技术特征：
技术总结
本发明提供一种用于准确地测量离子束的角度重心的技术。角度测量装置(48)具备：狭缝(62)，供离子束入射，并且狭缝宽度方向是与朝向晶片的离子束的射束行进方向正交的方向；及多个电极体(64a～64g)，设置在射束行进方向上远离狭缝(62)的位置，并且各自具有射束测量面(65a～65g)，所述射束测量面为相对于通过狭缝(62)后的离子束暴露的区域。多个电极体(64a～64g)配置成各电极体的射束测量面在狭缝宽度方向上依次排列，并且在狭缝宽度方向上相邻的射束测量面在射束行进方向上错开。
技术研发人员：石桥和久
受保护的技术使用者：住友重机械离子技术有限公司
技术研发日：2017.03.06
技术公布日：2017.09.26