刷子清洗装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及刷子清洗装置，更具体地涉及在使清洗刷子旋转并以接触方式清洗时，通过最大化接触清洗力而提高清洗效率的刷子清洗装置，上述清洗刷子使圆盘形状的基板进行自旋旋转的同时进行旋转。
【背景技术】
[0002]在对用于显示装置的基板或半导体元件的制作中所采用的晶片(以下，统称为“基板”)进行处理之后，将执行清洗工序，来去除在处理工序中附在表面的异物。
[0003]图1表示在执行完成化学机械研磨工序之后去除在研磨工序中附着的异物的现有的基板清洗装置9。根据现有的基板清洗装置9，在借助基板移送部将基板W置于旋转支撑体10的接触部15的状态下，通过使旋转支撑体10的接触部15旋转，来使基板W自转rl0
[0004]并且，清洗刷子99 一边以与基板W的表面相接触的状态旋转，一边去除附在基板W的表面的异物。此时，清洗刷子99以固定于支撑台90 —端或两端的状态进行设置，上述清洗刷子99以与借助驱动电机M来旋转驱动99r的旋转轴95相联动的方式进行旋转。
[0005]在清洗刷子99形成有多个清洗突起99a，辅助进行基板清洗。与此同时，向清洗刷子99或基板W涂敷含有清洗液成分的药液(本行业也称“化学药品”)，提高从基板W的板面去除异物的效率。
[0006]但是，根据现有的刷子清洗装置9，向清洗刷子99或基板W涂敷的药液会随意喷射，借助清洗刷子99而从基板W的表面分离的异物再次附着在基板W或者以固着于清洗刷子99的状态来执行基板W和清洗刷子99的接触清洗，由此，导致基板W的二次污染，或者因固着于清洗刷子的异物导致基板W出现划痕的问题。
[0007]并且，以基板W的旋转中心为基准，清洗刷子99的一半向与基板W的自转方向rl相反的方向接触，但随着清洗刷子99的剩余一半向与基板W的自转方向rl相同的方向接触，而出现使在一半区域中存在基板W的接触清洗效率低下的问题。
[0008]一方面，以可旋转的方式设置的清洗刷子99以与基板W的表面相接触的状态进行旋转的同时去除附在基板W的表面的异物。此时，向清洗刷子99或基板W涂敷含有清洗液成分的药液(本行业也称“化学药品”)，从而提高从基板W的板面去除异物的效率。
[0009]但是，根据现有的刷子清洗装置9，向清洗刷子99或基板W涂敷的药液会随意喷射，借助清洗刷子99而从基板W的表面分离的异物再次附着在基板W或者以固着于清洗刷子99的状态来执行基板W和清洗刷子99的接触清洗，由此，导致基板W的二次污染，或者因固着于清洗刷子的异物导致基板W出现划痕的问题。
[0010]因此，从根本上解决在清洗工序中从基板W分离的异物再次附在基板W或者固着于清洗刷子99从而导致基板W的清洗效率低下或者基板W受损的问题的必要性越来越高。
【实用新型内容】
[0011]本实用新型是为了解决上述存在问题而提出的，本实用新型的目的在于提供如下的刷子清洗装置:即，引导清洗刷子和基板的移动方向，使其相互呈相反方向，使得清洗刷子和基板之间的摩擦力最大化，更强有力地从基板分离异物，进而提高清洗效率。
[0012]并且，本实用新型的目的在于，使圆盘形状的基板自转的同时使刷子接触清洗基板表面期间，借助刷子的接触来从基板的表面分离出异物之后，防止所分离的异物再次附在基板的表面，进而提尚清洗效率。
