一种真空锁定腔室的利记博彩app
【技术领域】
[0001]本发明属于半导体加工技术领域，具体涉及一种真空锁定腔室。
【背景技术】
[0002]半导体加工设备用于对基片等被加工工件完成刻蚀、溅射沉积等工艺，主要包括工艺系统和传输系统，工艺系统一般为真空环境，用于完成刻蚀等工艺过程；传输系统用于实现基片在位于大气环境中的片盒和真空环境的工艺系统之间的传输；为实现基片在真空环境和大气环境的传输，半导体加工设备包括真空锁定腔室，当将待加工基片传输至工艺系统中时，先将待加工基片传输至大气环境的真空锁定腔室内，之后对真空锁定腔室抽真空，之后再将待加工基片传输至工艺系统；当将已加工基片自工艺系统传输至片盒中时，将已加工基片传输至真空环境的真空锁定腔室内，之后对真空锁定腔室充气，之后再将已加工基片传输至片盒内。
[0003]图1为现有的真空锁定腔室的结构示意图。图2为图1中所示扩散器的结构示意图。请一并参阅图1和图2，该真空锁定腔室10由上盖101和腔体102形成，且真空锁定腔室包括观察窗107、扩散器103、抽气孔104、抽气阀105和压力计106，其中，观察窗107设置在上盖101上，用以透过该观察窗107可观察真空锁定腔室10内；压力计106用于测量真空锁定腔室10内的压力；扩散器103设置在上盖上，用以向真空锁定腔室10内充气(例如，氮气)，如图2所示，扩散器103由电抛光的不锈钢管a、焊接式接头b以及孔径为0.012 μ m高纯度的柱状过滤器c组成，扩散器103的A端接充气阀(图中未示出)，在对真空锁定腔室10充气时，抽气阀105关闭以及充气阀打开，所充气体自充气阀进入柱形过滤器C再扩散至真空锁定腔室10内，并根据压力计106测量的当前腔室压力，判断是否与第一预设压力相等，若是，停止充气，若否，继续充气；抽气孔104的一端真空锁定腔室10相连通，另一端与抽气阀105的一端连接，在对真空锁定腔室10抽气时，充气阀关闭以及抽气阀105打开，抽气阀105的另一端与干泵连接，借助干泵将真空锁定腔室10内的气体依次自抽气孔104和抽气阀105排出，并根据压力计106测量的当前腔室压力，判断是否与第二预设压力相等，若是，停止抽气，若否，继续抽气。
[0004]然而，采用上述真空锁定腔室10在实际应用中往往会存在以下问题:
[0005]由于扩散器103设置在上盖101的边缘区域，且其过滤器c为柱形结构，而压力计106的测量位置位于真空锁定腔10内的远离扩散器103 —端，如图1所示，并且在充气过程中气流在腔室内需要进行扩散过程，因此，在充气的一段时间内靠近扩散器103的气体浓度大于靠近压力计103的气体浓度，即，造成真空锁定腔室10气流不均匀，这使得压力计106在测量位置处测量到的压力小于腔室内其他位置处的压力，因而会导致压力计106测量会延迟，从而造成压力计106测量腔室10内整体压力的精确度低，进而会产生过充现象，造成由于真空锁定腔室10的内外压差使得真空锁定腔室10的门阀无法正常打开。
【发明内容】
[0006]本发明旨在解决现有技术中存在的技术问题，提供了一种真空锁定腔室，其可以提高测量真空锁定腔室压力的准确性，因而可以提高充气过程中控制精度，从而可以避免过充现象的发生。
[0007]为解决上述问题，本发明提供了一种真空锁定腔室，包括扩散器和充气阀，所述扩散器包括过滤器，所述过滤器位于所述真空锁定腔室内，且所述过滤器与所述充气阀相连，气体依次经由所述充气阀和过滤器输送至所述真空锁定腔室内，以实现对所述真空锁定腔室充气，所述过滤器设置在所述真空锁定腔室的中心区域，且为沿所述真空锁定腔室的周向设置的环形结构，以使气体在所述真空锁定腔室内均匀地扩散。
[0008]其中，所述过滤器上设置有多个排气孔，且多个所述排气孔均匀分布，气体在所述过滤器内经由该多个排气孔输送至所述真空锁定腔室内。
[0009]其中，还包括固定件，所述固定件用于将环形结构的所述过滤器固定在所述真空锁定腔室的顶壁上。
[0010]其中，所述固定件的数量为多个，多个所述固定件沿环形结构的所述过滤器的周向间隔设置。
[0011]其中，多个所述固定件沿环形结构的所述过滤器的周向间隔且均匀设置。
[0012]其中，在环形结构的所述过滤器的与每个所述固定件对应位置处，所述过滤器卡设在每个所述固定件上，借助每个所述固定件与所述真空锁定腔室的顶壁固定，实现将所述过滤器固定。
