方向以及-Υ轴方向延伸。衬垫80、82、84在Υ轴方向上并列。
[0156]第一配线70的第一部分71由例如金属部2构成。第一部分71从第一衬垫80延伸至第一分支部8a。
[0157]第一配线70的第二部分72由例如金属部2、硅部4、以及接触部6构成。在第二部分72中，金属部2从第一分支部8a向+Y轴方向延伸，并向+X轴方向延伸之后，通过接触部6而与硅部4连接。该硅部4与第一固定电极部60连接。
[0158]第一配线70的第三部分73由例如金属部2、硅部4、以及接触部6构成。在第三部分73中，金属部2从第一分支部8a向-Y轴方向延伸，并向+X轴方向上延伸之后，通过接触部6而与硅部4连接。该硅部4与第三固定电极部64连接。
[0159]在功能元件200中，第二配线74从第二衬垫82向+X轴方向延伸，并分支而向+Y轴方向以及+X轴方向上延伸。
[0160]第二配线74的第四部分75由例如金属部2构成。第四部分75从第二衬垫82延伸至第二分支部8b。
[0161]第二配线74的第五部分76由例如金属部2、硅部4、以及接触部6构成。在第五部分76中，金属部2从第二分支部8b向+X轴方向上延伸，并向+Y轴方向延伸之后，通过接触部6而与硅部4连接。该硅部4与第二固定电极部62连接。
[0162]第二配线74的第六部分77由例如金属部2、硅部4、以及接触部6构成。在第六部分77中，金属部2从第二分支部8b向+X轴方向延伸，通过接触部6而与硅部4连接。该石圭部4与第四固定电极部66连接。
[0163]第一配线70的第三部分73与第二配线74的第五部分76交叉。在图示的示例中，在第三部分73和第五部分76的交叉部中，在构成第三部分73的金属部2上设置有绝缘层202，在绝缘层202上设置有构成第五部分76的金属部2。由此，能够防止第一配线70和第二配线74短路的现象。绝缘层202的材质为，例如为氧化硅、氮化硅。此外，虽然未进行图示，但是绝缘层202也可以被设置于第五部分76上，并且在绝缘层202上也可以设置第三部分73。
[0164]在功能元件200中，与功能元件100相同，能够准确地检测物理量。
[0165]2.2.功能元件的制造方法
[0166]接下来，参照附图对第二实施方式所涉及的功能元件的制造方法进行说明。
[0167]在第二实施方式所涉及的功能元件200的制造方法中，如图7所示，在第一配线70的第三部分73上形成有绝缘层202。绝缘层202通过由例如CVD法实施的成膜、以及图案形成而被形成。
[0168]除了上述内容以外，第二实施方式所涉及的功能元件200的制造方法基本上与第一实施方式所涉及的功能元件的制造方法相同。因此，省略其说明。
[0169]2.3.功能元件的改变例
[0170]接下来，参照附图对第二实施方式的改变例所涉及的功能元件进行说明。图8为示意性地表示第二实施方式的改变例所涉及的功能元件300的俯视图。图9为，示意性地表示第二实施方式的改变例所涉及的功能元件300沿图8的IX-1X线的剖视图。
[0171]此外，为了便于说明，在图8中以透视盖体90的方式进行图示。另外，在图8以及图9中图示了作为相互正交的三个轴的X轴(第一轴)、Y轴(第二軸)、以及Ζ轴。以下，在功能元件200中，对具有与上述功能元件100、200的结构部件相同功能的部件标注相同的符号，并省略其详细说明。
[0172]在功能元件200中，如图7所示，在第一配线70与第二配线74的交叉部中，在构成第一配线70的第三部分73的金属部2上设置有绝缘层202，且在绝缘层202上设置有构成第二配线74的第五部分76的金属部2。
[0173]相对于此，在功能元件300中，如图8所示，在第一配线70与第二配线74的交叉部中，第一配线70的第三部分73为，被设置于槽部16中的金属部2，第二配线74的第五部分76为，被设置于基板10上的硅部4。由此，能够在不形成绝缘层202的条件下，防止第一配线70和第二配线74短路的现象。
[0174]在功能元件300中，第一配线70的第二部分72、以及第二配线74的第六部分77由例如硅部4构成。第一配线70的第三部分73、以及第二配线74的第五部分76由例如金属部2、硅部4、以及接触部6构成。
[0175]在第一配线70的第三部分73中，硅部4从第一分支部8a向-Y轴方向延伸，并通过接触部6而与金属部2连接。该金属部2在-Y轴方向上延伸，并且向+X轴方向延伸之后，通过接触部6而与硅部4连接。该硅部4与第三固定电极部64连接。
[0176]在第二配线74的第五部分76中，硅部4从第二分支部8b向+Y轴方向上延伸，并通过接触部6而与金属部2连接。该金属部2在+Y轴方向上延伸，并且向+X轴方向延伸之后，通过接触部6而与硅部4连接。该硅部4与第二固定电极部62连接。
[0177]在功能元件300中，如图8以及图9所示，在配线70、74的互相并行的部分中，配线70、74中的一方为,被设置于基板10上的娃部4(娃层)，配线70、74中的另一方为，被设置于槽部16中的金属部2(金属层)。在此，“互相并行的部分”为，在配线70、74之间不存在可动体20等以及其他的配线，配线70、74互相平行地延伸的部分。在图示的示例中，“互相并行的部分”为，第一配线70的第三部分73的于Y轴方向上延伸的部分、以及第二配线74的第五部分76的于Y轴方向上延伸的部分。
