物理量传感器元件、物理量传感器、电子设备以及移动体的利记博彩app
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种物理量传感器元件、物理量传感器、电子设备以及移动体。
【背景技术】
[0002]近年来，作为使用了娃MEMS(MicroElectro Mechanical System:微机电系统)技术的物理量传感器元件，例如已知有一种对角速度进行检测的静电电容型的陀螺传感器元件(角速度传感器)(例如，参照专利文献1)。
[0003]例如，专利文献1所涉及的角速度传感器具有:支承固定部；第一振动体(驱动部)，其经由第一支承梁从而相对于支承固定部而被支承；第二振动体(检测部)，其经由第二支承梁从而相对于第一振动体而被支承。在该角速度传感器中，使包括第一振动体以及第二振动体在内的负载振动体在X轴方向上进行振动(驱动振动)。在该驱动振动时，如果作用有围绕穿过负载振动体的中心的Z轴的角速度，则负载振动体将进行旋转，并通过科里奥利力而使其在Y轴方向上也进行振动(检测振动)。随着该检测振动，而使被设置于第二振动体上的梳齿电极与被固定配置的梳齿电极之间的静电电容产生变化，根据该静电电容从而求出旋转角速度。
[0004]但是，在专利文献1所涉及的角速度传感器中，由于进行检测振动的第二振动体经由第二支承梁而被进行驱动振动的第一振动体支承，因此在产生了与所需的驱动振动不同方向的无用振动的情况下，无用振动也会从第一振动体经由第二支承梁而向第二振动体传递，其结果为，导致检测精度降低的问题。例如，虽然第一支承梁的截面形状例如原本理想的情况下应成为矩形，但存在由于加工误差而偏离于理想的形状成为平行四边形、梯形的情况。在这种情况下，即使欲使第一振动体在X轴方向上进行驱动振动，第一振动体的振动也将由于第一支承梁的截面形状的影响而不仅含有作为所需的驱动振动的方向的X轴方向上的振动成分，而且还含有成为无用振动的Z轴方向上的振动成分。由于该无用振动也会传递到第二振动体上，因此将产生振动泄漏，其结果为，导致检测精度的下降。
[0005]本发明的目的在于，提供一种具有优异的检测精度的物理量传感器元件，而且还提供一种具备所涉及的物理量传感器元件的物理量传感器、电子设备以及移动体。
[0006]专利文献1:日本特开2000-337884号公报
【发明内容】
[0007]本发明是为了解决上述课题的至少一部分而完成的发明，并且能够作为以下的方式或应用例而实现。
[0008]应用例1
[0009]本发明的物理量传感器元件的特征在于，具备:驱动部，其在沿着与基准面正交的第一轴的第一方向上进行振动；检测部，其利用作用于所述驱动部上的惯性力而在沿着所述基准面内的第二轴的第二方向上进行振动；第一梁部，其对所述驱动部和所述检测部进行连接；固定部；第二梁部，其对所述检测部和所述固定部进行连接；所述第一梁部的所述第一方向上的弹簧常数小于所述第二梁部的所述第一方向上的弹簧常数，所述第二梁部的所述第一方向上的弹簧常数大于所述第二梁部的所述第二方向上的弹簧常数。
[0010]根据这种物理量传感器元件，由于在作为驱动部的驱动振动的方向的第一方向上第一梁部与第二梁部相比而容易产生弯曲变形，因此能够减少驱动部的驱动振动向检测部传递的情况，并且能够有效地使驱动部进行驱动振动。此外，即使在第一梁部的横截面形状为例如矩形以外的形状的平行四边形或梯形的情况下，由于在驱动部上产生的无用振动的方向为沿着在基准面内与第二轴正交的第三轴的方向，因此即使在无用振动从驱动部传递至检测部的情况下，其对检测部的检测振动产生的影响也较少，从而能够减少检测误差的产生。而且，由于在作为检测部的检测振动的方向的第二方向上第二梁部容易产生弯曲变形，因此能够有效率地使检测部进行检测振动。根据以上情况，从而本发明的物理量传感器元件具有优异的检测精度。
[0011]应用例2
[0012]在本发明的物理量传感器元件中，优选为，在将所述第一梁部的所述第一方向上的弹簧常数设为klz、将所述第二梁部的所述第一方向上的弹簧常数设为k2z时，满足klz/k2z ( 1/10的关系。
[0013]由此，能够有效地使驱动部进行驱动振动。此外，能够有效果地减少驱动部的驱动振动向检测部的传递。
[0014]应用例3
[0015]在本发明的物理量传感器元件中，优选为，所述第一梁部的长度长于所述第二梁部的长度。
[0016]由此，能够通过比较简单的结构而使第一梁部的第一方向上的弹簧常数小于第二梁部的第一方向上的弹簧常数。
[0017]应用例4
