一种真空系统的利记博彩app
【技术领域】
[0001]本发明涉及真空技术领域，特别涉及一种真空系统。
【背景技术】
[0002]多腔室的真空系统应用于半导体加工领域，利用干法刻蚀机(DryEtcher)、化学气象沉积成膜机(ChemicaI Vapor Deposit1n，CVD)、物理气象沉积成膜机(PhysicaIVapor Deposit 1n，PVD)等真空系统对半导体加工材料在真空环境下进行加工。在多腔室的真空系统中，通常采用独立的真空栗对某一腔室抽真空，通过不断改变栗内吸气空腔的体积，使被抽腔室内气体的体积不断膨胀，从而获得需要的真空环境，长时间的运转会使真空栗由于温度异常或背压高等原因异常停机，导致相应的腔室也停止工作，无法进行生产，而对真空栗修复的过程耗时一般较长，降低真空系统的可运作时间，影响生产产能。
【发明内容】
[0003]本发明的目的在于提供一种真空系统，旨在解决因真空栗异常停机时，导致相应的腔室无法继续工作的问题。
[0004]为实现上述目的，本发明提供一种真空系统，包括:
[0005]第一腔室、第二腔室、第一真空栗、第二真空栗及控制设备；
[0006]第一真空栗连接于第一腔室，用于正常工作状态下对第一腔室抽真空，第二真空栗连接于第二腔室，用于正常工作状态下对第二腔室抽真空，第一腔室进一步与第二真空栗连接；
[0007]控制设备用于在第一真空栗异常停机状态下，使用第二真空栗同时对第一腔室和第二腔室抽真空。
[0008]其中，第一真空栗通过第一管路直接或间接与第一腔室连接，第二真空栗通过第二管路直接或间接与第二腔室连接，控制设备检测第一真空栗是否处于正常工作状态下，在第一真空栗处于正常工作状态时控制第一管路与第二真空栗不连通，在第一真空栗异常停机状态下，使第一管路与第二真空栗连通。
[0009]其中，第一管路上设有第一阀门，第二管路上设有第二阀门，第一阀门和第二阀门之间连接有第三管路，并且控制设备连接第一阀门和第二阀门，其中控制设备在第一真空栗处于正常工作状态下时，控制第一阀门使第一真空栗与第一腔室之间维持连通状态，并且控制第一阀门和第二阀门使第三管路与第一管路不连通，在第一真空栗处于异常停机状态时，控制第一阀门使第一真空栗与第一腔室之间维持不连通状态，并且控制第一阀门和第二阀门使第三管路与第一管路和第二管路连通。
[0010]其中，第一阀门至少包括第一端口、第二端口、第三端口，第二阀门至少包括第四端口、第五端口、第六端口，第一端口及第二端口通过第一管路分别连接第一腔室及第一真空栗，第四端口及第五端口通过第二管路分别连接第二腔室及第二真空栗，第三端口及第六端口之间连接有第三管路；[0011 ]其中控制设备在第一真空栗处于正常工作状态下时，控制第一阀门的第一端口与第二端口维持连通状态，并且控制第一端口和第三端口不连通，第二阀门的第五端口和第六端口不连通，在第一真空栗处于异常停机状态时，控制第一阀门的第一端口和第二端口维持不连通状态，并且控制第一端口和第三端口连通，控制第二阀门的第五端口和第六端口连通。
[0012]其中，第一阀门及第二阀门为T型三通阀。
[0013]其中，第一腔室与第一阀门之间连接有分子栗，分子栗与第一真空栗或第二真空栗同时对第一腔室抽真空。
[0014]其中，第一腔室为工艺腔室，第二腔室为传送腔室，第一腔室与第二腔室串联连接。
[0015]其中，第一真空栗及第二真空栗为干式机械栗。
[0016]其中，第一真空栗及第二真空栗分别连接废气处理装置。
[0017]本发明的有益效果是:区别于现有技术的情况，本发明真空系统通过第一真空栗与第一腔室连接，用于正常工作状态下对第一腔室抽真空，第二真空栗与第二腔室连接，用于正常工作状态下对第二腔室抽真空，进一步通过第一腔室与第二真空栗连接，利用控制设备在第一真空栗异常停机状态下，使用第二真空栗同时对第一腔室和第二腔室抽真空，使得第一腔室不会因第一真空栗的异常停机而停机，在第一真空栗修复过程中，通过第二真空栗的运作继续进行生产，从而提高整个系统的可运作时间，提升产能。
【附图说明】
[0018]图1是本发明真空系统实施例一的结构示意图；
[0019]图2是本发明真空系统实施例一的结构示意图；
[0020]图3是本发明真空系统实施例二的结构示意图；
[0021 ]图4是本发明真空系统实施例三的结构示意图。
【具体实施方式】
[0022]为使本领域的技术人员更好地理解本发明的技术方案，下面结合附图和【具体实施方式】对本发明所提供的一种真空系统做进一步详细描述。
[0023]如图1所示，本发明真空系统实施例一，包括:
[0024]第一腔室11、第二腔室12、第一真空栗13、第二真空栗14及控制设备15;
