一种柔性电极层及其制备方法、显示基板、显示装置的制造方法
【技术领域】
[0001] 本发明涉及显示技术领域，尤其涉及一种柔性电极层及其制备方法、显示基板、显 示装置。
【背景技术】
[0002] 柔性显示器（FlexibleDisplay)由柔性材料制成，具有可变型可弯曲的特性。用 户在使用柔性显示器时，可以实现传统刚性显示器无法实现的多种功能。例如，可以将柔性 显示器折叠起来放进口袋里随身携带；或者"卷开"柔性显示器，当作地图使用；柔性显示 器还可以被嵌入眼镜、衣服、手表、头盔等日常用品成为可穿戴电子设备。因此，柔性显示器 具有巨大的市场潜力，成为了当下显示技术发展的主流趋势。
[0003] 柔性显示器实现的难点之一是形成具有可挠性的像素电极等柔性电极。其中，应 用于传统刚性显示器中电极结构的ITO(IndiumTinOxide、氧化铟锡）、IZO(IndiumZinc Oxide，氧化铟锌）材料的机械强度较大、可挠性较小，难以很好地应用于柔性显示器。因 此，现有技术提出采用柔性较优的碳纳米管（carbonnanotubes，简称CNT)等碳材料替代 ITO、IZ0作为电极结构的材料。
[0004] 由于柔性显示器中的像素电极等电极结构的厚度很小，通常仅为400人；并且，为 了减薄柔性显示器的整体厚度，同时提高其透光率，像素电极等电极结构的厚度应尽可能 地减薄。这样一来，导致CNT应用于像素电极等电极结构时的方块电阻（符号为Rs，表达 式为Rs=P/t;其中，P为电极材料的电阻率，t为电极的厚度）的阻值Rs较大，能耗较 高，不能满足像素电极对低电阻值的要求，不利于柔性显示器的进一步发展。
【发明内容】
[0005] 本发明的实施例提供一种柔性电极层及其制备方法、显示基板、显示装置，通过降 低柔性电极层材料的电阻率，使其应用于电极结构时的方块电阻较小，满足显示器件对电 极结构低电阻值的要求，有利于柔性显示器的进一步发展。
[0006] 为达到上述目的，本发明的实施例采用如下技术方案：
[0007] -方面、本发明实施例提供了一种柔性电极层的制备方法，所述制备方法包括：在 基板上形成第一电极层，所述第一电极层由碳纳米管和/或石墨烯材料构成；采用氧化性 材料，对所述第一电极层进行掺杂改性，形成第二电极层。
[0008] 可选的，所述采用氧化性材料，对所述第一电极层进行掺杂改性，形成第二电极 层，具体包括：使所述第一电极层的上表面与氧化性材料溶液相接触；对接触有所述氧化 性材料溶液的所述第一电极层进行清洗、干燥，获得第二电极层。
[0009] 进一步优选的，所述氧化性材料由二氧化氮、溴单质、硝酸、亚硫酰氯、全氟聚苯二 酸磺酸、四氟四氰基醌二甲烷中的至少一种材料构成。
[0010] 可选的，所述采用氧化性材料，对所述第一电极层进行掺杂改性，形成第二电极层 之后，所述制备方法还包括：在形成的所述第二电极层的上表面上形成透明导电保护层。
[0011] 进一步优选的，所述在形成的所述第二电极层的上表面上形成透明导电保护层， 具体包括：在形成的所述第二电极层的上表面上形成由透明导电聚合物溶液构成的导电聚 合物溶液膜；固化所述导电聚合物溶液膜，形成透明导电保护层。
[0012] 进一步优选的，所述导电聚合物溶液的溶质包括导电聚合物，溶剂包括室温离子 液体。
[0013] 进一步优选的，所述导电聚合物由聚乙炔、聚噻吩、聚吡咯、聚苯胺、聚苯撑、聚苯 撑乙炔、聚双炔中的至少一种材料构成；所述室温离子液体由1-乙基-3-甲基咪唑六氟磷 酸盐、1- 丁基-3-甲基咪唑六氟磷酸盐、1-辛基-3-甲基咪唑六氟磷酸盐、1-乙基-3-甲基 咪唑四氟硼酸盐、1- 丁基-3-甲基咪唑三氟甲基磺酸盐、氯化1- 丁基-3-甲基咪唑盐中的 至少一种材料构成。
[0014] 进一步优选的，所述导电聚合物溶液的溶质还包括：零维纳米导电材料和/或一 维纳米导电材料。
[0015] 进一步优选的，所述零维纳米导电材料和/或所述一维纳米导电材料由金、银、 铜、铝、镍、锡中的至少一种材料构成。
[0016] 另一方面、本发明实施例提供了一种柔性电极层，所述柔性电极层采用上述任一 项所述的制备方法获得。
[0017] 再一方面、本发明实施例提供了一种显示基板的制备方法，所述制备方法包括：对 如上述任一项所述的制备方法获得的柔性电极层进行构图工艺的处理，获得图案化的显示 用电极；其中，所述显示用电极包括：像素电极、公共电极、触控驱动电极、触控感应电极中 的至少一种。
