压电元件及压电元件的制造方法与流程

技术特征：
1.一种压电元件，其特征在于，具有陶瓷基板和电极，所述陶瓷基板在外表面上形成有槽，所述电极形成在所述陶瓷基板的所述外表面上，并且跨越所述槽延伸，在所述槽的底面与跨越该槽的部分的所述电极之间，形成有至少一个间隙。2.如权利要求1所述的压电元件，其特征在于，在所述电极的内部，形成有小于所述至少一个间隙的微细孔。3.如权利要求2所述的压电元件，其特征在于，跨越所述槽的部分的所述电极内的所述微细孔的体积比率，高于没有跨越所述槽的部分的所述电极内的所述微细孔的体积比率。4.如权利要求1～3中任一项所述的压电元件，其特征在于，所述电极的厚度为50nm以上且500nm以下。5.如权利要求1～3中任一项所述的压电元件，其特征在于，所述槽是在烧成所述陶瓷基板时形成在烧成面上的槽。6.如权利要求1～3中任一项所述的压电元件，其特征在于，所述槽沿着出现在所述陶瓷基板的外表面之中上表面上的晶粒的边界形成。7.如权利要求1～3中任一项所述的压电元件，其特征在于，在所述陶瓷基板的外表面中的上表面形成有槽，在相对于所述陶瓷基板的所述上表面成为相反侧的外表面的背面上形成有槽，还具有：形成在所述上表面上且跨越所述上表面的所述槽而延伸的上表面电极；以及形成在所述背面上且跨越所述背面的所述槽而延伸的背面电极，在所述上表面的所述槽的底面与跨越该槽的部分的所述上表面电极之间，形成有至少一个间隙，并且，在所述背面的所述槽的底面与跨越该槽的部分的所述背面电极之间，形成有至少一个间隙。8.如权利要求1～3中任一项所述的压电元件，其特征在于，所述槽通过机械加工形成。9.一种驱动器，其特征在于，利用权利要求1～3中任一项所述的压电元件的d31方向的形变。10.一种压电元件的制造方法，其特征在于，包括：在形成有槽的陶瓷基板的外表面上，形成跨越所述槽而延伸的电极的工序；以及通过加热所述陶瓷基板，使所述电极从所述槽的底面剥离从而形成至少一个间隙的工序。11.如权利要求10所述的压电元件的制造方法，其特征在于，在所述陶瓷基板的外表面中的上表面和相对于所述上表面成为相反侧的外表面的背面上都形成有槽，在形成所述电极的工序中，在所述上表面上形成跨越所述上表面的所述槽而延伸的上表面电极，并且，在所述背面上形成跨越所述背面的所述槽而延伸的背面电极，在所述剥离的工序中，通过加热所述陶瓷基板，使所述上表面电极从所述上表面的所述槽的底面剥离，并且，使所述背面电极从所述背面的所述槽的底面剥离。