荧光x射线分析装置以及其样品显示方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及能够进行有害物质的检测等并且在制品的筛选等或者电镀等的膜厚测定中使用的荧光X射线分析装置以及其样品显示方法。
【背景技术】
[0002]在荧光X射线分析中，将从X射线源射出的X射线照射到样品，用X射线检测器检测作为从样品放出的特性X射线的荧光X射线，由此，从其能量取得谱，进行样品的定性分析或定量分析或者膜厚测定。该荧光X射线分析由于能够非破坏地迅速地分析样品，所以在工序、品质管理等中被广泛地使用。在近年来，谋求高精度化、高灵敏度化而能够进行微量测定，特别地，作为进行材料、复合电子部件等所包含的有害物质的检测的分析手法而期待普及。
[0003]历来，在这样的荧光X射线分析的装置中，通过来自观察用摄像机等摄像装置的图像来确认设置于样品台的样品，使用XY台等移动机构来移动样品台以进行样品的位置对准，之后，进行测定或分析(例如，专利文献1)。特别地，在将许多的做成相同的形状的样品设置于样品台来进行测定的情况下，操作者一边移动XY台一边在画面上数样品的个数等，以使规定的样品来到测定位置的方式移动XY台来进行位置对准。
[0004]现有技术文献专利文献
专利文献1:日本特开2009 - 25241号公报。
[0005]发明要解决的课题
在上述现有的技术中，残留有以下的课题。
[0006]在上述以往的荧光X射线分析装置中，操作者需要将样品与样品台的规定位置对准而对样品观察用的摄像机图像进行观察来进行样品的详细的定位，但是，存在如图3的(a)所示那样每隔固定个数地对同一形状的样品S排列有许多的情况进行测定的情况等、如图3的(b)所示那样在移动样品台时无法知道在摄像机图像中观察到的样品S为第几个样品S的情况。S卩，存在如下这样的问题:操作者通过目视在摄像机图像中数样品S的个数，找到作为期望的测定对象的样品S来进行位置对准，因此，在作业变得繁杂之上难以对测定正确之处进行确认。
【发明内容】
[0007]本发明是鉴于上述的课题而完成的，其目的在于提供一种在每隔固定间隔地对做成相同的形状的许多样品、线图案(line pattern)等进行测定的情况下等能够提高操作性并且容易地确认测定处是正确的荧光X射线分析装置以及其样品显示方法。
[0008]用于解决课题的方案本发明为了解决上述课题而采用了以下的结构。即，第一发明的荧光X射线分析装置的特征在于，具备:样品台，能够设置样品；样品移动机构，能够移动所述样品台；x射线源，对所述样品照射一次X射线；检测器，检测从被照射所述一次X射线的所述样品产生的荧光X射线；摄像部，对所述样品台上的所述样品进行摄像；显示器部，在画面中显示由所述摄像部所摄像的图像；定点设备，能够在所述画面中指定特定的位置来输入；图像处理部，在通过所述定点设备输入的所述画面中的位置显示标记；以及控制部，控制所述样品移动机构和所述图像处理部，所述控制部在利用所述样品移动机构使所述样品台移动时利用所述图像处理部使所述画面中的所述标记沿与所述样品台相同的移动方向移动相同的移动距离并显示。
[0009]在该荧光X射线分析装置中，控制部在利用样品移动机构使样品台移动时利用图像处理部使画面中的标记沿与样品台相同的移动方向移动相同的移动距离并显示，因此，配合样品台的移动，画面中的标记也同样地移动，由此，在画面中的样品和标记的相对位置不偏离的情况下进行显示。因此，操作者即使在使样品台移动的情况下也能够将数字(号码)、画(图形等)、文字或记号等标记作为目标来简单地进行X射线照射点与样品的位置对准。
[0010]关于第二发明的荧光X射线分析装置，在第一发明中，其特征在于，在将多个所述样品排列设置于所述样品台的情况下，所述控制部能够将号码显示为所述标记。
[0011]S卩，在该荧光X射线分析装置中，在将多个样品排列设置于样品台的情况下，控制部能够将号码显示为标记，因此，通过将由例如定点设备指定的位置所对应的样品的排列顺序即从排列的样品的端起数时的顺序的号码显示在画面中，从而能够容易地确认是第几个样品。
[0012]关于第三发明的荧光X射线分析装置，在第一或第二发明中，其特征在于，所述摄像部具有改变所述样品的摄像倍率来向任意的显示倍率变更所述图像的功能，所述图像处理部在与所述摄像倍率对应的所述输入的位置显示所述标记。
[0013]S卩，在该荧光X射线分析装置中，图像处理部将标记显示在与摄像倍率对应的所述输入的位置，因此，即使变更摄像倍率，也能够将配合摄像倍率来显示的标记作为目标。
[0014]关于第四发明的荧光X射线分析装置，在第一至第三发明的任一个中，其特征在于，所述控制部具有将显示有所述标记的所述画面保存为图像数据的功能。
[0015]S卩，在该荧光X射线分析装置中，控制部具有将显示有标记的画面保存为图像数据的功能，因此，根据一起显示有样品和标记的画面的图像数据，即使在测定后，也能够容易地确认测定了哪个样品。
[0016]关于第五发明的荧光X射线分析装置，在第一至第四发明的任一个中，其特征在于，所述控制部具有基于所述输入的所述画面中的位置和所述图像来存储对应于所述样品台上的所述标记的位置数据的功能，所述图像处理部在所述标记由于所述样品台的移动从所述画面的显示区域偏离而无法显示在所述画面中之后基于所述标记的位置数据的所述标记的位置由于所述样品台的移动而再次位于所述显示区域内时，基于所述标记的位置数据将所述标记再次显示在所述显示区域内。
[0017]S卩，在该荧光X射线分析装置中，图像处理部在标记由于样品台的移动从画面的显示区域偏离而无法显示在画面中之后基于标记的位置数据的标记的位置由于样品台的移动而再次位于显示区域内时，基于标记的位置数据将标记再次显示在显示区域内，因此，即使使样品台移动或使显示图像放大/缩小甚至标记从画面的显示区域偏离，也能够在返回到原来的位置或显示倍率时使标记显示在显示区域中。
[0018]关于第六发明的荧光X射线分析装置，在第一至第五发明的任一个中，其特征在于，所述控制部具有:基于根据所述图像的所述样品台上的所述样品的位置数据和所述输入的所述画面中的位置来存储对应于所述样品台上的所述标记的位置数据的功能；以及在基于所述样品的位置数据在与所述样品相同的位置将样品新设置于所述样品台时、在基于所述标记的位置数据的相同的位置使所述标记显示在所述画面中的功能。
[0019]S卩，在该荧光X射线分析装置中，具有在与以前测定的样品相同的位置将样品新设置于样品台时基于存储的位置数据将标记与所摄像的图像一起重叠显示在显示器部中的功能，因此，只要将新的样品设置于样品台上的相同的位置，即使不重新通过定点设备输入位置来显示标记，也能够特别指定测定处，进而，操作性提高。
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