半导体晶片储料器设备和利用该设备传送晶片的方法
【技术领域】
[0001]本发明构思的实施例涉及在半导体生产线中用于存放并传送晶片的储料器和晶片运输盒，以及利用该储料器传送晶片和晶片运输盒的方法。
【背景技术】
[0002]半导体生产线进行发展为利用自动传送系统来传送晶片和晶片运输盒，并且从长远来看半导体生产线可以采用全自动传送系统。前开口运输盒(F0SB)和前开口整合盒(F0UP)均已经被用作传送系统。F0SB不能在传送设备中被自动地识别，并且不能与各种传送系统兼容。因此，F0SB可能被用户传送/装载到专用的传送系统，这会降低生产率。此夕卜，在一些现有的自动传送系统中，可以彼此独立地使用高架升降传输器(OHT，overheadhoist transport)和高架天车(OHS，overhead shuttle)，高架升降传输器被构造为利用升降机(hoist)向上/向下移动晶片运输盒，高架天车被构造为使晶片运输盒沿水平方向滑动。
[0003]在一些现有的传送系统中，晶片或晶片运输盒会沿不同的方向装载在0HT/0HS、储料器和有轨制导车辆(RGV)中，这会增长传送时间。此外，在一些现有的传送系统中，晶片运输盒会在其门打开的状态下被传送，因此容易受到污染。
【发明内容】
[0004]本发明构思的实施例提供了一种晶片传输系统和一种在半导体生产线中使用的储料器以及储料器的入口、搁架、出口和储料器机械手臂。
[0005]本发明构思的实施例还提供了一种晶片传送方法和一种在半导体生产线中使用的储料器操作方法。
[0006]本发明构思的技术目的不限于上述公开内容；对于本领域普通技术人员而讲，其他目的可以基于下面的描述而变得明显。
[0007]根据本发明构思的一些实施例，一种半导体晶片储料器设备，包括:主体框架；入口，用于将晶片运输盒装载到主体框架内；出口，用于从主体框架卸载晶片运输盒；自动化的传送机器人，用于在入口和出口之间可操作地运送晶片运输盒；以及搁架组件，位于主体框架内。搁架组件包括被构造成支撑晶片运输盒的搁架板。搁架板包括突出的第一支撑销、第二支撑销和第三支撑销，其中，第一支撑销和第二支撑销比第三支撑销更靠近主体框架。
[0008]在一些实施例中，第一支撑销、第二支撑销和第三支撑销可以被布置成与晶片运输盒的下侧中的相应的槽对准并且将晶片运输盒定向为晶片运输盒的门面向远离主体框架的方向。
[0009]在一些实施例中，第一支撑销、第二支撑销和第三支撑销可以被布置成第一支撑销和第二支撑销与主体框架等距的三角形构造。
[0010]在一些实施例中，搁架板可以包括:搁架主体单元，与主体框架相邻并且包括从搁架主体单元突出的第一支撑销和第二支撑销；以及多个搁架腿单元，从搁架主体单元远离主体框架地延伸。第三支撑销可以从搁架腿单元之一突出。
[0011]在一些实施例中，搁架板还可以包括位于搁架板的与第一支撑销、第二支撑销和第三支撑销所在的上表面相反的表面上的反射对准嵌板。反射对准嵌板可以具有等腰直角三角形形状，使得对反射对准嵌板的扫描指示传送机器人相对于搁架板的水平和竖直位置。
[0012]在一些实施例中，搁架板还可以包括位于搁架板的包括第一支撑销、第二支撑销和第三支撑销的表面上的上装载检查反射嵌板。上装载检查反射嵌板可以指示在搁架板上存在晶片运输盒。
[0013]在一些实施例中，搁架板还可以包括位于搁架板的与第一支撑销、第二支撑销和第三支撑销所在的表面相反的表面上的下装载检查反射嵌板。下装载检查反射嵌板可以与上装载检查反射嵌板结合来指示存在晶片运输盒。
