一种日志文件查询系统及查询方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及半导体生产工艺管控技术领域，尤其涉及一种日志文件查询系统及查询方法。
【背景技术】
[0002]在现代的半导体生产工艺中，生产工艺自动化已经成为不可或缺的一部分，如何完善生产工艺自动化也是半导体生产工艺今后发展的重中之重，而生产工艺自动化的重点在于设备自动化系统(Equipment Automat1n Program, ΕΑΡ)的开发与应用。ΕΑΡ系统可以适用于控制工作中的半导体生产设备，也可以用于收集半导体生产工艺中产生的生产信息。半导体生产工艺中产生的生产信息往往会反映一些生产工艺中产生的问题，这些问题会以日志文件的形式保存在对应的半导体生产设备中。ΕΑΡ系统可以通过查看日志文件的形式发现生产工艺中的问题，并进行解决。现有技术中，由于半导体生产工艺中产生的问题往往具有临时性和紧急性的特点，而传统的通过ΕΑΡ系统查看生产设备的日志文件，并根据日志文件进行开发和维护的过程中，ΕΑΡ系统的故障排除机制(trouble shooting)占了将近30%的比重。即现有的解决问题的方法在于由ΕΑΡ工程师查看对应半导体生产设备的日志文件，并通过日志文件来追查问题发生的原因，从而拟定相应的解决方案。但是，ΕΑΡ系统中的日志文件适用于实时记载半导体生产设备上的晶圆片的生产信息，因此大部分日志文件中均存在着生产信息交叉的现象。这就需要ΕΑΡ工程师通过一些必要的关键信息来对大量的日志文件中包含的生产信息进行筛选，以找到有用的生产信息，同时过滤掉其他生产信息，这就形成了一种不断跳跃着查看日志文件的过程(即只查看日志文件中有用的那部分生产信息)。同时，依据日志文件中记录的事件类型的不同，可以把ΕΑΡ系统中保存的日志文件分为多种格式，例如用于在显示屏上提示生产和显示生产过程的ΕΑΡ界面日志(⑶I Log)、用于记录ΕΑΡ系统中的交互信息的ΕΑΡ跟踪日志(TRACE Log)以及用于记录ΕΑΡ和半导体生产设备之间的通信信息的ΕΑΡ通信日志(SECS Log)等，ΕΑΡ工程师需要在查询生产信息的时候同时对不同日志类型的日志文件中包括的生产信息进行过滤，这些跳跃查看日志文件以及同时过滤不同类型的日志文件的过程于真正的提出解决方案的步骤关系并不是很密切，却浪费了大量的人力资源和查询时间，同时由于在查询期间，发生问题的半导体生产设备已经停止工作，因此也增加了半导体生产设备的空闲时间，降低了半导体生产工艺的效率。
【发明内容】
[0003]根据现有技术中存在的问题，包括:
[0004]1)在查看ΕΑΡ系统中的日志文件时，需要先过滤掉日志文件中的不相关的生产信息，并且需要同时过滤多种类型的日志文件，从而导致提出解决方案之前的查询时间过长;
[0005]2)由于需要过滤的日志文件数量较多，从而浪费过多的人力资源；
[0006]3)查询时间过长导致的出现问题的半导体生产设备的空闲时间过长，进而导致整个半导体生产工艺的生产效率较低。
[0007]现提供一种日志文件查询系统及日志文件查询方法的技术方案，具体包括:
[0008]一种日志文件查询系统，适用于半导体生产工艺中的设备自动化系统中；其中，连接外部的多个半导体生产设备，所述半导体生产设备用于保存记载晶圆片的生产事件的日志文件，每个所述日志文件中包括对应的头文件信息；
[0009]所述日志文件查询系统包括:
[0010]通信单元，所述日志文件查询系统通过所述通信单元与多个所述半导体生产设备进行交互通信；
[0011]输入单元，供使用者输入关键字信息；
[0012]第一查询单元，分别连接所述输入单元和所述通信单元，用于根据所述关键字信息锁定保存于所述半导体生产设备中的所述日志文件；
[0013]第二查询单元，分别连接所述第一查询单元、所述输入单元和所述通信单元，用以将所述关键字信息与被锁定的所述日志文件的头文件信息进行匹配，以及查询并提取保存于所述半导体生产设备中的所有所述头文件信息中包括匹配成功的所述关键字信息的日志文件；
[0014]输出单元，连接所述第二查询单元，用于输出所述第二查询单元提取的所述日志文件。
[0015]优选的，该日志文件查询系统，其中，所述关键字信息包括第一关键字信息和第二关键字信息；
[0016]所述第一关键字信息的信息类型包括半导体生产设备信息、日志查询时间信息以及日志类型信息；
