光电倍增管和包含其的传感器模块的利记博彩app
【技术领域】
[0001 ] 本发明涉及光电倍增管和包含其的传感器模块。
【背景技术】
[0002]在日本专利4640881号说明书(日本特开2002-42719号公报)中，公开了具备内部维持为真空状态的玻璃容器、以及容纳在玻璃容器内的电子倍增单元的光电倍增管。该光电倍增管中，电子倍增单元在被支撑于从玻璃容器的底部(芯柱(stem))延伸的弓I销的状态下被保持在玻璃容器内的规定位置。
【发明内容】
[0003]发明人们就现有的光电倍增管进行研究的结果，发现了以下的技术问题。S卩，现有的光电倍增管中，玻璃容器与电子倍增单元的相对位置仅被从芯柱销(stem pin)延伸的引销(lead pin)维持。因此，在假想地下资源勘探等的严酷环境下的使用的情况下，在现有的光电倍增管中存在不能够维持足够的耐久性和高的可靠性的可能性。
[0004]例如在假想高温、高压环境下的该光电倍增管的使用的情况下，在玻璃容器中存在得不到足够的耐久性的可能性。另外，在电子倍增单元被保持在玻璃容器内的规定位置的构造中，由于强烈的振动而使电子倍增单元相对于玻璃容器的位置发生变动，因此也存在可靠性下降的可能性。特别地，玻璃容器与电子倍增单元的一部分通常由弹簧而在玻璃容器内壁上被保持，若因振动发生摩擦而在玻璃容器内产生不需要的气体，则避免不了该光电倍增管的可靠性下降(测量灵敏度的下降或误动作等)。
[0005]本发明是为了解决上述那样的技术问题而作出的，其目的在于，提供即使在高温、高压环境下的使用中也能够维持优异的耐久性和可靠性，特别是具备用于与现有技术相比较提高了耐振性的构造的光电倍增管以及包含其的传感器模块。
[0006]为了解决上述的技术问题，本实施方式所涉及的光电倍增管，作为第I方式，具备:密闭容器，内部被维持为规定的真空状态；光电阴极，被容纳在密闭容器内，响应于规定波长的光而在密闭容器内放出光电子；电子倍增单元，被容纳在密闭容器内；以及用于固定密闭容器内的电子倍增单元的设置位置的构造。再有，在本说明书中，真空状态是指使用真空泵等排除了密闭容器内的气体并且以该密闭容器内的残留气体的压力表示的真空度被维持为14Pa以下(目前，人工上可以直到KTuiPa左右)的状态。
[0007]在上述第I方式中，密闭容器，以高温、高压环境下的使用为前提，包含沿着该密闭容器的第I管轴依次配置的第I陶瓷侧管和第2陶瓷侧管。电子倍增单元由倍增极单元、阳极、一体地把持这些倍增极单元和阳极的一对绝缘性支撑部件、以及固定于一对绝缘性支撑部件的聚焦电极所构成。倍增极单元响应于从光电阴极到达的光电子而放出二次电子，包含将所放出的二次电子依次级联倍增的多级倍增极。阳极将被倍增极单元级联倍增了的二次电子作为信号取出。聚焦电极在固定于一对绝缘性支撑部件的状态下配置在光电阴极与倍增极单元之间。另外，聚焦电极具有用于通过来自光电阴极的光电子的贯通孔。
[0008]用于固定密闭容器内的电子倍增单元的设置位置的构造由构成密闭容器的一部分的固定部件来实现。即，该固定部件具有用于规定聚焦电极的设置位置的开口、规定开口的内侧端部、以及围绕内侧端部的外侧端部。另外，固定部件，通过第I陶瓷侧管和所述第2陶瓷侧管把持外侧端部而固定于密闭容器。另一方面，固定部件的、位于密闭容器内的内侧端部固定于聚焦电极。通过该结构，电子倍增单元相对于密闭容器的设置位置被固定，该光电倍增管的耐振性显著地提高。
[0009]作为能够应用于上述第I方式的第2方式，密闭容器也可以还具备芯柱部、以及用于规定该芯柱部的设置位置的金属侧管。即，芯柱部由在多个芯柱销(stem pin)贯通的状态下保持多个芯柱销的陶瓷台座、以及覆盖陶瓷台座的至少侧面的金属加强部件所构成。另外，金属侧管夹着第2陶瓷侧管而位于第I陶瓷侧管的相反侧，并且其一端固定在第2陶瓷侧管。在该结构中，芯柱部的金属加强部件固定在金属侧管。
