明的实施方式进行说明。图1表示用于对电子元件安装机10中使用的吸嘴N(参照图2)进行清洗的吸嘴清洗装置50。吸嘴清洗装置50具备：吸嘴台支撑部51，对保持有多个吸嘴N的吸嘴台NS进行支撑；嘴清洗部52，对吸嘴N进行清洗；吸嘴移载部53，将吸嘴台支撑部51支撑的吸嘴台NS保持的吸嘴N向嘴清洗部52移载；及控制部54，对吸嘴清洗装置50进行控制。在吸嘴清洗装置50中也可以设置对清洗后的吸嘴N进行检查的检查装置。

吸嘴移载部53具备能够在三维方向上移动的移载头55，在移载头55上设有对吸嘴台NS上附设的后述的二维码进行拍摄的相机56及逐个地对吸嘴台NS保持的吸嘴N进行保持的保持夹盘57等。

图2表示电子元件安装机10的一例，表示冰雷设置有相同构造的两台电子元件安装机10的例子。电子元件安装机10构成为包括：输送器型的基板输送装置14，输送基板S并且将其定位固定于预定位置；多个供料器型的元件供给装置16，将电子元件P向元件供给位置供给；安装头18，用于将由元件供给装置16供给到元件供给位置的电子元件P向基板S安装；及头移动装置20，使安装头18在元件供给装置16与基板S之间移动。

安装头18将吸嘴轴22支撑为能够升降并旋转，该吸嘴轴22在下端部以能够拆装的方式安装有吸嘴N。安装头18作为一例而由能够进行转位的旋转头构成，在旋转头支撑的多个吸嘴轴22上安装有多个吸嘴N。

通过设置在固定台12上的元件相机24从下方拍摄由吸嘴N吸附的电子元件P，并基于通过拍摄而得到的图像数据而将电子元件P以规定的姿势安装在基板S上的规定的位置。另外，虽然未图示，但是在安装头18上安装有从上方拍摄形成于基板S的基板标记等的基板相机。

在电子元件安装机10中，使用尺寸及形状不同的多个吸嘴N，按照吸嘴N的各种类来设置吸嘴台NS。吸嘴台NS在元件供给装置16附近，以能够拆装的方式设置在固定台12上。吸嘴台NS作为将多个吸嘴N保持为能够拆装的嘴保持器发挥作用，保持于吸嘴台NS的多个吸嘴N以公知的方法自动地安装于安装头18的吸嘴轴22。

图3表示吸嘴台NS的一例。吸嘴台NS呈大致长方体形状，具有将吸嘴N以嘴部Na(参照图4)朝向下方的姿势保持为能够拆装的多个保持孔33。另外，在图3中，省略保持于保持孔33的吸嘴N地进行图示。

如图4及图5所示，吸嘴台NS具有基座板31和覆盖基座板31的上表面的罩板32。罩板32能够相对于基座板31向图3的箭头方向滑动预定量。在基座板31上，沿着纵向及横向具有一定的间隔地设有对吸嘴N进行保持的多个保持孔33。保持孔33设为阶梯孔，在阶梯孔的台阶面上载置吸嘴N的凸缘部Nb。在凸缘部Nb的外周形成有凹口Nb1，在保持孔33的台阶面上设有与凹口Nb1卡合的省略图示的销。通过凹口Nb1与销的卡合，而以规定的角度载置吸嘴N，并且阻止吸嘴N的旋转。

另一方面，在罩板32上，与保持孔33对应地形成有圆形的贯通孔35，在该贯通孔35的内周一部分上形成有插槽部36。贯通孔35形成为与保持孔33大致相同的内径，插槽部36的宽度稍大于插入到吸嘴轴22的插入孔内的吸嘴N的轴部Nc的外径。

通过罩板32相对于基座板31的滑动，而在保持孔33与贯通孔35一致的状态和保持孔33由插槽部36闭塞的状态之间变化。罩板32由省略图示的弹簧向闭塞保持孔33的方向施力，通常避免吸嘴N从吸嘴台NS飞出。并且，在取出吸嘴N时，通过省略图示的动作装置而罩板32克服弹簧进行动作。

