TOC型OLED显示器的利记博彩app及TOC型OLED显示器与流程

本发明涉及oled显示器件制程领域，尤其涉及一种toc型oled显示器的利记博彩app及toc型oled显示器。

背景技术：

在显示技术领域，液晶显示器(liquidcrystaldisplay，lcd)与有机发光二极管显示器(organiclightemittingdiode，oled)等平板显示装置已经逐步取代阴极射线管显示器(cathoderaytube)。

oled显示器具有自发光、驱动电压低、发光效率高、响应时间短、清晰度与对比度高、近180°视角、使用温度范围宽，可实现柔性显示与大面积全色显示等诸多优点，被业界公认为是最有发展潜力的显示装置。

随着显示技术的发展，出现了将薄膜晶体管(thin-filmtransistor，tft)驱动电路设置在彩色滤光层(colorfilter，cf)上的toc(transistoroncolorfilter)型oled显示器。toc型oled显示器可以省去偏光片(polarizer)，能够使oled显示器件更轻薄，制作成本更低。

toc型oled显示器的制作流程包括：

先在衬底基板上制备cf；

然后在彩色滤光层上制备tft。

由于先制备出了cf，后续tft的制备必须在低于230℃的温度限制条件下进行。

另一方面，现有的toc型oled显示器通常采用含有铟(in)、镓(ga)等昂贵稀有金属的材料来制作tft的沟道层，虽然能够提高tft的电学性能，但生产成本有待进一步降低。

技术实现要素：

本发明的目的在于提供一种toc型oled显示器的利记博彩app，能够在低于230℃的温度限制条件下制备出tft，有效降低沟道层的材料成本以及tft的设备成本，经济环保。

本发明的另一目的在于提供一种toc型oled显示器，其内tft的电学性能较好，生产成本较低。

为实现上述目的，本发明首先提供一种toc型oled显示器的利记博彩app，包括以下步骤：

步骤s1、提供衬底基板，对衬底基板进行清洗和预烘烤；

步骤s2、沉积黑色遮光薄膜，对黑色遮光薄膜进行图案化处理，形成黑色矩阵；

步骤s3、在所述黑色矩阵内依次沉积不同颜色的色阻，形成彩色滤光层；

步骤s4、在所述彩色滤光层上沉积形成平坦层；

步骤s5、在所述平坦层上沉积第一金属层，对第一金属层进行图案化处理，形成栅极；

步骤s6、在所述栅极与平坦层上沉积覆盖栅极绝缘层；

步骤s7、配置掺杂有锂的氧化锌溶液，将配置好的掺杂有锂的氧化锌溶液旋涂在栅极绝缘层上形成掺杂有锂的氧化锌涂层，然后对掺杂有锂的氧化锌涂层做退火处理，再对掺杂有锂的氧化锌涂层进行图案化处理，形成沟道层；