[0014]在一些实施例中，入口可以包括:顶部和/或侧部，在主体框架中开口 ；内装载单元，在主体框架内；外装载单元，在主体框架外部并被构造成从高架传送车辆接收晶片运输盒，同时使晶片运输盒的门面向远离主体框架的方向；以及装载板，穿过主体框架内的开口在外装载单元和内装载单元之间可操作地移动晶片运输盒，同时保持晶片运输盒的门面向远离主体框架的方向。
[0015]在一些实施例中，装载板可以包括:突出的装载销，布置成与晶片运输盒的下侧中的相应的槽对准并且将晶片运输盒定向成晶片运输盒的门面向远离主体框架的方向。
[0016]在一些实施例中，自动化的传送机器人可以在入口和出口之间可操作地运送晶片运输盒，使得晶片运输盒的门在入口和出口均面向远离主体框架的方向。
[0017]根据本发明构思的另一实施例，半导体晶片储料器设备包括:主体框架；入口，包括在主体框架中的开口以将晶片运输盒装载到主体框架内，使得晶片运输盒的门面向远离主体框架的方向；出口，用于从主体框架卸载晶片运输盒；以及自动化的传送机器人，用于在入口和出口之间可操作地运送晶片运输盒。
[0018]在一些实施例中，入口中的所述开口可以位于主体框架的顶部和/或侧部。入口还可以包括:内装载单元，在主体框架内；外装载单元，在主体框架外部并被构造成从高架传送车辆接收晶片运输盒；以及装载板，在外装载单元和内装载单元之间可操作地移动晶片运输盒，使得晶片运输盒的门面向远离主体框架的方向。
[0019]在一些实施例中，装载板可以包括:突出的装载销，布置成与晶片运输盒的下侧中的相应的槽对准，使得晶片运输盒的门面向远离主体框架的方向。
[0020]在一些实施例中，所述设备还可以包括位于主体框架内的搁架组件。搁架组件可以包括被构造成支撑晶片运输盒的搁架板。搁架板可以具有被布置成与晶片运输盒的下侧中的相应的槽对准的支撑结构，使得晶片运输盒的门面向远离主体框架的方向。
[0021]在一些实施例中，装载销和/或支撑结构可以包括按照三角形定位的第一支撑销、第二支撑销和第三支撑销。第一支撑销和第二支撑销可以比第三支撑销更靠近主体框架。
[0022]在一些实施例中，自动化的传送机器人可以在入口和出口之间可操作地运送晶片运输盒，使得晶片运输盒的门在入口和出口均面向远离主体框架的方向。
[0023]在一些实施例中，入口可以被构造成在门处于关闭位置并且面向远离主体框架的方向的情况下从高架传送车辆接收晶片运输盒。自动化的传送机器人可以将晶片运输盒可操作地运送到出口，同时保持门处于关闭位置。
[0024]在一些实施例中，出口可以包括:门组件，在从所述设备卸载晶片运输盒之前将晶片运输盒的门可操作地移动到打开位置。
[0025]在一些实施例中，出口还可以包括:台组件，被构造成从传送机器人接收晶片运输盒，同时晶片运输盒的门面向远离主体框架的方向。台组件可以包括具有突出的台支撑销的台板，台支撑销被布置成与晶片运输盒的下侧中的相应的槽对准。
[0026]在一些实施例中，台组件可以包括:旋转驱动器，可操作地旋转晶片运输盒，使得在门处于打开位置之后并且在卸载晶片运输盒之前使门面朝主体框架。
[0027]根据本发明构思的又一实施例，一种半导体晶片储料器设备，包括:主体框架；入口，用于将晶片运输盒装载到主体框架中；出口，用于从主体框架卸载晶片运输盒；自动化的传送机器人，用于在入口和出口之间可操作地运送晶片运输盒；以及搁架组件，被构造成支撑晶片运输盒。搁架组件包括位于搁架组件上的反射对准嵌板。反射对准嵌板具有使其扫描指示传送机器人相对于反射对准嵌板的水平位置和竖直位置两者的形状。
[0028]在一些实施例中，反射对准嵌板的形状可以是等腰直角三角形形状，从而扫描的路径长度指示水平位置和竖直位置两者。
