用于衬底和电子装置的混合屏障层的利记博彩app
【专利说明】
[0001] 优先权
[0002] 本申请要求2013年6月21日提交的美国临时申请第61/837,689号的优先权，其 公开内容W全文引用的方式并入。
[0003] 所要求的本发明是由达成联合大学公司研究协议的W下各方中的一或多者，WW 下各方中的一或多者的名义和/或结合W下各方中的一或多者而作出：密歇根大学董事 会、普林斯顿大学、南加州大学和环宇显示器公司化niversalDisplayCo巧oration)。所 述协议在作出所要求的本发明的日期当天和之前就生效，并且所要求的本发明是因在所述 协议的范围内进行的活动而作出。
技术领域
[0004] 本发明设及有机发光装置（OLED)，并且更具体来说，设及适用于OL邸的混合屏障 和制造其的技术。
【背景技术】 阳〇化]出于若干原因，利用有机材料的光学电子装置变得越来越受欢迎。用W制造运样 的装置的材料中的许多材料相对便宜，因此有机光学电子装置具有获得相对于无机装置的 成本优势的潜力。另外，有机材料的固有性质（例如其柔性）可W使其非常适合具体应用， 例如在柔性衬底上的制造。有机光学电子装置的实例包括有机发光装置（OLED)、有机光电 晶体管、有机光伏打电池和有机光检测器。对于0LED，有机材料可W具有相对于常规材料的 性能优点。举例来说，有机发射层发射光的波长通常可W容易地用适当的渗杂剂来调整。
[0006] OL邸利用有机薄膜，其在电压施加于装置上时发射光。OL邸正变为用于例如平 板显示器、照明和背光应用中的越来越引人注目的技术。美国专利第5, 844, 363号、第 6, 303, 238号和第5, 707, 745号中描述若干OL邸材料和配置，所述专利W全文引用的方式 并入本文中。
[0007] 憐光性发射分子的一个应用是全色显示器。用于运种显示器的行业标准需要适于 发射具体色彩（称为"饱和"色彩）的像素。具体地说，运些标准需要饱和的红色、绿色和 蓝色像素。可W使用本领域中所熟知的CIE坐标来测量色彩。
[000引绿色发射分子的一个实例是S(2-苯基化晚）银、表示为Ir(ppy)3,其具有W下结 构：
[0009]
[0010] 在此图和本文后面的图中，将从氮到金属（此处，Ir)的配价键描绘为直线。
[0011] 如本文所用，术语"有机"包括聚合材料W及小分子有机材料，其可W用W制造有 机光学电子装置。"小分子"是指不是聚合物的任何有机材料，并且"小分子"可能实际上相 当大。在一些情况下，小分子可W包括重复单元。举例来说，使用长链烷基作为取代基不会 将分子从"小分子"类别中去除。小分子还可W并入到聚合物中，例如作为聚合物主链上的 侧基或作为主链的一部分。小分子还可W充当树枝状聚合物的核屯、部分，所述树枝状聚合 物由建立在核屯、部分上的一系列化学壳层组成。树枝状聚合物的核屯、部分可W是巧光或憐 光小分子发射体。树枝状聚合物可W是"小分子"，并且据信当前在OL邸领域中使用的所有 树枝状聚合物都是小分子。
[0012] 如本文所用，"顶部"意指离衬底最远，而"底部"意指离衬底最近。在将第一层描 述为"安置"在第二层"上"的情况下，第一层被安置为距衬底较远。除非规定第一层"与" 第二层"接触"，否则第一与第二层之间可W存在其它层。举例来说，即使阴极和阳极之间存 在各种有机层，仍可W将阴极描述为"安置在"阳极"上"。
[0013] 如本文所用，"溶液可处理"意指能够W溶液或悬浮液的形式在液体介质中溶解、 分散或输送和/或从液体介质沉积。
[0014] 当据信配位体直接促成发射材料的光敏性质时，配位体可W称为"光敏性的"。当 据信配位体并不促成发射材料的光敏性质时，配位体可W称为"辅助性的"，但辅助性的配 位体可W改变光敏性的配位体的性质。