[0025]第一真空栗13连接于第一腔室11，用于正常工作状态下对第一腔室11抽真空，第二真空栗14连接于第二腔室12，用于正常工作状态下对第二腔室12抽真空，第一腔室11进一步与第二真空栗14连接；
[0026]控制设备15用于在第一真空栗13异常停机状态下，使用第二真空栗14同时对第一腔室11和第二腔室12抽真空。
[0027]正常工作状态下，第一腔室11与第一真空栗13维持连通状态，与第二真空栗14连接但不连通，第一真空栗13独立对第一腔室11抽真空，第二腔室12与第二真空栗14维持连通状态，第二真空栗14独立对第二腔室12抽真空，当第一真空栗13处于异常停机状态下，而第一腔室11无异常时，利用控制设备15使第一腔室11与第二真空栗14连通，从而使第二真空栗14同时对第一腔室11和第二腔室12抽真空。这里所述的第一、第二是相对概念，上述的两个真空栗中其中一个异常停机时，另一个真空栗均可实现同时对两个腔室抽真空。
[0028]图1所示的连接关系是一种示意关系，基于不同的实现方式，可选多种连接方式，比如控制设备15与第二真空栗14的连接，可直接连接，也可间接连接，中间可有其他的一些连接部件，控制设备15通过与第二真空栗14的连接实现控制，使第二真空栗14在第一真空栗13异常停机的状态下，同时对第一腔室11和第二腔室12抽真空。
[0029]具体地，如图2所示，第一真空栗13通过第一管路18与第一腔室11连接，第二真空栗14通过第二管路19与第二腔室12连接，在第一管路18上设有第一阀门16，第二管路19上设有第二阀门17，第一阀门16和第二阀门17之间连接有第三管路20，控制设备15连接第一阀门16和第二阀门17，对两个阀门进行控制。
[0030]其中，为了使第一真空栗13更好地对第一腔室11抽真空，在第一真空栗13和第一腔室11之间还可连接有其他真空栗或控制设备，第二真空栗14和第二腔室12之间也可连接有其他真空栗或控制设备。
[0031]控制设备15对第一真空栗13进行检测，可通过压力表、流量表反馈的数值进行检测，判断第一真空栗13是否处于正常工作状态下，在第一真空栗13处于正常工作状态时控制第一管路18与第二真空栗14不连通，也即通过控制第一阀门16使第一真空栗13与第一腔室11之间维持连通状态，并且控制第一阀门16和第二阀门17使第三管路20和第一管路18不连通，从而使第一真空栗13独立对第一腔室11抽真空，控制第二阀门17使第二真空栗14与第二腔室12之间维持连通状态，第二真空栗14独立对第二腔室12抽真空;在第一真空栗13异常停机状态下，使第一管路18和第二真空栗14连通，也即通过控制第一阀门16使第一真空栗13与第一腔室11之间维持不连通状态，并且控制第一阀门16和第二阀门17使第三管路20与第一管路18和第二管路19连通，从而使第二真空栗14同时对第一腔室11和第二腔室12抽真空。
[0032]其中，第一管路18、第二管路19和第三管路20可选真空管，真空管是一种电子元件，真空管之间的连接需要通过连接管件如阀门等。第一阀门16设在第一管路18上，将第一管路18—分为二，第二阀门17设在第二管路19上，将第二管路19 一分为二，第一阀门16和第二阀门17之间还连接有第三管路20，因此选择的第一阀门16和第二阀门17各自至少包括三个端口。
[0033]第一阀门16至少包括第一端口 1、第二端口 2、第三端口 3，第二阀门17至少包括第四端口4、第五端口 5、第六端口6，第一端口 I及第二端口 2通过第一管路18分别连接第一腔室11及第一真空栗13，第四端口 4及第五端口 5通过第二管路19分别连接第二腔室12及第二真空栗14，第三端口 3及第六端口 6之间连接有第三管路20。第一阀门16和第二阀门17可选T型三通阀，包括一个入口端、两个出口端，控制T型三通阀可使入口端和其中一个出口端连通，也可使入口端同时和两个出口端连通。
[0034]控制设备15可选PLC逻辑控制器15，将第一阀门16和第二阀门17的连接端通过导线分别连接PLC逻辑控制器15的不同控制端，当检测到第一真空栗13处在正常工作状态下时，PLC逻辑控制器15发出控制指令使第一阀门16的第一端口 I和第二端口 2维持连通状态，并且控制第一端口 I和第三端口 3不连通，使第一管路18与第三管路20不连通，从而使第一真空栗13独立对第一腔室11抽真空，第二阀门17的第五端口 5和第六端口 6维持在不连通状态，第四端口 4和第五端口 5维持在连通状态使第二真空栗14独立对第二腔室12抽真空；
[0035]当检测到第一真空栗13处于异常停机状态时，PLC逻辑控制器15发出控制指令使第一阀门16的第一端口 I和第二端口 2维持在不连通状态，并且控制第一端口 I和第三端口 3连通，同时控制第二阀门17的第五端口 5和第六端口 6连通，使第二真空栗14同时对第一腔室11和第二腔室12抽真空。