[0013]并且，本实用新型的目的在于，以清洗刷子接触清洗基板表面期间，防止借助清洗刷子来分离的异物再次附着在清洗刷子的表面，使得清洗刷子一边旋转一边与基板接触清洗时，因附在清洗刷子的表面的异物导致基板的表面受损。
[0014]还有，本实用新型的目的在于，利用一个驱动电机，使清洗刷子的两个部分向相反方向进行旋转驱动，从而最大化清洗刷子与基板之间的摩擦力，进而提高从基板分离异物的效率。
[0015]一方面，本实用新型的目的在于提供如下的刷子清洗装置:即，使圆盘形状的基板自转的同时以刷子接触清洗基板表面期间，借助刷子的接触来从基板的表面分离出异物之后，防止所分离的异物再次附在基板的表面，进而提高清洗效率。
[0016]尤其，本实用新型的目的在于，通过在清洗刷子和基板的移动方向正相反的区域中进行集中清洗，进而提高从基板分离异物的效率。
[0017]并且，本实用新型的目的在于，以清洗刷子接触清洗基板表面期间，借助清洗刷子来分离的异物再次附着在清洗刷子的表面，使得清洗刷子一边旋转一边与基板接触清洗时，防止因附在清洗刷子的表面的异物导致基板的表面受损。
[0018]由此，本实用新型的目的在于，提高基板的清洗效率，并在执行基板的接触清洗期间，防止基板出现划痕等损伤。
[0019]为了解决如上所述的技术问题，本实用新型提供刷子清洗装置，其特征在于，包括:基板支撑体，转动上述基板，使得圆盘形状的基板自转；第一清洗刷子，向与上述基板的自转方向的相反方向相接触的第一旋转方向进行旋转驱动，接触于上述基板的板面以清洗上述基板的板面；以及第二清洗刷子，以与上述基板的板面相接触的状态旋转，从而以接触方式清洗上述基板的板面，其旋转方向被设定为，向与第一清洗刷子的相对于上述板面的旋转方向相反方向进行旋转驱动，从而与上述基板的自转方向相反方向相接触。
[0020]如此，将接触清洗基板板面的清洗刷子分为第一清洗刷子和第二清洗刷子，第一清洗刷子和第二清洗刷子分别向相反方向旋转，使得基板的自转方向和清洗刷子的旋转方向以相反方向形成接触，使得借助清洗刷子和基板的摩擦的接触清洗力最大化，相比现有的方式，从基板的板面去除异物所需的时间变短，进而具有能够更加快速地完成清洗工序的效果。
[0021]再加上，本实用新型还可包括:第一药液供给部，位于上述第一清洗刷子的一侧，并向上述第一清洗刷子供给药液；以及第一漂洗水喷射部，向通过了上述第一清洗刷子的上述基板的板面朝上述基板的外侧方向喷射漂洗水。
[0022]由此，当基板通过第一清洗刷子，借助强有力的摩擦接触力而从基板的表面分离附着在基板的表面的异物时，从第一漂洗水喷射部向通过了第一清洗刷子的上述基板的板面朝上述基板的外侧方向喷射漂洗水，在上述基板的板面上的异物到达上述第二清洗刷子之前，引导上述异物向上述基板的外侧排出，由此可获得从根源上防止通过第一清洗刷子而从基板的板面分离的异物再次到达清洗刷子的效果。
[0023]因此，根据本实用新型，在第一清洗刷子中以最高的摩擦接触力使得刷子和基板相接触来从基板的表面分离异物时，执行漂洗工序，使使借助向基板的外侧喷射的漂洗水而所分离出的异物，被及时推向基板的外侧并排出，从而防止从基板的表面分离的异物再次附着在基板的表面，进而可提高清洗效率，同时还可以防止借助清洗刷子的接触来分离的异物再次附着在清洗刷子的表面，以此来解决因异物导致基板受损的问题。