[0015] 如本文所用，并且如本领域技术人员一般将理解，如果第一能级较接近真空能级， 那么第一"最高占用分子轨道"（册MO)或"最低未占用分子轨道"（LUMO)能级"大于"或"高 于"第二HOMO或LUMO能级。由于将电离电位（I巧测量为相对于真空能级的负能量，因此 较高HOMO能级对应于具有较小绝对值的IP(负得较少的IP)。类似地，较高LUMO能级对 应于具有较小绝对值的电子亲和性（EA)(负得较少的EA)。在常规能级图上，真空能级在 顶部，材料的LUMO能级高于同一材料的HOMO能级。"较高"HOMO或LUMO能级表现为比"较 低"HOMO或LUMO能级靠近运个图的顶部。
[0016] 如本文所用，并且如本领域技术人员一般将理解，如果第一功函数具有较高绝对 值，那么第一功函数"大于"或"高于"第二功函数。因为通常将功函数测量为相对于真空能 级的负数，因此运意指"较高"功函数负得较多。在常规能级图上，真空能级在顶部，将"较 高"功函数说明为在向下方向上距真空能级较远。因此，HOMO和LUMO能级的定义遵循与功 函数不同的惯例。
[0017] 可W在W全文引用的方式并入本文中的美国专利第7, 279, 704号中找到关于 OL邸和上文所述的定义的更多细节。
【发明内容】
[0018] 在本发明的一个方面，可W在与表面相邻的反应位置处提供多种前体材料，其中 的至少一者包括有机娃材料。可W例如通过化学气相沉积或等离子体聚合使所述多种前体 材料反应，W在所述表面上由所述多种前体材料形成混合层，例如柔性屏障膜。所述多种前 体材料可W包括两种具有不同解离速率的单体材料。可W通过运载气体将所述前体材料输 送到所述反应位置。所述前体材料可W基于所述混合膜的所要属性来选择。
[0019] 在本发明的一个方面，可W针对混合膜的参数选择值，所述参数例如所述反应位 置处的沉积压力；所述多种前体材料向所述反应位置的总流动速率；在所述反应位置处所 述多种前体材料中的第一者比所述前体材料中的第二者的相对比率；沉积功率。然后可W使多种前体材料在所述所选参数值下反应。所述工艺参数的选择可W基于所述沉积混合膜 的所要属性来进行。所述前体材料中的每一者可W包括六甲基二硅氧烷和原娃酸四乙醋的 混合物；甲基硅烷；^甲基硅烷；乙締基二甲基硅烷；二甲基硅烷；四甲基硅烷；乙基硅烷； 一娃烷基甲烧；双（甲基娃烷基）甲烧；1, 2- 一娃烷基乙烧；1, 2-双（甲基娃烷基）乙烧； 2, 2- ^娃烷基丙烷；1, 3, 5-二娃烷基-2, 4, 6-二亚甲基；^甲基苯基硅烷；^?苯基甲基娃 烧；原娃酸四乙醋；二甲基二甲氧基硅烷；1，3, 5, 7-四甲基环四硅氧烷；1，3-二甲基二娃 氧烧；1, 1, 3, 3-四甲基二硅氧烷；1, 3-双（娃烷基亚甲基）二硅氧烷；双（1-甲基二娃氧 烷基）甲烧；2, 2-双（1-甲基二娃氧烷基）丙烷；2, 4, 6, 8-四甲基环四硅氧烷；八甲基环 四硅氧烷；2, 4, 6, 8, 10-五甲基环五硅氧烷；1，3, 5, 7-四娃烷基-2, 6-二氧基-4, 8-二亚甲 基；六甲基环S硅氧烷；1，3, 5, 7, 9-五甲基环五硅氧烷；六甲氧基二硅氧烷；六甲基二娃氮 烧；二乙締基四甲基二娃氮烧；六甲基环S娃氮烧；二甲基双（N-甲基乙酷胺基）硅烷；二 甲基双-(N-乙基乙酷胺基）硅烷；甲基乙締基双（N-甲基乙酷胺基）硅烷；甲基乙締基双 (N-下基乙酷胺基）硅烷；甲基S(N-苯基乙酷胺基）硅烷；乙締基S(N-乙基乙酷胺基） 硅烷；四（N-甲基乙酷胺基）硅烷；二苯基双（二乙基氨氧基）硅烷；甲基S(二乙基氨氧 基）硅烷；和双甲基娃烷基）碳化二亚胺。1微米厚度的所述混合膜在38°C，90%湿度 下的渗透可W是