生产系统的控制方法及装置的制造方法
【技术领域】
[0001] 本发明涉及半导体制造领域，具体而言，涉及一种生产系统的控制方法及装置。
【背景技术】
[0002] 在半导体制造过程中，由于生产工艺和过程极其复杂，每一批次的产品在生产过 程中都要经过不同的系统，执行许多不同的生产步骤。然而，在当前的生产线上，每一批次 的产品执行不同步骤中的不同动作时，或多或少都存在浪费时间的现象。而现有技术中对 生产步骤所使用时间的统计数据分散于多个系统中，不能直观可见，进而不能进行有效地 数据分析以避免浪费生产时间，因而导致延长了生产的生命周期，并降低了生产系统的生 产效率。
[0003] 针对上述的问题，目前尚未提出有效的解决方案。
【发明内容】
[0004] 本发明实施例提供了一种生产系统的控制方法及装置，以至少解决由于统计的时 间信息分散于多个系统中，不能有效地统计生产浪费的时间，导致生产系统的生产效率降 低的技术问题。
[0005] 根据本发明实施例的一个方面，提供了一种生产系统的控制方法，包括：获取生产 现场中每批待生产产品在各个生产步骤中所执行的事件的时间信息；根据时间信息计算每 批待生产产品执行相同的事件的平均执行时间，和/或，计算事件的平均执行时间与生产 系统的生命周期的比值，其中，生命周期为生产系统中所有事件的执行时间的总和；根据平 均执行时间和/或比值调整对生产系统的控制。
[0006] 可选地，获取生产现场中每批待生产产品在各个生产步骤中所执行的事件的时间 信息之前，包括：将每批待生产产品的各个生产步骤拆分成多个事件，其中，每个事件标识 每批待生产产品在生产步骤中所执行的单个操作，事件包括动作事件及等待事件。
[0007] 可选地，根据时间信息计算每批待生产产品执行相同的事件的平均执行时间，和/ 或，计算事件的平均执行时间与生产系统的生命周期的比值包括：计算得出等待事件及动 作事件的平均执行时间，和/或分别计算等待事件的平均执行时间与生命周期的第一比值 及动作事件的平均执行时间与生命周期的第二比值。
[0008] 可选地，根据平均执行时间和/或比值调整对生产系统的控制包括：判断等待事 件的平均执行时间是否大于第一预定阈值；若判断出等待事件的平均执行时间大于第一预 定阈值，则指示减小每批待生产产品执行等待事件的执行时间；或者，判断动作事件的平 均执行时间是否大于第二预定阈值；若判断出动作事件的平均执行时间大于第二预定阈 值，则指示调整每批待生产产品执行动作事件时的执行路径，以减小每批待生产产品执行 动作事件的执行时间。
[0009] 可选地，根据平均执行时间和/或比值调整对生产系统的控制包括：判断等待事 件的平均执行时间与生命周期的第一比值是否大于第三预定阈值；若判断出等待事件的平 均执行时间与生命周期的第一比值大于第三预定阈值，则指示减小每批待生产产品执行等 待事件的执行时间；或者，判断动作事件的平均执行时间与生命周期的第二比值是否大于 第四预定阈值；若判断出动作事件的平均执行时间与生命周期的第二比值大于第四预定阈 值，则指示调整每批待生产产品执行动作事件时的执行路径，以减小每批待生产产品执行 动作事件的执行时间。
[0010] 可选地，根据平均执行时间和/或比值调整对生产系统的控制包括：若判断出等 待事件的平均执行时间大于第五预定阈值且等待事件的平均执行时间与生命周期的第一 比值大于第六预定阈值，则指示减小每批待生产产品执行等待事件的执行时间；或者，若判 断出动作事件的平均执行时间大于第七预定阈值且动作事件的平均执行时间与生命周期 的第二比值大于第八预定阈值，则指示调整每批待生产产品执行动作事件时的执行路径， 以减小每批待生产产品执行动作事件的执行时间。
[0011] 根据本发明实施例的另一方面，还提供了一种生产系统的控制装置，包括：获取单 元，用于获取生产现场中每批待生产产品在各个生产步骤中所执行的事件的时间信息；计 算单元，用于根据时间信息计算每批待生产产品执行相同的事件的平均执行时间，和/或， 计算事件的平均执行时间与生产系统的生命周期的比值，其中，生命周期为生产系统中所 有事件的执行时间的总和；调整单元，用于根据平均执行时间和/或比值调整对生产系统 的控制。
[0012] 可选地，该装置还包括：拆分单元，用于将每批待生产产品的各个生产步骤拆分成 多个事件，其中，每个事件标识每批待生产产品在生产步骤中所执行的单个操作，事件包括 动作事件及等待事件。
[0013] 可选地，计算单元包括：第一计算模块，用于计算得出等待事件及动作事件的平均 执行时间；和/或第二计算模块，用于分别计算等待事件的平均执行时间与生命周期的第 一比值及动作事件的平均执行时间与生命周期的第二比值。
