加热部5输出的各种参数调节循环流体的温度，并且将腔室2的温度控制成目标温度的控制部6、收纳循环冷却加热部5及控制部6的框体7。
[0049]在温度控制装置3中，对循环冷却加热部5及控制部6的详细进行后述，但其在同一平面上以前后的位置关系配置。因此，在进行循环冷却加热部5或控制部6的维修时，将温度控制装置3的框体7的一部分向上方侧卸下，能够使其在大范围露出，能够从上方容易地进行对循环冷却加热部5及控制部6的维修。另外，在进行维修时，无需将温度控制装置3从台阶4的收纳部位向更大的区域拉出而进行作业，故而无需确保也考虑了这样的区域的较大配置空间。
[0050]另外，在本实施方式的温度控制装置3中，冷机8与循环冷却加热部5连接。冷机8使一定温度的冷却水相对于循环冷却加热部5供给、循环。冷却水用于在循环冷却加热部5将循环流体冷却。作为循环流体，使用力';wr > (卜''公司的注册商标)或7 口 y于一卜(3M公司的注册商标)等的氟类制冷剂。
[0051][循环冷却加热部的说明]
[0052]循环冷却加热部5设于占据温度控制装置3的后方侧的区域。通过使循环冷却加热部5位于后方侧，循环流体用的配管或冷却水用的配管从循环冷却加热部5向后方侧延伸，通过等离子体蚀刻装置I主体的下方而与腔室2或冷机8连接。因此，这些配管不在等离子体蚀刻装置I的外部露出，无需在等离子体蚀刻装置I的配置空间之外另外设置配管专用的空间。
[0053]另外，由于循环冷却加热部5和腔室2等处于接近的位置关系，故而配管的长度可以短，循环流体的使用量较少即可。因此，能够减小贮存循环流体的后述的罐10或热交换器14的容量即大小，能够将循环冷却加热部5、进而温度控制装置3格外地小型化，能够将温度控制装置3可靠地收纳在台阶4这样的狭小的配置空间。
[0054]具体地，循环冷却加热部5具有贮存循环流体的罐10。在罐10连接有具有循环流体的流入部IlA的流入路径11、具有流出部12A的流出路径12。在罐10内贮存循环流体，但在循环流体的上方产生未被循环流体充满的间隙空间，如图3中将罐10局部剖切所示，通过该间隙空间形成有空气室10A。
[0055]在将循环流体冷却、加热而收缩、膨胀的情况下，能够通过该空气室1A的容积变化进行应对。另外，由于防止基于空气室1A的容积变化的过度的压力变动，故而在罐10的侧面设有通气装置13。通气装置13根据空气室1A的压力在空气室1A与外部之间进行空气的出入，将空气室1A的压力维持在规定的范围内。
[0056]在罐10内，以总是浸渍在循环流体中的状态收纳有热交换器14。循环流体的流入路径11的前端在罐10内与热交换器14连接。在热交换器14设有使循环流体向罐10内流出的出口部14A。热交换器14在循环流体与冷却水之间进行热交换，将循环流体冷却。因此，在热交换器14连接有具有冷却水的流入部15A的流入路径15、具有流出部16A的流出路径16。
[0057]通过使热交换器14浸渍在循环流体中，流入到热交换器14的循环流体也被冷却后的循环流体从热交换器14的外部冷却。另外，通过在罐10内收纳热交换器14，罐10的尺寸稍增大，但无需在罐10外确保热交换器14的配置空间，故而即使考虑罐10自身的大小稍增大的量，作为循环冷却加热部5整体，也能够可靠地进行小型化。
[0058]另外，在罐10内收纳有由三个护套加热器构成的加热装置17。各加热器的端子17A在罐10上部露出，经由这些端子17A供给电力，加热器发热。通过发热的加热器将循环流体加热。
[0059]在此，在罐10内，在循环流体的流入路径11设有溢流阀18。在由于某种理由而限制循环流体向热交换器14内流入的情况时，在热交换器14内的循环流体的压力超过规定压力的时刻，将溢流阀18打开，使循环流体向罐10内释放。