在实施方式中，吸嘴台NS由保持比较小型或中型的多个吸嘴N的横型吸嘴台NS1及纵型吸嘴台NS2(参照图8)和保持比较大型的多个吸嘴NL的大型用吸嘴台NS3(参照图9)构成。横型吸嘴台NS1根据多种吸嘴N而准备多个，并横向地设置于电子元件安装机10。同样，纵型吸嘴台NS2根据多种吸嘴N而准备多个，并纵向地设置于电子元件安装机10。

对电子元件安装机10中使用的吸嘴N进行保持的吸嘴台NS每隔一定时间或者换产调整时等被搬运至吸嘴清洗装置50，在嘴清洗部52中逐根地清洗吸嘴N。吸嘴清洗装置50可以使用例如国际公开第2014/068673号记载的结构。另外，对吸嘴N进行清洗的吸嘴清洗装置50不仅将图2所示的一个电子元件安装机10中使用的吸嘴N作为对象，也将其他电子元件安装机中使用的吸嘴作为对象。

如图6所示，在吸嘴清洗装置50的吸嘴台支撑部51的支撑基座60上固定有矩形形状的多个基准基座61，该矩形形状的多个基准基座61用于经由后述的中间基座62而设置横型及纵型吸嘴台NS1、NS2。在实施方式中，三个基准基座61沿X方向具有一定间隔地配置。

多个基准基座61分别呈相同的结构，在各基准基座61的上表面，分别在共同的位置向上地突设有对中间基座62进行定位的作为定位部的各一对定位销63。另外，在各基准基座61上分别在共同的位置配置有由具有间隔的三个开关(限位开关)S1～S3构成的落座检测传感器64。

如图7所示，中间基座62形成为扁平的矩形形状，以能够拆装的方式载置于各基准基座61的上表面。在中间基座62上形成有与突设于基准基座61的上表面的一对定位销63卡合的一对定位孔65。另外，在中间基座62上分别贯通有收纳作为配置于基准基座61的落座检测传感器64的三个开关S1～S3的空间部66，使各开关S1～S3的促动器在中间基座62上露出。

准备与横型吸嘴台NS1及纵型吸嘴台NS2的种类对应的至少两种中间基座62。即，设有载置横型吸嘴台NS1的横型用中间基座62A和载置纵型吸嘴台NS2的纵型用中间基座62B。

中间基座62(横型用及纵型用中间基座62A、62B)由例如塑料构成，在各中间基座62的下表面，如图10所示，安装有磁铁67。通过磁铁67而中间基座62吸附在金属制的基准基座61上。由此，即使随着吸嘴清洗装置50的吸嘴移载部53的移载头55的移动而吸嘴清洗装置50产生振动等，在基准基座61上的定位销63与中间基座62的定位孔65之间存在松动，也能避免中间基座62相对于基准基座61沿水平方向及上下方向移动。

如图8所示，在横型用中间基座62A上，以能够拆装的方式定位固定有横型吸嘴台NS1。为了对横型吸嘴台NS1进行定位固定，在横型用中间基座62A上，如图7所示，卡合配件71与压紧配件72在与X方向正交的Y方向上分离配置。卡合配件71以与横型用中间基座62A的上表面之间形成些许间隙的方式固定在横型用中间基座62A上。压紧配件72被支撑为能够相对于横型用中间基座62A沿Y方向移动，由省略图示的弹簧始终向接近卡合配件71的方向施力。在卡合配件71的与压紧配件72相向的一侧形成有卡合槽71a。

另一方面，在横型吸嘴台NS1的一端下表面，如图12所示，设置具有能够与卡合配件71的下表面卡合的倾斜面75a的卡合块75。在卡合块75上设有与卡合配件71的卡合槽71a卡合的卡合销76。

在将横型吸嘴台NS1载置于横型用中间基座62A上的情况下，在使压紧配件72克服省略图示的弹簧的作用力而从卡合配件71分离的状态下，将横型吸嘴台NS1配置于横型用中间基座62A上的卡合配件71与压紧配件72之间。在此状态下，当解除压紧配件72的限制时，压紧配件72由于省略图示的弹簧的作用力而前进，朝向卡合配件71沿Y方向按压横型吸嘴台NS1。