步骤s8、沉积刻蚀阻挡层，并对刻蚀阻挡层进行图案化处理，形成分别暴露出沟道层两侧的第一过孔、与第二过孔；

步骤s9、在所述刻蚀阻挡层上沉积第二金属层，并对第二金属层进行图案化处理，形成源极、与漏极；所述源极、漏极分别经由第一过孔、第二过孔接触沟道层的两侧；

步骤s10、在所述刻蚀阻挡层、源极、及漏极上依次制作出保护层、阳极、像素定义层、oled发光层、及阴极。

所述步骤s1中，所述衬底基板为玻璃基板。

所述步骤s3中，所述不同颜色的色阻包括红色色阻、绿色色阻、及蓝色色阻。

所述平坦层、栅极绝缘层、刻蚀阻挡层、与保护层的材料均为氧化硅、氮化硅、或二者的组合。

所述第一金属层与第二金属层的材料均为钼、钛、铝、铜中的一种或几种的堆栈组合。

所述步骤s7中，以氢氧化锂与氢氧化锌为原料来配置掺杂有锂的氧化锌溶液。

所述阳极的材料为氧化铟锡。

本发明还提供一种toc型oled显示器，通过上项toc型oled显示器的利记博彩app制得，其内的沟道层的材料为掺杂有锂的氧化锌。

本发明的有益效果：本发明提供的一种toc型oled显示器的利记博彩app，在制备出彩色滤光层后，通过旋涂掺杂有锂的氧化锌溶液形成掺杂有锂的氧化锌涂层，再对掺杂有锂的氧化锌涂层做退火处理的方式制备出tft的沟道层，制程温度可低至200℃，满足制作toc型oled显示器的温度限制条件，且操作简单，无需使用昂贵的真空设备；采用锂代替铟、镓等昂贵稀有金属掺杂在沟道层中，不仅能够提高tft的电学性能，而且材料成本低，更经济环保。本发明提供的toc型oled显示器，其内沟道层的材料为掺杂有锂的氧化锌，使得tft的电学性能较好，生产成本较低。

附图说明

为了能更进一步了解本发明的特征以及技术内容，请参阅以下有关本发明的详细说明与附图，然而附图仅提供参考与说明用，并非用来对本发明加以限制。

附图中，

图1为本发明的toc型oled显示器的利记博彩app的流程图；

图2为本发明的toc型oled显示器的剖面结构示意图。

具体实施方式

为更进一步阐述本发明所采取的技术手段及其效果，以下结合本发明的优选实施例及其附图进行详细描述。

请参阅图1，结合图2，本发明首先提供一种toc型oled显示器的利记博彩app，包括以下步骤：

步骤s1、提供衬底基板1，对衬底基板1进行清洗和预烘烤。

具体地，所述衬底基板1优选玻璃基板。

步骤s2、沉积黑色遮光薄膜，利用光罩对黑色遮光薄膜进行图案化处理，形成黑色矩阵2。

步骤s3、在所述黑色矩阵2内依次沉积不同颜色的色阻，形成彩色滤光层3。

具体地，所述不同颜色的色阻至少包括红色色阻r、绿色色阻g、及蓝色色阻b。

步骤s4、在所述彩色滤光层3上沉积形成平坦层4。

具体地，所述平坦层4的材料为氧化硅(siox)、氮化硅(sinx)、或二者的组合。

步骤s5、在所述平坦层4上沉积第一金属层，利用光罩对第一金属层进行图案化处理，形成栅极5。

具体地，所述第一金属层的材料为钼(mo)、钛(ti)、铝(al)、铜(cu)中的一种或几种的堆栈组合。

步骤s6、在所述栅极5与平坦层4上沉积覆盖栅极绝缘层6。

具体地，所述栅极绝缘层6的材料为siox、sinx、或二者的组合。

步骤s7、配置掺杂有锂(li)的氧化锌(zno)溶液，将配置好的掺杂有锂的氧化锌(li-zno)溶液旋涂在栅极绝缘层6上形成掺杂有锂的氧化锌涂层，然后对掺杂有锂的氧化锌涂层做退火处理，再利用光罩对掺杂有锂的氧化锌涂层进行图案化处理，形成沟道层7。