[0060]在罐10外，在循环流体的流出路径12设有利用电动机19驱动的泵20，在其下游设有温度传感器21及压力计22。通过驱动泵20，循环流体在循环冷却加热部5与腔室2之间循环。另外，流出路径12的基端侧考虑热交换器14或加热装置17的实际配置等，在罐10内的适当位置开口。
[0061]同样地在罐10外，在冷却水的流入路径15，在流入部15A附近设有压力计23、在其下游设有比例阀24。在流出路径16，在流出部16A附近设有压力计25，在其上游设有定流量阀26。另外，流入路径15的比例阀24的下游侧和流出路径16的定流量阀26的下游侧在旁通路27连通。在旁通路27设有比例阀28。通过变更各比例阀24、28的节流机构的开度，调节在热交换器14流通的冷却水的流量，能够调节在热交换器的冷却性能。冷却水的循环通过冷机8 (图2)侧的未图示的泵进行。
[0062]循环流体用的泵20配置在前方的控制部6与后方的罐10之间。循环流体用的压力计22配置在罐10的上方。比例阀24、28、定流量阀26及冷却水用的压力计23、25在罐10的侧方汇集配置。
[0063][控制部的说明]
[0064]控制部6基于温度传感器21的检测温度、其他各种参数控制泵20的驱动、比例阀24,28的开度变更及加热装置17的接通断开的切换等。这样的控制部6，如图3所示地设置在占据温度控制装置3的前方侧的区域。
[0065]控制部6具有作为切换加热装置17的接通断开的切换装置的SSR(Solid StateRelay)30(图5)、设有泵20用的驱动电路的变换器31。除此之外，在控制部6还设有电源连接器32、各种接口缆线连接用的连接器、电源开关盒33、电源基板34、将变换器31冷却的冷却风扇35、CPU (Central Processing Unit)基板36及操作面板37等。
[0066]但是，目前，在腔室的各电极内设加热器，通过温度控制装置来控制这些加热器的接通断开。以往，由于在自循环冷却加热装置的较长的配管途中夺取循环流体的温度等理由，需要在电极内设加热器而进一步加热循环流体。但是，在这样的构成中，作为循环流体向高温侧的温度调节，90°C左右为界限。另外，在现有的温度控制装置中，内设于电极的加热器成为干扰源，需要干扰对策用的昂贵的过滤器。
[0067]对此，在本实施方式中，如前所述地，循环用的配管短，循环流体的使用量也少，故而由小型的加热装置17也能够将循环流体温度调节到150°C左右。由此，无需在腔室2的各电极2A，2B内设加热器，能够可靠地削减温度控制装置3的成本。
[0068][框体的说明]
[0069]在图3中，框体7具有搭载循环冷却加热部5及控制部6的底部面板41、将其上方及侧方覆盖的上部罩42 (在图3中由双点划线所示)、固定在底部面板41及上部罩42上将前方侧覆盖的前部罩43、同样地将后方侧覆盖的后部罩44 (图3中由双点划线所示)、将温度控制装置3内前后分隔的分隔面板45。分隔面板45的后方侧成为设置循环冷却加热部5的循环室46，前方侧成为设置控制部6的控制室47。S卩，各室46、47存在于同一平面上。
[0070]在底部面板41沿对应于循环室46的部分的周围而设有立起部41A。立起部41A的高度Hl比沿控制室47的外周设置的立起部41B的高度H2高。S卩，底部面板41具有循环室46底侧的周围被立起部41A包围的底座48。在底座48的底面设有检测循环流体的漏液传感器49。
[0071]循环流体及冷却水在循环室46流入流出，故而万一循环流体或冷却水在循环室46内漏出，也被底座48接收。因此，循环流体及冷却水向控制室47流出而对电子零件等产生影响，能够防止循环流体及冷却水向外部漏出。另外，向底座48漏出的循环流体或冷却水由漏液传感器49检测，该状况在操作面板37或者设于等离子体蚀刻装置I的显示装置等显不O
[0072]上部罩42为具有上面部51及左右的侧面部52、52的形状，在将底部面板41、前部罩43及后部罩44的固定解除之后，能够利用左右的把手向上方卸下。在上部罩42的上面部51，在控制