[0017]所述第二关键字信息的信息类型包括日志生成时间信息、日志类别信息、日志关联信息、设备索引信息、日志所属单元信息以及日志指向信息。
[0018]优选的，该日志文件查询系统，其中，所述日志文件查询系统还包括一信息区分单元，分别连接于所述输入单元与所述第一查询单元之间，以及所述输入单元与所述第二查询单元之间，用于读取所述输入单元发送的所述关键字信息，并将所述关键字信息中包括的所述第一关键字信息送入所述第一查询单元，将所述关键字信息中包括的所述第二关键字信息送入所述第二查询单元。
[0019]优选的，该日志文件查询系统，其中，所述第二查询单元还包括:
[0020]判断模块，用于判断所述输入单元输入的内容是否包括所述第二关键字信息；
[0021]解析模块，用于对被所述第一查询单元锁定的所述日志文件的所述头文件信息进行解析；
[0022]匹配模块，连接所述解析模块，用于将所述第二关键字信息和由所述解析模块解析出的所述头文件信息进行匹配，以得到匹配于所述第二关键字信息的所述头文件信息中的相应的字段信息；
[0023]查询模块，连接所述匹配模块，用于根据所述匹配模块处理得到的所述字段信息，查询并提取保存于所述半导体生产设备中的所有所述头文件信息中包括所述字段信息的所述日志文件，并将提取到的所述日志文件发送至所述输出单元。
[0024]优选的，该日志文件查询系统，其中，还包括一日志显示单元，连接所述输出单元，用于显示所述输出单元输出的所述日志文件。
[0025]优选的，该日志文件查询系统，其中，还包括:
[0026]日志访问单元，分别连接所述输出单元和所述日志显示单元，并通过所述通信单元连接所述半导体生产设备；所述日志访问单元通过所述通信单元访问所述输出单元输出的所述日志文件对应的所述半导体生产设备，并将访问结果通过所述日志显示单元显示。
[0027]—种日志文件查询方法，适用于半导体生产工艺中的设备自动化系统中；其中，包括一日志文件查询系统，所述日志文件查询系统连接所述半导体生产设备，所述半导体生产设备用于保存描述晶圆片的生产过程的日志文件，每个所述日志文件中包括对应的头文件信息；
[0028]所述日志文件查询方法具体包括:
[0029]步骤1，获取关键字/[目息；
[0030]步骤2，所述日志文件查询系统根据所述关键字信息锁定保存于所述半导体生产设备上的所述日志文件；
[0031]步骤3，所述日志文件查询系统将所述关键字信息与被锁定的所述日志文件的头文件信息进行匹配，以处理得到匹配于所述关键字信息的所述头文件信息中的相应的字段信息；
[0032]步骤4，所述日志文件查询系统查询并提取保存于所述半导体生产设备中的所有所述头文件信息中包括所述字段信息的所述日志文件；
[0033]步骤5，所述日志文件查询系统显示被提取的所述日志文件。
[0034]优选的，该日志文件查询方法，其中，所述关键字信息中包括第一关键字信息和第二关键字信息；
[0035]第一关键字信息的信息类型包括半导体生产设备信息、日志生成时间信息以及日志类型信息；
[0036]第二关键字信息的信息类型包括日志生成时间信息、日志类别信息、日志关联信息、设备索引信息、日志所属单元信息以及日志指向信息；
[0037]所述步骤2中，所述日志文件查询系统根据所述第一关键字信息锁定保存于所述半导体生产设备上的所述日志文件；
[0038]所述步骤3中，所述日志文件查询系统将所述第二关键字信息与被锁定的所述日志文件的头文件信息进行匹配，以处理得到匹配于所述关键字信息的所述头文件信息中的字段?目息。
[0039]优选的，该日志文件查询方法，其中，所述步骤2具体包括:
[0040]步骤21，所述日志文件查询系统锁定对应所述半导体生产设备信息的所述半导体生产设备；
[0041]步骤22，所述日志文件查询系统锁定对应所述日志文件查询时间的所述日志文件;
[0042]步骤23，所述日志文件查询系统锁定对应所述日志类型信息确定的所述日志文件。
[0043]优选的，该日志文件查询方法，其中，所述步骤3具体包括:
[0044]步骤31，所述日志文件查询系统判断是否获取所述第二关键字信息；
[0045]若已经获取所述第二关键字信息，则转至步骤32 ；
[0046]若未获取所述第二关键字信息，则转至步骤33 ；
[0047]步骤32，所述日志文件查询系统判断被锁定