蚀刻装置及蚀刻方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种装置及方法，更详细而言，涉及一种蚀刻装置及蚀刻方法。
【背景技术】
[0002]通常，显示器(display)基板为了实现轻薄(Slim)化，可利用蚀刻液进行蚀刻。此时，为了对显示器基板等进行蚀刻，需固定显示器基板等。特别是，在如上所述的情况下，通常可将显示器基板等插入到匣盒(cassette)等后，喷射蚀刻液而对显示器基板等进行蚀刻。
[0003]然而，最近在为了对显示器基板等进行蚀刻而将其插入到匣盒的情况下，由于显示器基板等的尺寸变大，因此会因显示器基板等的负重、外部影响等而产生显示器基板等弯曲的问题。特别是，在显示器基板等弯曲的情况下，无法均匀地执行蚀刻、或在表面产生污痕或擦伤(scratch)等，因此会发生不良。因此，为了解决如上所述的问题，正在开发各种方法及各种结构等。
【发明内容】
[0004][发明欲解决的课题]
[0005]本发明的实施例欲提供一种蚀刻装置及蚀刻方法。
[0006][解决课题的手段]
[0007]本发明的一方面可提供一种蚀刻装置，其包含:堆载部，其在内部形成空间，供显示器基板插入；夹紧(clamping)部，其夹紧所述显示器基板的上表面；及蚀刻液喷射部，其以远离所述堆载部的方式配置，向所述显示器基板喷射蚀刻液。
[0008]在本实施例中，所述夹紧部可具备:夹具(clamp)，其夹紧堆载在所述堆载部的所述显示器基板的上表面；及升降调节部，其与所述夹具连接而使所述夹具升降。
[0009]在本实施例中，所述夹紧部还可具备距离调节部，所述距离调节部使所述夹具动作而夹紧所述显示器基板或松开(Unclamping)所述显示器基板。
[0010]在本实施例中，所述夹紧部还可具备缓冲垫(cush1n)部，所述缓冲垫部设置到所述夹具，与所述显示器基板接触。
[0011]在本实施例中，还可包含基板支撑部，所述基板支撑部设置到所述堆载部的下表面及侧面中的至少一者，支撑所述显示器基板。
[0012]在本实施例中，所述基板支撑部可具备基板支撑卡夹(pin)，所述基板支撑卡夹供所述显示器基板的下表面及侧面中的至少一者插入。
[0013]在本实施例中，所述基板支撑部可具备基板支撑板(plate)，所述基板支撑板与所述显示器基板的下表面及侧面中的至少一者接触。
[0014]在本实施例中，所述蚀刻液喷射部可在通过所述夹紧部而使所述基板远离所述堆载部的状态下喷射蚀刻液。
[0015]在本实施例中，所述夹紧部可改变所述显示器基板的高度。
[0016]本发明的另一侧面可提供一种蚀刻方法，其包含如下步骤:将显示器基板插入到堆载部的内部的步骤；通过夹紧部固定所述显示器基板的上表面的步骤；向所述显示器基板喷射蚀刻液而对所述显示器基板进行蚀刻的步骤。
[0017]在本实施例中，可在所述显示器基板远离所述堆载部的状态下，向所述显示器基板喷射所述蚀刻液。
[0018]在本实施例中，还可包含通过所述夹紧部夹紧所述显示器基板而使其远离所述堆载部的步骤。
[0019]在本实施例中，还可包含对与所述夹紧部接触的所述显示器基板的上表面部分进行切割(cutting)的步骤。
[0020][发明效果]
[0021]本发明的实施例可在进行蚀刻时防止显示器基板的破损，实现均匀的蚀刻。
【附图说明】
[0022]图1是表示本发明的一实施例的蚀刻装置的概念图。
[0023]图2是放大表示图1所示的A部分的局部立体图。
[0024]图3a及图3b是表不固定图1所不的显不器基板的情况的概念图。
【具体实施方式】
[0025]如果一同参照附图与在以下详细地进行叙述的实施例，则本发明变明确。然而，本发明并不限定于以下所揭示的实施例，由各种不同的形态实现，本实施例仅是为了使本发明的揭示完整且明确地向在本发明所属技术领域内具有常识的技术人员告知发明的范畴而提供的实施例，本发明仅由权利要求书的范畴定义。另一方面，本说明书中所使用的术语是用以说明实施例的术语，并非意欲限制本发明。在本说明书中，如果未在文中特别提及为单数形，则也包含复数形。说明书中所使用的“包含(comprises)”及/或“包含的(comprising) ”是指所提及的构成要素、步骤、动作及/或元件不排除存在或追加一个以上的其他构成要素、步骤、动作及/或元件。第一、第二等术语可在说明各种构成要素时使用，但构成要素不应受术语的限定。术语仅以将一个构成要素与其他构成要素区分开来为目的而使用。
[0026]图1是表示本发明的一实施例的蚀刻装置的立体图。图2是放大表示图1所示的A部分的局部立体图。图3a及图3b是表示固定图1所示的显示器基板的情况的概念图。
[0027]参考图1及图2，蚀刻装置100可包含堆载部110、夹紧部120、蚀刻液喷射部140及基板支撑部150。
[0028]堆载部110可保管显示器基板M。此时，堆载部110可配置在额外的处理室(未图示)内部，能够以可移动的方式形成。
[0029]堆载部110可具备形成外观的主框架111及设置到主框架111之间的支撑框架112。此时，主框架111可由多个框架形成，所述多个框架形成为六面体，由此可在内部形成空间。支撑框架112配置到如上所述的框架之间，可防止各框架弯曲。此时，支撑框架112可提高主框架111的强度。
[0030]另外，堆载部110可具备形成堆载部110的底面的下部框架113。另外，堆载部110可设置到下部框架113且具备轮114。
[0031]另一方面，夹紧部120可夹紧显示器基板M或松开显示器基板M。此时，夹紧部120可从上部夹紧显示器基板M。特别是，夹紧部120可使显示器基板M在显示器基板M的高度方向(Z方向)上保持张力(tens1n) ο
[0032]夹紧部120可设置到连接框架130，所述连接框架130设置到堆载部110的外部。此时，连接框架130可固定在外部，沿各种方向配置。例如，连接框架130能够以固定到形成供堆载部110插入的空间的所述处理室的方式设置。另外，连接框架130可沿显示器基板M的长度方向(X方向)配置。另外，连接框架130可沿配置有多个显示器基板M的方向(Y方向)设置。然而，以下为了便于说明，以沿配置有显示器基板M的方向(Y方向)设置连接框架130的情况为中心而详细地进行说明。
[0033]如上所述的夹紧部120可包含设置到连接框架130的升降调节部121及与升降调节部121连接而进行升降运动的夹具122。此时，升降调节部121可形成为各种形态。例如，升降调节部121可具备与夹具122连接的汽缸(cylinder)。另外，作为另一实施例，升降调节部121可具备:马达(motor);及齿条传动装置(rack gear)，其与马达及夹具连接，随着马达的旋转而升降。作为又一实施例，升降调节部121可具备与夹具122连接的滚珠螺杆(ball screw)及与滚珠螺杆连接的马达。作为又一实施例，升降调节部121可具备:连接杆(bar)(未图示)，其与夹具122连接，以可进行线性运动的方式设置到连接框架130 ;及如螺钉(bolt)等的位置固定部(未图示)，其固定所述连接杆的位置。此时，升降调节部121并不限定于上述内容而可包含使夹具122升降的所有结构及装置。然而，以下为了便于说明，以升降调节部121具备汽缸的情况为中心而详细地进行说明。
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