一种适应不同电位的电机控制系统的利记博彩app

本发明涉及一种适应不同电位的电机控制系统，特别涉及离子注入机中各种电极和光栏运动控制技术，属于半导体装备制造领域。

背景技术：

随着半导体行业的迅猛发展，半导体设备对工艺的要求也越来越高，离子注入机的束流传输效率高和束流品质好是满足注入工艺的基本要求，在离子注入机的光路系统中，电极和光栏的位置精确度，重复性和稳定性对束流的传输效率和束流品质起着非常重要的作用。当前国内外主流机型的电极和光栏都是通过电机来控制，然而在实际调束过程中，电极和光栏位置需根据不同能量、不同质量、不同电荷态的离子进行调节。由于电极和光栏分布离子注入机的不同电位，干扰信号较强，而且不同电极和光栏，其结构装置和加工精细度不同，导致经常出现负载过大无法控制，或负载过少异常时出现损坏部件的现象。

技术实现要素：

针对上述情况，本发明介绍了一种适应不同电位的电机控制系统。

本发明通过以下技术方案实现：

一种适应不同电位的电机控制系统包括光纤控制单元(1)、PID控制单元(2)、驱动器(3)、被控电机(4)和直线电位器(5)，其中光纤控制单元(1)与PID控制单元(2)相连，驱动器(3)分别与PID控制单元(2)和被控电机(4)相连，同时直线电位器(5)与PID控制单元(2)相连且受控于PID控制单元(2)。其相互连结情况见图1

所述光纤控制单元(1)通过光纤接收光纤信号，并通过普通电缆相连与PID控制单元(2)，传输模拟信号及开关信号。

所述驱动器(3)和直线电位器(5)同时与PID控制单元(2)相连，且受控于PID控制单元。

本发明具有如下显著优点：

1、解决了负载过大无法控制或负载过少异常时损坏部件的问题；

2、结构简单、成本低、抗干扰能力强。

附图说明

下面结合附图和具体实施例对本发明作进一步介绍，但不作为对本发明专利的限定。

图1是一种适应不同电位的电机控制系统的结构框图。

图2是说明例示性光纤控制单元的结构框图。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施例对本发明作进一步的介绍，但不作为本发明的限定。

图1所示为一种适应不同电位的电机控制系统的结构框图，一种适应不同电位的电机控制系统包括光纤控制单元(1)、PID控制单元(2)、驱动器(3)、被控电机(4)和直线电位器(5)，其中光纤控制单元(1)与PID控制单元(2)相连，驱动器(3)分别与PID控制单元(2)和被控电机(4)相连，同时直线电位器(5)与PID控制单元(2)相连。

在该实施方式中，光纤控制单元(1)结构如图2所示，通过将光纤信号转换为数字信号，然后传送到单片机，单片机通过识别地址编码来判断是否接收命令。当确定接收命令后，单片机通过D/A控制电路将命令中要求的数字信号转换为电压信号，根据参考电压的选择，输出给电源0～5V或0～10V的驱动电压。当主控制器发送采集电压信号时，单片机通过A/D控制电路与外部电 源信号连接，将采集的电压信号转换为数字信号。

在该实施方式中，所述驱动器(3)采用COPLEY驱动器MODEL 503，其持续电流为5A，峰值电流为10A，并具有短路、过压、欠压、过流保护功能；被控电机(4)为采用工作电压为正15v的maxon伺服电机；直线电位器(5)为行程为20mm的直线电位器。

在该实施方式中，当上位机通过光纤将位置信号发送给光纤控制单元，经光纤控制单元处理成0-10V的设置信号，0-10V的设置电压与直线电位器采集到的0-10V的反馈电压以及经驱动器反馈的电流信号经PID控制单元处理后的信号，当设置电压大于反馈电压时，此时经PID控制单元处理后得到的差值电压为负值，经COPLEY驱动器MODEL 503输出给maxon伺服电机，使电机将朝某个方向旋转，当电机旋转过程中，安装在转轴上的直线电位器也随之旋转，反馈电压随之增加，当设置电压与直线电位器反馈电压几乎相等时，PID控制单元输出的差值电压也变为零，从而COPLEY驱动器MODEL 503驱动器的设置电压也为零，电机停止运动，此时，电机位置被稳定在目标值；相反，当输出的设置电压小于反馈电压时，PID控制单元输出的差值电压反相，COPLEY驱动器MODEL 503的控制电压也随之反相，电机将朝相反的方向运动，最终稳定在目标位置。在工作过程中，如采集到的负载电流值超过设定的保护值时，启动COPLEY驱动器MODEL 503过流保护功能同时，PID控制单元将驱动器反馈的电流信号处理后关断驱动器.电机迅速停止运动.确保系统的工作在安全可靠状态下。

本实专利的特定实施例已对本专利的内容做了详尽说明。对本领域一般技术人员而言，在不背离本专利精神的前提下对它所做的任何显而易见的改动，都构成对本专利的侵犯，将承担相应的法律责任。