[0018]本发明的物理量传感器元件中，优选为，所述第一梁部具有在从所述第一方向进行俯视观察时蜿蜒延伸的部分。
[0019]由此，能够有效果地减小第一梁部的第一方向上的弹簧常数。此外，能够有效地配置第一梁部，其结果为，也能够实现物理量传感器元件的小型化。
[0020]应用例5
[0021]在本发明的物理量传感器元件中，优选为，所述第一梁部包括沿着所述第二轴而延伸的第一部分、和沿着在所述基准面内与所述第二轴正交的第三轴而延伸的第二部分，所述第一部分的长度长于所述第二部分的长度。
[0022]由此，能够更有效率地配置第一梁部。此外，通过第二部分的随着第一部分的弯曲变形以及扭曲变形的倾斜，从而能够放大驱动部的驱动振动的振幅(在第一方向上的位移
[0023]应用例6
[0024]在本发明的物理量传感器元件中，优选为，所述第一梁部的厚度与所述第二梁部的厚度相比而较薄。
[0025]由此，能够通过比较简单的结构而使第一梁部的第一方向上的弹簧常数小于第二梁部在第一方向的的弹簧常数。
[0026]应用例7
[0027]在本发明的物理量传感器元件中，优选为，所述第二梁部的宽度小于厚度。
[0028]由此，能够通过比较简单的结构而使第二梁部的第二方向上的弹簧常数小于第二梁部的第一方向上的弹簧常数。
[0029]应用例8
[0030]本发明的物理量传感器的特征在于，具备:本发明的物理量传感器元件；封装件，其收纳所述物理量传感器元件。
[0031]由此，能够提供一种具有优异的检测精度的物理量传感器。
[0032]应用例9
[0033]本发明的电子设备的特征在于，具备本发明的物理量传感器元件。
[0034]由此，能够提供一种具备拥有优异的检测精度的物理量传感器元件的电子设备。
[0035]应用例10
[0036]本发明的移动体的特征在于，具备本发明的物理量传感器元件。
[0037]由此，能够提供一种具备拥有优异的检测精度的物理量传感器元件的移动体。
【附图说明】
[0038]图1为表示本发明的第一实施方式所涉及的物理量传感器的俯视图。
[0039]图2为图1中的A-A线剖视图。
[0040]图3为图1中的B-B线剖视图。
[0041]图4为用于对图1所示的物理量传感器的动作(未施加有角速度的状态)进行说明的模式化的图，(a)为俯视图，(b)为剖视图。
[0042]图5为用于对图1所示的物理量传感器的动作(施加了角速度的状态)进行说明的模式化的图，(a)为俯视图，(b)为剖视图。
[0043]图6为表示本发明的第二实施方式所涉及的物理量传感器的俯视图。
[0044]图7为用于对图6所示的物理量传感器的动作(未施加有角速度的状态)进行说明的模式化的图，(a)为俯视图，(b)为剖视图。
[0045]图8为模式化地表示作为本发明的电子设备的一个示例的移动型的个人计算机的结构的立体图。
[0046]图9模式化地表示作为本发明的电子设备的一个示例的便携式电话机的结构的立体图。
[0047]图10为表示作为本发明的电子设备的一个示例的数码照相机的结构的立体图。
[0048]图11为表示作为本发明的移动体的一个示例的汽车的结构的立体图。
【具体实施方式】
[0049]以下，根据附图所示的优选实施方式来对本发明的物理量传感器元件、物理量传感器、电子设备以及移动体进行详细说明。
[0050]1.物理量传感器
[0051]首先，对本发明的物理量传感器(具备本发明的物理量传感器元件的物理量传感器)的实施方式进行说明。
[0052]第一实施方式
[0053]图1为表示本发明的第一实施方式所涉及的物理量传感器的俯视图，图2为图1中的A-A线剖视图，图3为图1中的B-B线剖视图。此外，图4为用于对图1所示的物理量传感器的动作(未施加有角速度的状态)进行说明的模式化的图，图4(a)为俯视图，图4(b)为剖视图。此外，图5为用于对图1所示的物理量传感器的动作(施加了角速度的状态)进行说明的模式化的图，图5(a)为俯视图，图5(b)为剖视图。
[0054]另外，在各附图中，为了便于说明，而以箭头标记图示了作为互相正交的三个轴的X轴(第三轴)、Y轴(第二轴)以及Z轴(第一轴)，并且将该箭头标记的顶端侧设为“ + (正)”，将基端侧设为“_(负)”。此外，在下文中，将与X轴平行的方向称为“X轴方向”、将与Y轴平行的方向称为“Y轴方向”、将与Z轴平行的方向称为“Z轴方向”。此外，在下文中，为了便于说明，而将图2以及图3中的上侧(+Z轴方向侧)称为“上”，将下侧(-Z轴方向侧)称为“下”。
[0055]图1所示的物理