具体地，该步骤s7以氢氧化锂(lioh)与氢氧化锌(zn(oh)2)为原料来配置掺杂有锂的氧化锌溶液。

步骤s8、沉积刻蚀阻挡层8，并利用光罩对刻蚀阻挡层8进行图案化处理，形成分别暴露出沟道层7两侧的第一过孔81、与第二过孔82。

具体地，所述刻蚀阻挡层8的材料为siox、sinx、或二者的组合。

步骤s9、在所述刻蚀阻挡层8上沉积第二金属层，并利用光罩对第二金属层进行图案化处理，形成源极91、与漏极92。

具体地，所述第二金属层的材料亦为mo、ti、al、cu中的一种或几种的堆栈组合。

所述源极91、漏极92分别经由第一过孔81、第二过孔82接触沟道层7的两侧。

所述栅极5、栅极绝缘层6、沟道层7、源极91、及漏极92构成tft。

步骤s10、在所述刻蚀阻挡层8、源极91、及漏极92上依次制作出保护层10、阳极11、像素定义层12、oled发光层13、及阴极14。

具体地，所述保护层10的材料也为siox、sinx、或二者的组合；

所述阳极11的材料为氧化铟锡(indiumtinoxide，ito)；

所述像素定义层12的材料为有机光阻；

所述保护层10经过图案化处理而具有暴露出漏极92部分表面的第三过孔101，所述像素定义层12经过图案化处理而具有暴露出阳极11部分表面的第四过孔121，所述阳极11经由第三过孔101接触漏极92，所述oled发光层13与阴极14依次位于第四过孔121内。

上述toc型oled显示器的利记博彩app，在制备出彩色滤光层3后，通过旋涂掺杂有锂的氧化锌溶液形成掺杂有锂的氧化锌涂层，再对掺杂有锂的氧化锌涂层做退火处理的方式制备出tft的沟道层7，制程温度可低至200℃，满足制作toc型oled显示器的温度限制条件，且操作简单，无需使用昂贵的真空设备；采用锂代替铟、镓等昂贵稀有金属掺杂在沟道层7中，不仅能够提高tft的电学性能，而且材料成本低，更经济环保。

基于同一发明构思，本发明还提供一种由上述toc型oled显示器的利记博彩app制得的toc型oled显示器，如图2所示，包括衬底基板1、设在所述衬底基板1上的黑色矩阵2、填充在所述黑色矩阵2内的彩色滤光层3、覆盖所述彩色滤光层3的平坦层4、设在所述平坦层4上的栅极5、覆盖所述栅极5与平坦层4的栅极绝缘层6、于所述栅极5上方设在栅极绝缘层6上的沟道层7、覆盖所述沟道层7与栅极绝缘层6的蚀刻阻挡层8、设在所述蚀刻阻挡层8上的源极91与漏极92、覆盖所述源极91、漏极92、与蚀刻阻挡层8的保护层10、设在所述保护层10上的阳极11、设在所述阳极11上的像素定义层12、以及于所述像素定义层12内依次层叠在阳极11上的oled发光层13、与阴极14。

所述刻蚀阻挡层8具有分别暴露出沟道层7两侧的第一过孔81、与第二过孔82，所述保护层10具有暴露出漏极92部分表面的第三过孔101，所述像素定义层12具有暴露出阳极11部分表面的第四过孔121；所述源极91、漏极92分别经由第一过孔81、第二过孔82接触沟道层7的两侧；所述阳极11经由第三过孔101接触漏极92；所述oled发光层13与阴极14依次位于第四过孔121内；

所述沟道层7的材料为掺杂有锂的氧化锌，能够使得tft的电学性能较好，生产成本较低。

综上所述，本发明的toc型oled显示器的利记博彩app，在制备出彩色滤光层后，通过旋涂掺杂有锂的氧化锌溶液形成掺杂有锂的氧化锌涂层，再对掺杂有锂的氧化锌涂层做退火处理的方式制备出tft的沟道层，制程温度可低至200℃，满足制作toc型oled显示器的温度限制条件，且操作简单，无需使用昂贵的真空设备；采用锂代替铟、镓等昂贵稀有金属掺杂在沟道层中，不仅能够提高tft的电学性能，而且材料成本低，更经济环保。本发明的toc型oled显示器，其内沟道层的材料为掺杂有锂的氧化锌，使得tft的电学性能较好，生产成本较低。

以上所述，对于本领域的普通技术人员来说，可以根据本发明的技术方案和技术构思作出其他各种相应的改变和变形，而所有这些改变和变形都应属于本发明后附的权利要求的保护范围。