由此，设于横型吸嘴台NS1的卡合销76与横型用中间基座62A上的卡合配件71的卡合槽71a卡合，并且卡合块75的倾斜面75a与卡合配件71的下表面卡合。此时，由于倾斜面75a的作用，横型吸嘴台NS1以紧贴于横型用中间基座62A的上表面的方式被向下方按压。其结果是，横型吸嘴台NS1在X方向及Y方向上被定位而固定在横型用中间基座62A上。

通过上述的形成有卡合槽71a的卡合配件71、压紧配件72、形成有倾斜面75a的卡合块75、卡合销76等构成将吸嘴台NS以能够拆装的方式定位固定在中间基座62上的定位固定装置80。另外，在实施方式中，在横型中间基座62A上定位固定横型吸嘴台NS1的定位固定装置80与在纵型中间基座62B上定位固定纵型吸嘴台NS2的定位固定装置80的结构互不相同，但也可以是相同的结构。

另外，如图12所示，在横型吸嘴台NS1的下表面设有压动作为落座检测传感器64的三个开关S1～S3中的两个开关(例如，第一及第二开关S1、S2)的两个动作部77a、77b。当由于形成于横型吸嘴台NS1的两个动作部77a、77b而第一及第二开关S1、S2同时被接通时，检测出吸嘴台NS1以正确的姿势落座于中间基座62A上。同时，能够基于落座检测传感器64的动作状态，而识别出落座在中间基座62上的吸嘴台NS是横型吸嘴台NS1。

纵型吸嘴台NS2以能够拆装的方式定位固定在纵型用中间基座62B上。为了定位固定纵型吸嘴台NS2，如图7所示，在纵型用中间基座62B上沿Y方向分离配置卡合销81与压紧配件82。压紧配件82被支撑为能够相对于纵型用中间基座62B沿Y方向移动，由省略图示的弹簧始终向接近卡合销81的方向施力。

如图13所示，在纵型吸嘴台NS2的下表面设有具有能够与压紧配件82的下表面卡合的倾斜面83a的卡合块83。另外，在纵型吸嘴台NS2的下端形成有能够与纵型用中间基座62B的卡合销81卡合的卡合长槽84。

在将纵型吸嘴台NS2载置于纵型用中间基座62B上的情况下，在使压紧配件82克服省略图示的弹簧的作用力而从卡合销81分离的状态下，使卡合长槽84与纵型用中间基座62B上的卡合销81卡合地载置纵型吸嘴台NS2。在此状态下，当解除了压紧配件82的限制时，压紧配件82由于省略图示的弹簧的作用力而前进，沿Y方向按压纵型吸嘴台NS2。

由此，卡合销81与卡合长槽84的槽端卡合，并且卡合块83的倾斜面83a与压紧配件82的下表面卡合。此时，由于倾斜面83a的作用，纵型吸嘴台NS2以紧贴于纵型用中间基座62B的上表面的方式被向下方按压。其结果是，纵型吸嘴台NS2在X方向及Y方向上被定位而固定于纵型用中间基座62B上。

如图13所示，在纵型吸嘴台NS2的下表面设有压动作为落座检测传感器64的一个开关(例如，第二开关S2)的一个动作部85。另外，在纵型用中间基座62B的下表面设有压动作为落座检测传感器64的另一个开关(例如，第三开关S3)的另一个动作部(未图示)。当由于形成于纵型吸嘴台NS2及纵型用中间基座62B的三个动作部85(一方省略图示)而第一及第三开关S1、S3同时被接通时，检测出吸嘴台NS2以正确的姿势落座于中间基座62B上。同时，能够基于落座检测传感器64的动作状态，而识别出落座在中间基座62B上的吸嘴台NS2是横型吸嘴台NS2。另外，也可以与横型吸嘴台NS1相同地将两个动作部设置于纵型吸嘴台NS2。