[0018] 优选的，对所述柔性电极层进行构图工艺的处理，获得图案化的显示用电极，具体 包括：采用激光烧蚀，对所述柔性电极层进行构图工艺的处理，获得图案化的显示用电极。
[0019] 又一方面、本发明实施例提供了一种显示基板，所述显示基板采用上述所述的制 备方法获得。
[0020] 进一步的，本发明实施例还提供了一种显示装置，所述显示装置包括上述的所述 的显不基板。
[0021] 基于此，通过本发明实施例提供的上述制备方法，对由碳纳米管（CNT)和/或石墨 稀（Graphene)材料构成的第一电极层进行掺杂改性，在其结构内形成p-JT共轭，提高了碳 纳米管和/或石墨烯材料结构中的共轭度，降低了电子跃迀的能量，使电导率〇)增 大，由于电导率的倒数为电阻率p，从而使得改性处理后的第二电极层的电阻率显著降低， 使其应用于像素电极、公共电极、触控电极等电极结构时的方块电阻较小，满足显示器件对 电极结构低电阻值的要求，有利于柔性显示器的进一步发展。
【附图说明】
[0022] 为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现 有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本 发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以 根据这些附图获得其他的附图。
[0023] 图1为本发明实施例提供的一种柔性电极层的制备流程示意图一；
[0024] 图2为图1中步骤SOI的示意图；
[0025] 图3为图1中步骤S02的示意图；
[0026] 图4为图1中步骤S02分步流程示意图；
[0027] 图5为本发明实施例提供的一种柔性电极层的制备流程示意图二；
[0028] 图6为图5中步骤S03分步流程示意图；
[0029] 图7为图6中步骤S31分步示意图；
[0030] 图8为图6中步骤S32分步示意图。
[0031] 附图标记：
[0032] 01-柔性电极层；10-基板；11-第一电极层；11a-第一电极层的上表面；12-第二 电极层；12a-第二电极层的上表面；13-透明导电保护层；130-导电聚合物溶液膜。
【具体实施方式】
[0033] 下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完 整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于 本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他 实施例，都属于本发明保护的范围。
[0034] 本发明实施例提供了一种柔性电极层01的制备方法，如图1所示，该制备方法包 括：
[0035] S01、在基板10上形成第一电极层11，第一电极层11由碳纳米管（CNT)和/或石 墨稀（Graphene)材料构成；
[0036] S02、采用氧化性材料，对第一电极层11进行掺杂改性，形成第二电极层12。
[0037] 需要说明的是，第一、上述基板10可以为由不锈钢、聚酯膜等柔性材料构成的衬 底基板；还可以是在衬底基板上形成包括有TFT(ThinFilmTransistor，薄膜晶体管）阵 列结构层等的基板，具体不作限定，可根据形成的第二电极层12的功能，灵活选用合适的 上述基板10。
[0038] 第二、在上述步骤S01中，根据构成第一电极层11的材料的不同，可以有多种工艺 形成上述的第一电极层11。
[0039] 例如，当第一电极层11采用碳纳米管材料构成时，可以采用将碳纳米管分散液涂 布在上述基板10上，经清洗-干燥-成膜的方式，形成上述的第一电极层11 ;或者，也可在 上述基板10上首先涂布固化层，之后采用拉膜的成膜工艺将碳纳米管制作在固化层上，根 据固化层材料的固化性能采用相应的固化工艺将碳纳米管进行固化，形成上述的第一电极 层11。
[0040] 这里，碳纳米管分散液是指包含了经分散处理后的碳纳米管的液体。
[0041] 当第一电极层11采用石墨烯材料构成时，若构成上述基板10的材料与石墨烯晶 格常数匹配较好，可以采用化学气相沉积法或外延生长等方式在上述基板10上形成第一 电极层11 ;或