用于检查对象的系统的利记博彩app
【专利说明】用于检查对象的系统
[0001]相关申请
[0002]本申请要求于2014年12月18日提交的美国临时专利62/093,457的的优先权，其通过引用并入本文。
技术领域
[0003]本实用新型涉及但不限于用于检查对象的系统。
【背景技术】
[0004]在包括诸如其铜信号线具有梯形状轮廓的PCB层的具有成角度的表面的部分的、诸如PCB-s、半导体晶片、电子基底等等的不平坦的基底中，现有技术的方法的检查系统未被布置为从所有表面角收集镜面反射。
[0005]此外，分析反射偏振状态的已知方法中的一些仅在入射角显著不同于法向夹角时有效。因此，平行于成像轴和垂直于所检查的平板的明场或同轴光是不可用的。
[0006]因此，在检查非平坦基底的背景中，存在对提供以下系统和方法的需要:允许对来自宽范围的表面角的镜面反射的收集，并使得入射角不是法向夹角，但作为可能的示例中的一个，其可以相当接近Brewster角。
【实用新型内容】
[0007]根据本实用新型的实施例，可提供一种系统和一种方法。
[0008]该系统用于检查对象并可包括摄像机;聚焦透镜；分束器，其可包括第一区域、第二区域和可定位于该分束器的第一区域和第二区域之间的第三区域;物镜，其可包括第一区域、第二区域和可定位于该物镜的第一区域和第二区域之间的第三区域；明场照明模块，其被配置为用明场光束照射分束器的第一区域;其中分束器的第一区域可被配置为将明场光束导向物镜的第一区域;其中物镜的第一区域可被配置为将明场光束导向对象的区域以便以第一角度范围照射到对象的区域;暗场照明模块，其可被配置为用暗场光束以不同于第一角度范围的第二角度范围照射对象的区域;其中，该物镜可被配置为从对象的区域接收来自明场光束和暗场光束射出的至少一个光束的至少一个镜面反射;其中该物镜可被配置为将至少一个镜面反射导向聚焦透镜;其中聚焦透镜可被配置为将至少一个镜面反射聚焦到摄像机上。
[0009]当对象的区域可包括具有第一定向的区时，物镜可被配置为接收明场光束的镜面反射;并且其中，当对象的区域可包括具有不同于第一定向的第二定向的区时，物镜可被配置为接收暗场光束的镜面反射。
[0010]明场照明模块可被配置为随着时间的流逝而改变暗场光束的相位和偏振中的至少一个。
[0011]暗场照明模块可被配置为随着时间的流逝而改变暗场光束的相位和偏振中的至少一个。
[0012]系统可包括用于控制由摄像机感测的光的相位和偏振中的至少一个的收集路径相位和偏振控制模块。
[0013]摄像机可被配置为控制由摄像机感测的光的相位和偏振中的至少一个。
[0014]明场照明模块可包括明场光源，其之后可以是阻挡元件。
[0015]阻挡元件可具有环形形状或任何其它形状。
[0016]明场照明模块可被配置为用第二明场光束照射分束器的第二区域;其中分束器的第二区域可被配置为将第二明场光束导向物镜的第二区域;其中物镜的第二区域可被配置为将第二明场光束导向对象以便以不同于第一角度范围和第二角度范围的第三角度范围照射到对象上。
[0017]暗场照明模块可包括暗场光源和反射镜;并且其中，反射镜可被配置为从暗场光源接收暗场光束并将暗场光束导向对象。
[0018]反射镜可被定位在物镜和对象之间。
[0019]明场照明模块可被配置为用第四明场光束照射分束器的第五区域;其中分束器的第五区域可被配置为将第四明场光束导向物镜的第五区域;其中物镜的第五区域可被配置为将第四明场光束导向对象。
[0020]系统可包括可被定位在摄像机和分束器之间的第二附加的透镜。
[0021]明场照明模块可包括可被定位在明场照明模块的明场光源的焦平面处的阻挡元件。
[0022]暗场照明模块的光轴可被定向到明场照明模块的光轴。
[0023]暗场照明模块可被配置为(a)控制第二暗场光束的相位和偏振，以及(b)用第二暗场光束照射对象;并且其中物镜的第三区域可被配置为将第二暗场光束的漫反射导向物镜的第三区域。
[0024]方法可用于检查对象，方法可包括由明场照明模块用明场光束照射分束器的第一区域；由分束器的第一区域将明场光束导向物镜的第一区域；由物镜的第一区域引导可被配置为将明场光束导向对象的区域以便以第一角度范围照射到对象的区域上；由暗场照明模块用暗场光束以不同于第一角度范围的第二角度范围照射对象的区域；由物镜并且从对象的区域接收来自明场光束和暗场光束射出的至少一个光束的至少一个镜面反射；由物镜将至少一个镜面反射导向聚焦透镜；以及由聚焦透镜将至少一个镜面反射聚焦到摄像机上。
[0025]方法可包括当对象的区域可包括具有第一定向的区时，由物镜接收明场光束的镜面反射;并且，当对象的区域可包括具有不同于第一定向的第二定向的区时，由物镜接收暗场光束的镜面反射。
[0026]方法可包括随着时间的流逝而改变明场光束的相位和偏振中的至少一个。
[0027]方法可包括随着时间的流逝而改变暗场光束的相位和偏振中的至少一个。
[0028]方法可包括由收集路径相位和偏振控制模块控制由摄像机感测的光的相位和偏振中的至少一个。
[0029 ]方法可包括由摄像机控制由摄像机感测的光的相位和偏振中的至少一个。
[0030]明场照明模块可包括之后可跟着阻挡元件的明场光源。
[0031]阻挡元件可具有环形形状。
[0032]方法可包括由明场照明模块用第二明场光束照射分束器的第二区域；由分束器的第二区域将第二明场光束导向物镜的第二区域；由物镜的第二区域将第二明场光束导向对象以便以不同于第一角度范围和第二角度范围的第三角度范围照射到对象上。
[0033]暗场照明模块可包括暗场光源和反射镜;并且其中，方法可包括由反射镜并从暗场光源接收暗场光束；以及由反射镜将暗场光束导向对象。
[0034]反射镜可被定位在物镜和对象之间。
[0035]方法可包括由明场照明模块用第四明场光束照射分束器的第五区域；由分束器的第五区域将第四明场光束导向物镜的第五区域；以及由物镜的第五区域将第四明场光束导向对象。
[0036]系统可包括可被定位在摄像机和分束器之间的第二附加的透镜。
[0037]明场照明模块可包括可被定位在明场照明模块的明场光源的焦平面处的阻挡元件。
[0038]暗场照明模块的光轴可被定向到明场照明模块的光轴。
[0039]方法可包括由暗场照明模块控制第二暗场光束的相位和偏振;用第二暗场光束照射对象;并且由物镜的第三区域将第二暗场光束的漫反射导向物镜的第三区域。
【附图说明】
[0040]本实用新型将根据结合了附图的以下详细的描述得到更充分的理解和认识，其中
[0041]图1A示出了根据本实用新型的实施例的系统；
[0042]图1B示出了根据本实用新型的实施例的系统；
[0043]图1C示出了根据本实用新型的实施例的系统；
[0044]图2示出了根据本实用新型的实施例的系统；
[0045]图3示出了根据本实用新型的实施例的系统；
[0046]图4示出了根据本实用新型的实施例的图3的系统的一部分；
[0047]图5示出了根据本实用新型的实施例的系统；以及
[0048]图6示出了根据本实用新型的实施例的方法；
【具体实施方式】
[0049]因为实现本实用新型