基板旋转对准装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种基板旋转对准装置，更为详细地，涉及一种当使安装有基板的安装部进行旋转而在掩模上对准基板时，能够防止因旋转载物台的旋转而旋转轴被扭曲的现象的基板旋转对准装置。
【背景技术】
[0002]以数字融合及普适(Ubiquitous)为代表的信息技术的革命，带来了电子设备飞快的发展。其中，构成核心的技术之一是显示技术。最近，对具有进一步优异的可视性、低成本及低耗电的显示器的要求逐渐增加。随之，PDP (Plasma Display Panel，等离子显示板)、液晶显示装置(IXD:Liquid Crystal Display)及有机发光二极管(OLED:Organic LightEmitting D1de)备受关注。
[0003]有机发光二极管为电流流过就发光的自发光装置，响应速度相比液晶显示器快千倍以上，并且视角较宽。此外，无需液晶显示装置所需的背光及滤色镜等，并且实现为柔性显示器，而且不仅在性能方面，还在配件价格方面也具有很大的优点。
[0004]在有机发光二极管的制作中使用的有机薄膜在高真空状态下采用真空沉积方式在基板的表面上依次形成。为了形成有机发光二极管的全彩显示器(full colordisplay)，必须具备一种高精度沉积图案。为了形成这种沉积图案，使用形成有图案的掩模。为了提高沉积图案的精度，不仅掩模本身的图案要精密，并且使基板和掩模在机械方面精密对准(alignment)也非常重要。因此，首先固定掩模后，在掩模上精确对准基板。
[0005]当在固定的掩模上对准基板时，使安装有基板的安装部沿掩模的长度方向及宽度方向移动，并且使安装部转动来最终与掩模对准。
[0006]此时，当通过可旋转地设置的载物台使安装部转动时，会产生因旋转轴细微移动而扭曲的问题。即，当电机驱动旋转载物台时，用于连接旋转载物台和安装部并且起到旋转轴作用的连接部的位置细微移动。这在要求掩模和基板的精密对准的沉积装置中会降低精度，并且导致沉积质量的下降等问题。
【发明内容】
[0007]因此，本发明是为了解决如上所述的问题而提出的，其目的是提供一种基板旋转对准装置，该基板旋转对准装置当使安装有基板的安装部进行旋转而在掩模上对准基板时，能够防止因加压力等而旋转轴被扭曲的现象，从而能够精密对准。
[0008]所述目的通过本发明的基板旋转对准装置来达到，该基板旋转对准装置为在沉积工艺中在掩模上对准基板的装置，包括:连接柱，与用于安装所述基板的安装部连接；旋转载物台，设置为圆形，用于固定所述连接柱，在外周面上交替形成有向内侧凹陷的凹陷部和向外侧凸出的凸出部；动力传递部，包括彼此按规定间隔隔开配置的多个滚轮销，其中至少一个所述滚轮销在对所述旋转载物台的区域的凹陷部加压紧贴的状态下进行旋转，以向所述旋转载物台传递动力；及固定部，在彼此按规定间隔隔开配置的多个固定销中至少一个固定销紧贴于所述旋转载物台的另一区域的凹陷部，从而使固定部具有与所述动力传递部向所述旋转载物台的加压力相反方向的力的矢量。
[0009]在此，优选在所述动力传递部中，所述滚轮销之间的间隔被设置为至少两个所述滚轮销与各自对应的凹陷部紧贴。
[0010]在此，优选所述动力传递部进一步包括:固定板，供所述多个滚轮销的两端部分别插入；和轴承，设置在所述固定板和所述滚轮销之间。
[0011]在此，优选在所述固定部中，所述固定销之间的间隔被设置为至少两个所述固定销分别与所述凹陷部紧贴。
[0012]在此，优选进一步包括:旋转电机，用于使所述动力传递部转动；及加压电机，用于使所述动力传递部向所述旋转载物台侧紧贴。
[0013]在此，优选控制为驱动所述加压电机后驱动所述旋转电机。
[0014]通过本发明，提供一种基板旋转对准装置，该基板旋转对准装置当使安装有基板的安装部进行旋转而在掩模上对准基板时，能够防止因加压力等而旋转轴被扭曲的现象，从而能够精密对准。
[0015]此外，动力传递部的滚轮销设置为紧贴于旋转载物台的凹陷部，从而防止在旋转时的游隙(backlash)。
[0016]此外，通过设置固定部，能够防止因动力传递部的加压力引起的连接柱的位置误差，该固定部具有与动力传递部向旋转载物台的加压力相反方向的力的矢量。