另外，如图9所示，在基准基座61上能够不经由中间基座62而直接载置能够保持大型的多个吸嘴NL的大型用吸嘴台NS3。在大型用吸嘴台NS3上，虽然未图示，但是形成有能够与基准基座61上的一对定位销63卡合的定位孔，另外，形成有使基准基座61上的落座检测传感器64动作的动作部。

另外，实施方式中的大型用吸嘴台NS3不是设置于电子元件安装机10的结构，而是为了清洗大型的吸嘴NL所准备的结构。因此，由作业者将大型的吸嘴NL逐个地安装于在基准基座61上定位固定的大型用吸嘴台NS3。

在各吸嘴台NS1、NS2、NS3的上表面粘贴有用于识别吸嘴台NS的固有信息的作为识别符的二维码90。相对于各基准基座61上的某定位销63(以下，将其称为基准定位销63a(参照图6等))而以一定的位置关系分别配置二维码90。

在此，在横型吸嘴台NS1、纵型吸嘴台NS2、大型用吸嘴台NS3上粘贴的二维码90的位置互不相同，基于落座检测传感器64对吸嘴台NS的识别，来控制拍摄二维码90的相机56的位置。另外，在多个基准基座61上分别载置横型吸嘴台NS1的情况下，二维码90的位置相同。

即，各吸嘴台NS1～NS3定位固定于在基准基座61上定位固定的中间基座62上或者直接定位固定于基准基座61上，因此载置在中间基座62上的吸嘴台NS1～NS3上的二维码90能够相对于基准定位销63a以一定的位置关系配置。

例如，在横型吸嘴台NS1上粘贴的二维码90配置在相对于基准定位销63a而沿X方向偏移了距离X1且沿Y方向偏移了距离Y1的位置，在纵型吸嘴台NS2上粘贴的二维码90配置在相对于基准定位销63a而沿X方向偏移了距离X2且沿Y方向偏移了距离Y2的位置，在大型用吸嘴台NS3上粘贴的二维码90配置在相对于基准定位销63a而沿X方向偏移了距离X3且沿Y方向偏移了距离Y3的位置。

在此，如图11所示，基准定位销63a设于相对于吸嘴清洗装置50的机械原点P0(X0，Y0)沿X方向分离了距离Xn且沿Y方向分离了距离Yn的位置，因此横型吸嘴台NS1的二维码90相对于机械原点而位于预定的坐标位置(Xn1，Yn1，其中，Xn1＝Xn+X1，Yn1＝Yn+Y1)。同样，纵型吸嘴台NS2的二维码90相对于机械原点而位于预定的坐标位置(Xn2，Yn2，其中，Xn2＝Xn+X2，Yn2＝Yn+Y2)。

另外，相邻的基准基座61上的定位销63在X方向上分离一定距离Xm，因此假设在多个基准基座61上分别经由中间基座62而载置横型吸嘴台NS1的情况下，各吸嘴台NS1上的二维码90也配置于在X方向上分离了一定距离Xm的位置。

另外，吸嘴台NS1、NS2的厚度根据保持的吸嘴N的大小等而不同，因此根据各吸嘴台NS1、NS2的厚度来调整中间基座62A、62B的高度，使二维码90的高度位置比支撑基座60的上表面高一定的高度。由此，在通过吸嘴移载部53的相机56拍摄二维码90时，能够通过定位在一定的高度位置上的相机56高精度地拍摄二维码90。

另外，能够将大型用吸嘴台NS3不经由中间基座62而通过定位销63直接定位在基准基座61上，由此在保持大型的吸嘴NL的情况下，也能够抑制配置二维码90的吸嘴台NS3的高度。

图14表示横跨多个(两个或三个)基准基座61地载置在基准基座61上的大型的中间基座162。由此，在中间基座162上也能够载置基准基座61的几倍大小的吸嘴台。在该情况下，在大型的中间基座162上形成能够与三个基准基座61上的任意两个定位销63卡合的两个定位孔(未图示)，由此能够定位在预定的位置。省略图示的吸嘴台能够通过与图7所示的相同的定位固定装置80而定位固定在大型的中间基座162上。