[0014] 可选地，调整单元包括：第一判断模块，用于判断等待事件的平均执行时间是否大 于第一预定阈值；第一指示模块，用于在判断出等待事件的平均执行时间大于第一预定阈 值时，指示减小每批待生产产品执行等待事件的执行时间；或者第二判断模块，用于判断 动作事件的平均执行时间是否大于第二预定阈值；第二指示模块，用于在判断出动作事件 的平均执行时间大于第二预定阈值时，指示调整每批待生产产品执行动作事件时的执行路 径，以减小每批待生产产品执行动作事件的执行时间。
[0015] 可选地，调整单元包括：第三判断模块，用于判断等待事件的平均执行时间与生命 周期的第一比值是否大于第三预定阈值；第三指示模块，用于在判断出等待事件的平均执 行时间与生命周期的第一比值大于第三预定阈值时，指示减小每批待生产产品执行等待 事件的执行时间；或者第四判断模块，用于判断动作事件的平均执行时间与生命周期的第 二比值是否大于第四预定阈值；第四指示模块，用于在判断出动作事件的平均执行时间与 生命周期的第二比值大于第四预定阈值时，指示调整每批待生产产品执行动作事件时的执 行路径，以减小每批待生产产品执行动作事件的执行时间。
[0016] 可选地，调整单元包括：第五判断模块，用于判断等待事件的平均执行时间是否大 于第五预定阈值且等待事件的平均执行时间与生命周期的第一比值是否大于第六预定阈 值；第五指示模块，用于在判断出等待事件的平均执行时间大于第五预定阈值且等待事件 的平均执行时间与生命周期的第一比值大于第六预定阈值时，指示减小每批待生产产品执 行等待事件的执行时间；或者第六判断模块，用于判断动作事件的平均执行时间是否大于 第七预定阈值且动作事件的平均执行时间与生命周期的第二比值是否大于第八预定阈值； 第六指示模块，用于在判断出动作事件的平均执行时间大于第七预定阈值且动作事件的平 均执行时间与生命周期的第二比值大于第八预定阈值时，指示调整每批待生产产品执行动 作事件时的执行路径，以减小每批待生产产品执行动作事件的执行时间。
[0017] 在本发明实施例中，通过获取每批待生产产品在生产系统中各个生产步骤所执行 的事件的时间信息，得到执行相同事件的平均执行时间，和/或，计算事件的平均执行时间 与生产系统的生命周期的比值，进而根据上述计算结果调整对生产系统的控制，实现了将 生产系统中的各个生产步骤拆分成更小单位的事件，通过调整各个事件的执行时间，从而 实现对生产系统的控制，达到了缩短生产系统的生产周期，进而提高生产系统的生产效率 的技术效果，进而解决了由于统计的时间信息分散于多个系统中，不能有效地统计生产浪 费的时间，导致生产系统的生产效率降低的技术问题。
【附图说明】
[0018] 此处所说明的附图用来提供对本发明的进一步理解，构成本申请的一部分，本发 明的示意性实施例及其说明用于解释本发明，并不构成对本发明的不当限定。在附图中：
[0019] 图1是根据本发明实施例的一种可选的生产系统的控制方法的流程图；
[0020] 图2是根据本发明实施例的一种可选的生产系统的生产过程的示意图；
[0021] 图3是根据本发明实施例的另一种可选的生产系统的控制方法的流程图；
[0022] 图4是根据本发明实施例的另一种可选的生产系统中所执行的事件的示意图；
[0023] 图5是根据本发明实施例的一种可选的生产系统控制装置的示意图；以及
[0024] 图6是根据本发明实施例的另一种可选的生产系统控制装置的示意图。
【具体实施方式】
[0025] 下文中将参考附图并结合实施例来详细说明本发明。需要说明的是，在不冲突的 情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。
[0026] 实施例1
[0027] 根据本发明实施例，提供了一种生产系统的控制方法，如图1所示，该方法包括：
[0028] S102,获取生产现场中每批待生产产品在各个生产步骤中所执行的事件的时间信 息；
[0029] 可选地，在本实施例中上述情景可以应用于半导体芯片的生产过程中，例如，如 图2所示，半导体芯片生产系统的生产过程包括：天车系统的传输步骤，跑货系统的监控步 骤，机台系统的处理步骤，上述举例只是一种示例，本申请对此不作限定。
[0030] 可选地，在本实施例中所执行的事件可以为但不限于：每批待生产产品在生产步 骤中所执行的单个操作，例如，在天车系统的传输步骤中的举起、搬动、吞入到货架，由货架 吐出。可选地，在本实施例中的时间信息包括但不限于：事件的起始时间、事件的终止时间。
[0031] 例如，将产品由货架Stockerl传输到货架Stocker2,上述过程中包括以下事 件：搬起产品到货架Stockerl的入口 MI，在货架Stockerl上传输，由货架Stockerl的 出口 MO搬走，天车传输，放置到货架Stocker2的入口 TI,其中，事件"搬起产品到货架 Stockerl的入口 MI "的时间信息包括以下内容：起始时间为2013-8-1619:31:26,终止时间 为 2013-8