[0024]同样，本实用新型还可包括:第二药液供给部，位于上述第二清洗刷子的一侧，并向上述第二清洗刷子供给药液；以及第二漂洗水喷射部，向通过了上述第二清洗刷子的上述基板的板面朝上述基板的外侧方向喷射漂洗水。由此，当基板经过第二清洗刷子的同时，使得附着在基板的表面的异物借助强有力的摩擦接触力而从基板的表面分离时，从第二漂洗水喷射部向经通过第二清洗刷子的上述基板的板面朝上述基板的外侧方向喷射漂洗水，在上述基板的板面上的异物到达上述第一清洗刷子之前，引导上述异物向上述基板的外侧排出，由此，可以将通过第二清洗刷子的同时从基板的板面分离的异物立即确实地向基板的外侧排出，与此同时，可以获得防止从板面分离的异物再次附着在其它清洗刷子而导致基板受损的效果。
[0025]在此情况下，上述第一清洗刷子和第二清洗刷子中的任意一个延伸到圆形基板的中心，即便构成两个以上的清洗刷子，也能够彻底清洗基板的中心。
[0026]一方面，上述第一清洗刷子和上述第二清洗刷子中的至少一个在清洗工序中向轴线方向进行往复移动或者以指定旋转角度进行往复旋回运动，由此，借助形成于清洗刷子的表面的清洗突起，相对于晶片而向半径方向的方向移动。由此，即便清洗突起规则性地排列，也能够接触晶片的整体表面，使异物不会聚集在晶片的表面的局部，而整体上均匀地进行清洗。
[0027]一方面，上述第一清洗刷子和上述第二清洗刷子可不配置于同轴上，也可以补充第三清洗刷子。与此相反，上述第一清洗刷子和上述第二清洗刷子可配置于同轴上。
[0028]在第一清洗刷子和第二清洗刷子配置于同轴上的情况下，可从第二清洗刷子接收上述第一清洗刷子的旋转驱动力而向与第一清洗刷子相反的方向进行旋转驱动。
[0029]为此，上述第一清洗刷子可包括:驱动电机，用于旋转驱动上述第一清洗刷子；上述第一清洗刷子具有中空部及环，其中，上述中空部形成在上述第一清洗刷子的轴线方向，而上述环形成在上述中空部的周围并形成有内螺纹；用于旋转驱动上述第二清洗刷子的第二旋转轴可插入于上述中空部并由轴承进行旋转支撑，形成于上述第二旋转轴的外螺纹设置于上述第二清洗刷子；连接齿轮，可旋转地设置在从上述轴承向轴线方向延伸的轴上，同时啮合于上述内螺纹和上述外螺纹进行旋转。
[0030]或者，上述第一清洗刷子可包括:驱动电机，用于旋转驱动上述第二清洗刷子；上述第二清洗刷子具有中空部及环，其中，上述中空部形成在上述第二清洗刷子的轴线方向，而上述环形成在上述中空部的周围并形成有内螺纹；用于旋转驱动上述第一清洗刷子的第一旋转轴可插入于上述中空部并由轴承进行旋转支撑，形成于上述第一旋转轴的外螺纹设置于上述第一清洗刷子；连接齿轮，可旋转地设置在从上述轴承向轴线方向延伸的轴上，同时啮合于上述内螺纹和上述外螺纹进行旋转。
[0031]此时，优选地，上述连接齿轮形成有三个以上，沿着圆周方向以保持规定位置的方式设置。
[0032]为了解决如上所述的技术问题，本实用新型提供刷子清洗装置，其特征在于，包括:基板支撑体，转动上述基板，使得圆盘形状的基板自转；清洗刷子，以与上述基板的板面相接触的状态旋转，从而接触清洗上述基板的板面；第一药液供给部，位于上述清洗刷子的一侧，向第一区域的上述清洗刷子供给药液；以及漂洗水喷射部，向通过了上述第一区域的上述基板的板面朝上述基板的外侧方向喷射漂洗水，在上述基板的板面上的异物到达上述清洗刷子之前，推出异物，使得异物向上述基板的外侧排出。
[0033]由此，根据本实用新型，当基板通过第一区域的同时附