[0178]在功能元件300中，第一配线70以及第二配线74具备互相并行的部分，在并行部分中，第一配线70以及第二配线74的一方被设置于槽部16的内部。因此，在功能元件300中，能够使第一配线70的第三部分73的于Y轴方向上延伸的部分与第二配线74的第五部分76的于Y轴方向上延伸的部分之间的寄生电容变小。例如在“互相并行的部分”中，在两配线均为形成于基板上的硅部或均为被设置于槽部中的金属部的情况下，两者之间的寄生电容变大。
[0179]3.第三实施方式
[0180]接下来，参照附图对第三实施方式所涉及的电子设备进行说明。第三实施方式所涉及的电子设备包括本发明所涉及的功能元件。在以下中，作为本发明所涉及的功能元件，对包括功能元件100的电子设备进行说明。
[0181]图10为，示意性地表示作为第三实施方式所涉及的电子设备的可移动型(或笔记本型)的个人计算机1100的立体图。
[0182]如图10所示，个人计算机1100由具备键盘1102的主体部1104、具有显示部1108的显示单元1106构成，显示单元1106以经由铰链结构部而能够相对于主体部1104进行转动的方式被支承。
[0183]在这种个人计算机1100中，内置有功能元件100。
[0184]图11为，示意性地表示作为第三实施方式所涉及的电子设备的便携式电话机(也包括PHS) 1200的立体图。
[0185]如图11所示，便携式电话机1200具备多个操作按钮1202、听筒1204以及话筒1206，并且在操作按钮1202与听筒1204之间配置有显示部1208。
[0186]在这种便携式电话机1200中内置有功能元件100。
[0187]图12为，示意性地表示作为第三实施方式所涉及的电子设备的数码照相机1300的立体图。此外，在图12中，对与外部设备的连接也进行了简单的图示。
[0188]在此，通常的照相机通过被摄物体的光图像而对银盐感光胶片进行感光相，相对于此，数码照相机1300通过CCD (Charge Coupled Device)等的摄像元件而对被摄物体的光图像进行光电转换，从而生成摄像信号(图像信号)。
[0189]在数码照相机1300的壳体(主体)1302的背面上设置有显示部1310，并且成为根据由C⑶产生的摄像信号来进行显示的结构，显示部1310作为将被摄物体显示为电子图像的取景器而发挥功能。
[0190]此外，在壳体1302的正面侧(图中背面侧)设置有包括光学透镜(摄像光学系统)和(XD等的受光单元1304。
[0191]摄影者对被显示在显示部1310上的被摄物体像进行确认，并按下快门按钮1306，该时间点的CCD的摄像信号被传送并存储于存储器1308中。
[0192]另外，在这种数码照相机1300中，在壳体1302的侧面设置有视频信号输出端子1312和数据通信用的输入输出端子1314。而且，根据需要，在视频信号输出端子1312上连接有电视监控器，在数据通信用的输入输出端子1314上连接有个人计算机1440。而且构成如下结构，即，通过预定的操作，使被存储于存储器1308中的摄像信号被输出至电视显示器1430和个人计算机1440。
[0193]在这种数码照相机1300中内置有功能元件100。
[0194]由于如上的电子设备1100，1200，1300包括功能元件100，因此在利用功能元件100以作为电容检测型的物理量传感器的情况下，能够准确地检测物理量。
[0195]此外，具备功能元件100的电子设备除了能够应用于图10所示的个人计算机(可移动型个人计算机)、图11所示的便携式电话机、图12所示的数码照相机之外，还能够应用于例如喷墨式喷出装置(例如喷墨打印机)、便携型个人计算机、电视、摄像机、录像机、各种导航装置、寻呼机、电子记事本(也包括附带通信功能的产品)、电子辞典、台式电子计算器、电子游戏机、头戴式显示器、文字处理器、工作站、可视电话机、防盗用电视监视器、电子双筒望远镜、P0S终端、医疗设备(例如电子体温计、血压计、血糖仪、心电图测量装置、超声波诊断装置、电子内窥镜)、鱼群探测器、各种测量设备、计量仪器类(例如车辆、飞机、火箭、船舶的计量仪器类)、机器人和人体等的姿态控制、飞行模拟器等。
[0196]4.第四实施方式
[0197]接下来，参照附图对第四实施方式所涉及的移动体进行说明。第四实施方式所涉及的移动体包括本发明所涉及的物理量传感器。以下对包括作为本发明所涉及的物理量传感器的包括功能元件100的移动体进行说明。
[0198]图13为，示意性地表示作为第四实施方式所涉及的移动体的汽车1500的立体图。
[0199]在汽车1500中内置有功能元件100。具体而言，如图13所示，在汽车1500的车身1502上搭载有内置了检测汽车1500的加速度的功能元件100而控制发动机的输出的电子控制单元EQJ (Electronic Control Unit) 1504。而且，除此之外，功能元件100还能够广泛应用于车身姿态控制单元、防抱死系统(ABS)、安全气囊、轮胎压力监视系统(TPMS:TirePressu