[0029]在一些实施例中，搁架组件还可以包括位于搁架组件的与反射对准嵌板相反的表面上的上装载检查反射嵌板。上装载检查反射嵌板可以基于不存在从上装载检查反射嵌板反射的光来指示在搁架组件上存在晶片运输盒。
[0030]在一些实施例中，搁架组件还可以包括位于架组件的包括反射对准嵌板的表面上的下装载检查反射嵌板。下装载检查反射嵌板可以基于从下装载检查反射嵌板反射的光并结合不存在从上装载检查反射嵌板反射的光来指示存在晶片运输盒。
[0031]根据本发明构思的又一实施例，在操作半导体晶片储料器设备的方法中，通过所述设备的主体框架中的入口将晶片运输盒装载到所述设备中，使得晶片运输盒的门面向远离主体框架的方向。晶片运输盒被支撑在主体框架内的搁架板上，搁架板具有被布置成将晶片运输盒的门定向成面向远离主体框架的方向的相应支撑结构。通过自动化的传送机器人将晶片运输盒从搁架板运送到主体框架的出口，使得晶片运输盒的门在出口面向远离主体框架的方向。
[0032]在一些实施例中，晶片运输盒的门可以在从设备卸载晶片运输盒之后被定向成朝向主体框架。
[0033]在一些实施例中，在装载晶片运输盒之前，可以在入口从高架传送车辆接收晶片运输盒，同时晶片运输盒的门面向远离主体框架的方向。
[0034]在一些实施例中，可以在门处于关闭位置的情况下从高架传送车辆接收晶片运输盒，以及可以在保持门处于关闭位置的情况下将晶片运输盒运送到出口。
[0035]在一些实施例中，在将晶片运输盒的门定位成朝向主体框架之前，可以使晶片运输盒的门移动到打开位置。
[0036]根据本发明构思的一个方面，一种储料器包括:主体框架，包括中部腔室和设置在中部腔室的两侧的第一储存区和第二储存区，第一储存区和第二储存区的顶部开口 ；搁架，安装在第一储存区和第二储存区中，晶片运输盒装载在搁架中，使得晶片运输盒的门面向主体的外侧；入口，安装在第一储存区的上部区域中并且在其中装载晶片运输盒；出口，安装在第二储存区的下部区域中，并且被构造成向有轨制导车辆提供晶片运输盒或晶片运输盒中的晶片；机械手臂，安装在中部腔室中并被构造成在搁架、入口和出口之间传送晶片运输盒。
[0037]根据本发明构思的另一方面，一种储料器包括:主体框架，具有储存区；搁架，设置在储存区中；入口，安装在储存区的上部区域中；出口，安装在储存区的下部区域中；机械手臂，被构造成在搁架、入口和出口之间传送晶片运输盒。机械手臂包括晶片运输盒装载在其上的第一板和三个第一支撑销。第一板包括板板主体以及从板主体水平地延伸的叉型腿。第一支撑销中的一个设置在板主体上，第一支撑销中的两个设置在叉型板腿上。
[0038]根据本发明构思的又一方面，一种储料器包括:主体框架，包括中部腔室和设置在中部腔室的两侧的第一储存区和第二储存区，并且主体框架的顶部开口 ；入口，安装在第一储存区的上部区域中并被构造成通过主体框架的开口的顶部从高架传送车辆提供晶片运输盒；搁架，被构造成在其上装载晶片运输盒并存放晶片运输盒；出口，被构造成向有轨制导车辆提供晶片运输盒；机械手臂，安装在中部腔室中并被构造成在入口、搁架和出口之间传送晶片运输盒。架包括:第一板，晶片运输盒装载在其上；上装载检查反射嵌板，设置在搁架板的顶部；下装载检查反射嵌板，设置在搁架板的底部。根据本发明构思的又一方面，一种储料器包括:主体框架，包括储存区；搁架，设置在储存区中；入口，安装在储存区的上部区域中；出口，安装在储存区的下部区域中；机械手臂，被构造成在搁架、入口和出口之间传送晶片运输盒。出口包括:台组件，晶片运输盒装载在其上；门组件，被构造成打开和关闭晶片运输盒的门；以及门组件控制器，被构造