[0010]作为能够应用于上述第I和第2方式中的至少任意一个方式的第3方式，固定部件也可以具有设置在内侧端部与外侧端部之间的多个贯通孔。这些多个贯通孔分别连接存在倍增极单元的空间与存在光电阴极的空间。若在阳极中电子密度提高则会产生发光现象，但是，若来自阳极的光到达光电阴极，则在从阳极取出的信号中会作为噪声成分反映。另一方面，光电阴极通过从芯柱部侧向光电阴极侧提供碱金属蒸气而形成，因而在真空状态的密闭容器内侧管与电子倍增单元之间需要某种程度的宽度的间隙。因此，在第3方式中，通过内侧端部位于密闭容器内的固定部件和聚焦电极的外周部来实现遮光功能，而通过设置在固定部件的多个贯通孔来确保碱金属蒸气的流路。再有，作为能够应用于上述第3方式的第4方式，优选，固定部件的多个贯通孔以围绕密闭容器的第I管轴的方式配置。[0011 ] 上述第I?第4方式中的至少任意一个方式所涉及的光电倍增管可以应用于地下资源勘探等的高温、高压环境下所使用的传感器模块。
[0012]S卩，作为第5方式，本实施方式所涉及的传感器模块具备:具备上述那样的构造的光电倍增管(本实施方式所涉及的光电倍增管)、以及容纳光电倍增管的外壳(case)。该传感器模块的外壳在两端具有开口并且具有沿着第2管轴延伸的形状。
[0013]作为能够应用于上述第5方式的第6方式，该传感器模块也可以还具备设置在外壳内并用于规定外壳内的光电倍增管的设置位置的定位间隔物。另外，作为能够应用于上述第5方式的第7方式，优选，定位间隔物具有抵接有光电倍增管的一部分的锥面。在这种情况下，在使光电倍增管的芯柱部抵接于定位间隔物的状态(外壳内的光电倍增管的姿势稳定性被确保了的状态)下，可以相对于外壳的第2管轴调整光电倍增管的姿势。即，作为能够应用于上述第6和第7方式中的至少任意一个方式的第8方式，即使是在密闭容器的第I管轴与外壳的第2管轴偏离的状态下，光电倍增管也能够稳定地容纳并固定于外壳内。
[0014]再有，本发明所涉及的各实施例通过以下的详细的说明和附图而可以进一步充分地理解。这些实施例单单是为了例示而表示的例子，不应该认为是限定本发明。
[0015]另外，本发明的进一步的应用范围从以下的详细说明而变得清楚。然而，详细的说明和特定的事例表示本发明的优选的实施例，仅是为了例示而表示，对于本领域技术人员而言，显然可知，本发明的范围内的各种各样的变形和改良根据该详细的说明而是显而易见的。
【附图说明】
[0016]图1是表示本实施方式所涉及的光电倍增管的内部构造的一部分破断图。
[0017]图2是从图1中的箭头A所表示的方向看的本实施方式所涉及的光电倍增管的截面构造的图。
[0018]图3是本实施方式所涉及的光电倍增管的密闭容器内所设置的电子倍增单元的组装工序图。
[0019]图4是经图3所示的组装工序得到的电子倍增单元的立体图。
[0020]图5是构成本实施方式所涉及的光电倍增管中的密闭容器的一部分的头部的组装工序图。
[0021]图6是构成本实施方式所涉及的光电倍增管中的密闭容器的一部分的躯体部的组装工序图。
[0022]图7是表示构成电子倍增单元的一部分的聚焦电极圆盘的构造的展开图。
[0023]图8是表示用于固定电子倍增单元的固定部件(固定用金属凸缘)的构造的展开图。
[0024]图9是用于说明本实施方式所涉及的光电倍增管的最终组装工序的图(其一)，并且是与沿着图4中的1-1线的电子倍增单元的截面、沿着图5中的I1-1I线的电子倍增单元的截面、沿着图6中的II1-1II线的躯体部的截面相一致的截面图。
[0025]图10是用于说明本实施方式所涉及的光电倍增管的最终组装工序的图(其二)，并且是与沿着图4中的1-1线的电子倍增单元的截面、沿着图5中的I1-1I线的电子倍增单元的截面、沿着图6中的II1-1II线的躯体部的截面相一致的截面图。
[0026]图11是用于说明本实施方式所涉及的光电倍增管中的芯柱部的技术效果的图。
[0027]图12是用于说明本实施方式所涉及的光电倍增管中的芯柱部的组装工序的图。
[0028]图13是用于说明本实施方式所涉及的传感器模块的组装工序的图。
[0029]图14是表示本实施方式所涉及的传感器模块的、沿着图13中的IV-1V线的截面构造的图。
[0030]图15是用于说明本实施方式所涉及的光电倍增管的第I管轴与构成该光电倍增管中的头部的一部分的玻璃面板的光入射面的关系的图。
[0031]图16是用于说明本实施方式所涉及的传感器模块的技术效果的图。
【具体实施方式】
[0032]以下，一边参