[0013]其中，每个所述固定件与所述真空锁定腔室的顶壁采用螺纹连接方式固定。
[0014]其中，还包括压力测量器，所述压力测量器用于测量所述真空锁定腔室内的压力，根据测量到的所述真空锁定腔室内的压力判断是否等于第一预设压力，若是，停止向所述真空锁定腔室内充气；若否，继续向所述真空锁定腔室内充气。
[0015]其中，还包括抽气孔和抽气阀，所述抽气孔的一端与所述真空锁定腔室相连通，所述抽气孔的另一端与所述抽气阀的一端相连，所述抽气阀的另一端与抽气装置相连接，借助所述抽气装置将所述真空锁定腔室中的气体依次自所述抽气孔和抽气阀排出，以实现对所述真空锁定腔室抽气。
[0016]其中，所述环形结构包括圆环形结构或者椭圆环形结构。
[0017]本发明具有下述有益效果:
[0018]本发明提供的真空锁定腔室，其借助过滤器设置在真空锁定腔室的中心区域，且为沿真空锁定腔室的周向设置的环形结构，可以使气体在真空锁定腔室内均匀地扩散，这与现有技术中过滤器为柱形结构且设置在真空锁定腔室的边缘区域相比，可以使得压力计在测量位置测量的压力与在其他位置的压力之间的压力差很小，这就可以快速地实现真空锁定腔室内压力达到稳定，即，减小真空锁定腔室内压力稳定的时间，因而可以提高测量真空锁定腔室压力的准确性，从而可以提高充气过程中控制精度，进而可以避免过充现象的发生。
【附图说明】
[0019]图1为现有的真空锁定腔室的结构示意图；
[0020]图2为图1中所示扩散器的结构示意图；
[0021]图3为本发明实施例提供的真空锁定腔室的结构示意图；
[0022]图4为图3中所示的扩散器的结构示意图；
[0023]图5为图3中所示的上盖的结构示意图；
[0024]图6为图5中所示的固定件的一种结构示意图；以及
[0025]图7为图5中所示的固定件的另一种结构示意图。
【具体实施方式】
[0026]为使本领域的技术人员更好地理解本发明的技术方案，下面结合附图对本发明提供的真空锁定腔室进行详细描述。
[0027]图3为本发明实施例提供的真空锁定腔室的结构示意图。图4为图3中所示的扩散器的结构示意图。图5为图3中所示的上盖的结构示意图。图6为图5中所示的固定件的一种结构示意图。请一并参阅图3、图4、图5和图6，本实施例提供的真空锁定腔室20包括扩散器201、充气阀202、压力测量器203、抽气孔204和抽气阀205。其中，如图1所示，真空锁定腔室20由上盖30和腔体40形成，上盖30采用翻转的方式打开或关闭该真空锁定腔室20，扩散器201包括过滤器2011，过滤器2011设置在上盖30的下表面上，以使上盖30将真空锁定腔室20关闭后，过滤器2011位于真空锁定腔室20内，且过滤器2011与充气阀202相连，气体依次经由充气阀202和过滤器2011输送至真空锁定腔室20内，以实现对真空锁定腔室20充气；并且，过滤器2011设置在真空锁定腔室20的中心区域，且为沿真空锁定腔室20的周向设置的环形结构，具体地，如图4所示，扩散器201还包括由电抛光的不锈钢管2012以及焊接式接头2013，且过滤器2011为圆环形结构，过滤器2011为气流通道的直径为0.012 μ m高纯度的过滤器；由于过滤器2011设置在真空锁定腔室20的中心区域，且为沿真空锁定腔室20的周向设置的环形结构，这相对于现有技术中过滤器为柱形结构且设置在真空锁定腔室的边缘区域相比，可以使气体在真空锁定腔室20内均匀地扩散，使得在测量位置测量的压力与在其他位置的压力之间的压力差很小，这就可以快速地使真空锁定腔室20内压力达到稳定，即，减小真空锁定腔室20内压力稳定的时间，因而可以提高测量真空锁定腔室20压力的准确性，从而可以提高充气过程中控制精度，进而可以避免过充现象的发生。
[0028]在本实施例中，过滤器2011上设置有多个排气孔(图中未示出)，所充气体(例如，氮气)在过滤器2011内经由该多个排气孔输送至真空锁定腔室20内，优选地，多个排气孔均匀分布，这可以使得气体在真空锁定腔室20内更均匀地扩散，从而可以进一步提高测量真空锁定腔室20压力的准确性，从而可以进一步提高充气过程中控制精度，进而可以进一步避免过充现象的发生。
[0029]为实