接下来，对上述实施方式的吸嘴N的清洗动作进行说明。为了清洗电子元件安装机10中使用的吸嘴N，通过作业者将保持有多个吸嘴N的吸嘴台NS从电子元件安装机10拆下，并经由中间基座62而载置在吸嘴清洗装置50的基准基座61上。以下，对在基准基座61上载置横型吸嘴台NS1的例子进行说明。

为了载置横型吸嘴台NS1，将适合于横型吸嘴台NS1的横型用中间基座62A通过一对定位销63定位于基准基座61上，并通过磁铁67而紧贴固定于基准基座61的上表面。

接下来，横型吸嘴台NS1通过由卡合配件71及压紧配件72等构成的定位固定装置80而定位固定在横型用中间基座62A上。当在横型用中间基座62A上载置了横型吸嘴台NS1时，由于设于横型吸嘴台NS1的两个动作部77a、77b而作为落座检测传感器64的两个开关(第一及第二开关)S1、S2动作的落座检测传感器64的动作信号被发送至控制部54，在控制部54中，识别出横型吸嘴台NS1以正确的姿势落座于横型用中间基座62A上。能够基于该识别，取得在横型吸嘴台NS1上粘贴的二维码90的位置信息。

当基于落座检测传感器64的动作信号而检测到横型吸嘴台NS1的落座时，吸嘴清洗装置50的吸嘴移载部53的移载头55移动，安装于移载头55的相机56被定位在横型吸嘴台NS1的二维码90的上方位置。即，横型吸嘴台NS1的二维码90相对于基准基座61的基准定位销63a而以一定的位置关系配置，因此通过使移载头55相对于吸嘴清洗装置50的机械原点(X0，Y0)在X、Y方向上移动预定量，而能够将安装于移载头55的相机56定位在横型吸嘴台NS1的二维码90的上方位置。

在此状态下，通过相机56拍摄横型吸嘴台NS1的二维码90，并将拍摄数据向控制部54发送。在控制部54中，对发送来的拍摄数据进行图像处理，并参照存储于控制部54的数据库来确定横型吸嘴台NS1的种类。由此，确定横型吸嘴台NS1保持的吸嘴N的种类、排列等。

在对横型吸嘴台NS1保持的吸嘴N进行清洗的情况下，吸嘴清洗装置50的吸嘴移载部53的移载头55移动，保持夹盘57被定位在与吸嘴台NS1的第一个保持孔33对应的位置。在此状态下，保持夹盘57下降，对保持于第一个保持孔33的吸嘴N进行保持。

此时，中间基座62A由定位销63和磁铁67定位固定在基准基座61上，另外，吸嘴台NS1由定位固定装置80定位固定在中间基座62A上，因此能够通过保持夹盘57没有错误地保持吸嘴N，并向嘴清洗部52移送。

另外，在通过保持夹盘57保持吸嘴N之前，吸嘴台NS1的罩板32通过省略图示的动作装置而克服弹簧地动作，从而能够从吸嘴台NS1取出吸嘴N。

接下来，移载头55移动，保持夹盘57保持的吸嘴N被移送到吸嘴清洗装置50的嘴清洗部52，并在嘴清洗部52对吸嘴N进行清洗。结束了清洗的吸嘴N通过保持夹盘57而返回横型吸嘴台NS1的原来的保持孔33。

接下来，移载头55根据横型吸嘴台NS1的种类，沿X方向或Y方向移动预定量，将保持夹盘57定位在与横型吸嘴台NS1的第二个保持孔33对应的位置。以下，与上述相同地，逐根地保持吸嘴N，向嘴清洗部52移送，对吸嘴N进行清洗。

另外，在纵型吸嘴台NS2或大型用吸嘴台NS3载置于基准基座61上的情况下，也与上述相同地，基于二维码90的读取来使保持夹盘57保持各吸嘴台NS2、NS3所保持的吸嘴N、NL，并向嘴清洗部52移送，而依次进行清洗。