[0017]此外，滚轮销设置为总是有至少两个以上的滚轮销与凹陷部接触，从而能够防止在旋转电机的开/关时旋转载物台的逆转现象。
【附图说明】
[0018]图1为本发明的实施例的基板旋转对准装置的示意的立体图，
[0019]图2为图1的基板旋转对准装置的旋转载物台的俯视图，
[0020]图3为图1的基板旋转对准装置的动力传递部的立体图，
[0021]图4为图1的基板旋转对准装置的动力传递部的分解立体图，
[0022]图5为图1的基板旋转对准装置的动力传递部的剖开立体图，
[0023]图6为表示图1的基板旋转对准装置的旋转载物台和动力传递部的紧贴状态的图，
[0024]图7为表示图1的基板旋转对准装置的运行的图。
[0025]附图标记说明
[0026]100:基板旋转对准装置110:连接柱
[0027]120:旋转载物台130:动力传递部
[0028]140:固定部150:旋转电机
[0029]S:安装部
【具体实施方式】
[0030]下面，参照附图对本发明的一个实施例的基板旋转对准装置进行详细说明。
[0031]本发明的一个实施例的基板旋转对准装置涉及一种当对使安装有基板的安装部进行旋转而在掩模上对准基板时，能够防止因加压力而旋转轴被扭曲的现象，从而能够精密对准的基板旋转对准装置。
[0032]图1为本发明的一个实施例的基板旋转对准装置的示意的立体图。参照图1，本发明的一个实施例的基板旋转对准装置包括连接柱110、用于固定设置连接柱110的旋转载物台120、与旋转载物台120的区域彼此啮合而传递动力的动力传递部130、与旋转载物台120的另一区域彼此啮合的固定部140、用于驱动动力传递部130的旋转电机150及用于使动力传递部130紧贴于旋转载物台120的加压电机(未图示)。
[0033]在对本发明进行说明之前，对本实施例中使用的安装部S简单说明如下:本实施例的沉积装置为从下方通过掩模沉积沉积原料的向上式沉积装置，在安装部S的下面固定基板。即，为了与掩模的上面对准，基板固定在安装部S的下面，在安装部S的两侧面形成有用于安装基板的多个指状物从而安装基板。
[0034]连接柱110起到用于安装基板的安装部S的旋转轴的作用，连接柱的一端固定设置于安装部S的上面，连接柱的另一端插入固定于旋转载物台120的中央部的贯通孔内。即，连接柱插入于旋转载物台120中，并且使旋转载物台120的内周面包覆连接柱110的另一端。此时，为了连接柱110和旋转载物台120之间的更为牢固的结合，可进一步设置有额外的结合构件。另外，虽然以连接柱110的一端与安装部S直接连接为例进行说明，但并不一定局限于此，在安装部S上设置有其他结构时，连接柱110也可设置为与其他结构连接并使安装部S转动。
[0035]图2为图1的基板旋转对准装置的旋转载物台的俯视图。参照图2，旋转载物台120是一个为了在掩模上对准基板而使连接柱110转动的结构。在旋转载物台120的中央部形成有具有与连接柱110的剖面的直径相同直径的插入孔，并且连接柱110的一端部插入固定于插入孔中。
[0036]在旋转载物台120的外周面上交替形成有向内侧凹陷的凹陷部和向外侧凸出的凸出部。即，在旋转载物台120的边缘上交替形成有以假想圆周为基准向内侧凹陷的凹陷部和向外侧凸出的凸出部。动力传递部130的滚轮销131在加压紧贴于凹陷部的状态下旋转，从而使旋转载物台120旋转，进而使连接柱110旋转以在掩模上对准基板。
[0037]S卩，旋转载物台120是一个设置成小齿轮(pin1n gear)状，并且与滚轮销131彼此啮合，使连接柱110进行旋转的结构。
[0038]图3为图1的基板旋转对准装置的动力传递部的立体图，图4为图1的基板旋转对准装置的动力传递部的分解立体图，图5为图1的基板旋转对准装置的动力传递部的剖切立体图，图6为表示图1的基板旋转对准装置的旋转载物台和动力传递部的紧贴状态的图。参照图3?图6，动力传递部130设置为与旋转载物台120彼此啮合，是一个用于向旋转载物台120传递动力的结构。动力传递部包括滚轮销131、固定板132及轴承133。
[0039]滚轮销131为加压紧贴于凹陷部并且与旋转载物台120彼此啮合，从而使旋转载物台120进行旋转的结构。
[0040]滚轮销131设置为多个，在本实施例中滚轮销131配置