上述实施方式的吸嘴台设置装置具备多个基准基座61和在多个基准基座61上分别设置成能够拆装且能够载置多个吸嘴台NS的中间基座62，在多个基准基座61上分别在共同的位置设有对中间基座62进行定位的定位销(定位部)63，在多个中间基座62上分别设有将多个吸嘴台NS以能够拆装的方式进行定位固定的定位固定装置80，在多个吸嘴台NS上，相对于定位销63而以一定的位置关系分别配置二维码90。

由此，例如，能够在固定于吸嘴清洗装置50的吸嘴台支撑部51上的多个基准基座61上，经由中间基座62而定位固定多个吸嘴台NS。而且，能够基于相对于定位销63而以一定的位置关系分别配置的二维码90，来识别吸嘴台NS的种类。

在上述实施方式中，在多个基准基座61上分别在共同的位置设有对载置于中间基座上的吸嘴台NS1、NS2的落座进行检测的落座检测传感器64，落座检测传感器64由多个开关S1～S3构成，能够基于多个开关S1～S3的动作状态，来识别出载置于中间基座62的吸嘴台NS1、NS2。

由此，能够通过落座检测传感器64识别出在中间基座62上载置的吸嘴台NS1、NS2，基于此，能够取得二维码90的位置信息，能够通过相机56拍摄二维码90。

在上述实施方式中，二维码90配置在多个吸嘴台NS的相同位置、或者互不相同的位置。由此，能够根据吸嘴台NS来配置二维码90的位置。

在上述实施方式中，与上述吸嘴台NS1、NS2另行地设置对大型的吸嘴NL进行保持的至少一个大型用吸嘴台NS3，能够不经由中间基座62而通过定位销63将大型用吸嘴台NS3直接定位在基准基座61上，在大型用吸嘴台NS3上，相对于定位销63而以一定的位置关系配置二维码90。

由此，能够不经由中间基座62而通过定位销63将大型用吸嘴台NS3直接定位在基准基座61上，即使在保持大型的吸嘴NL的情况下，也能够抑制配置二维码90的吸嘴台NS3的高度。

在上述实施方式中，中间基座62由塑料构成，在中间基座62上安装有吸附于基准基座61的磁铁67。由此，能够实现中间基座62的轻量化，并且通过磁铁67而中间基座62吸附在基准基座61上，不会由于振动等而中间基座62相对于基准基座61沿上下方向移动。

在上述实施方式中，横跨多个基准基座61地在基准基座61上以能够拆装的方式安装大型的中间基座162，能够通过定位销63来定位大型的中间基座162。由此，能够在横跨多个基准基座61地安装的大型的中间基座162上能够与基准基座61相比几倍的大小的吸嘴台NS。

另外，在上述实施方式中，叙述了将作为定位部的定位销63设置于基准基座61，并将与该定位销63卡合的定位孔65设于中间基座62的例子，但是也可以在基准基座61侧设置作为定位部的定位孔，并将与该定位孔卡合的定位销设置于中间基座62。

另外，在上述实施方式中，叙述了吸嘴台NS保持相同种类的吸嘴N的例子，但是吸嘴台NS也可以混杂地保持两种以上的嘴N。

另外，在上述实施方式中，叙述了通过形成有卡合槽71a的卡合配件71、压紧配件72、形成有倾斜面75a的卡合块75、卡合销76等构成将吸嘴台NS以能够拆装的方式定位固定于中间基座62上的定位固定装置80的例子，但是定位固定装置80只要是能够将吸嘴台NS比较简单地拆装且准确地定位固定在中间基座62上的结构即可。

以上，根据实施方式而说明了本发明，但是本发明不限定于上述实施方式叙述的结构，在不脱离权利要求书记载的本发明的主旨的范围内能采用各种方式。

产业上的可利用性

本发明的吸嘴台设置装置适合利用于对电子元件安装机使用的吸嘴进行清洗的吸嘴清洗装置。

附图标记说明

10…电子元件安装机，50…吸嘴清洗装置，51…吸嘴台支撑部，56…相机，61…基准基座，62(62A、62B)…中间基座，63…定位部(定位销)，64…落座检测传感器，S1～S3…开关，80…定位固定装置，90…二维码，162…大型中间基座，N…吸嘴，NS(NS1～NS3)…吸嘴台。