热式流量计的利记博彩app
【技术领域】
[0001]本发明涉及热式流量计。
【背景技术】
[0002]测量气体的流量的热式流量计具备用于测量流量的流量检测部，通过在上述流量检测部与作为测量对象的上述气体之间进行热传递，对上述气体的流量进行测量。热式流量计测量的流量作为各种装置的重要的控制参数而被广泛使用。热式流量计的特征为与其它方式的流量计相比能够以相对较高的精度对气体的流量例如质量流量进行测量。
[0003]然而期望进一步提高气体流量的测量精度。例如，在装载了内燃机的车辆中，节省燃料的期望、排气净化的期望非常高。为了满足这些期望，要求以高精度测量作为内燃机的主要参数的吸入空气量。对被引导至内燃机的吸入空气量进行测量的热式流量计具备将吸入空气量的一部分摄入的副通道和配置于上述副通道的流量检测部，上述流量检测部通过在与被测量气体之间进行热传递，对上述副通道中流动的被测量气体的状态进行测量，并输出表示被引导至上述内燃机的吸入空气量的电信号。这样的技术在例如日本特开2011 - 252796号公开公报(专利文献I)中公开。
[0004]专利文献I中公开了对被引导至内燃机的吸入空气量进行测量的热式流量计的技术。该公报的热式流量计具有如下结构:具备将吸入空气量的一部分摄入的副通道和配置于上述副通道的流量检测部，上述流量检测部通过在与被测量气体之间进行热传递，对上述副通道中流动的被测量气体的状态进行测量，并输出表示被引导至上述内燃机的吸入空气量的电信号。
[0005]现有技术文献
[0006]专利文献
[0007]专利文献1:日本特开2011 — 252796号公报
[0008]专利文献2:日本特开2011 — 122984号公报
【发明内容】
[0009]发明所要解决的课题
[0010]然而，半导体芯片的表面被模具部分地按压，所以在半导体芯片作用有弯曲应力而使半导体芯片存在变形的隐患。尤其是，存在因半导体芯片与其它配件的公差而使模具的按压力增大的情况下，存在在半导体芯片作用有过大的弯曲应力而导致折损的隐患。
[0011]本发明鉴于上述情况而完成，其目的在于，提供能够降低因模制成形而造成的半导体芯片的变形的热式流量计的制造方法。
[0012]解决课题所用的方法
[0013]为了解决上述课题，本发明的热式流量计的制造方法是具有对半导体芯片进行树脂模制的电路封装件的热式流量计的制造方法，其特征在于，包含有如下的工序:在设置于上述半导体芯片的表面的热传递面和设定于上述半导体芯片的表面且从上述热传递面离开的位置的按压面上，在对模具进行按压的状态下，对上述半导体芯片进行树脂模制。
[0014]发明的效果
[0015]根据本发明，能够降低因模制成形而造成的半导体芯片的变形。此外，上述的以外的课题、结构以及效果通过以下的实施方式的说明将变得更明确。
【附图说明】
[0016]图1是表示在内燃机控制系统使用本发明的热式流量计的一实施例的系统图。
[0017]图2是表示热式流量计的外观的图，图2(A)是左侧视图，图2(B)是主视图。
[0018]图3是表示热式流量计的外观的图，图3(A)是右侧视图，图3(B)是后视图。
[0019]图4是表示热式流量计的外观的图，图4⑷是俯视图，图4(B)是仰视图。
[0020]图5是表示热式流量计的外壳的图，图5(A)是外壳的左侧视图，图5 (B)是外壳的主视图。
[0021]图6是表示热式流量计的外壳的图，图6(A)是外壳的右侧视图，图6(B)是外壳的后视图。
[0022]图7是表示配置于副通道的流道面的状态的部分放大图。
[0023]图8是表不表罩的外观的图，图8(A)是左侧视图，图8(B)是主视图，图8(C)是俯视图。
[0024]图9是表示背罩304的外观的图，图9 (A)是左侧视图，图9 (B)是主视图，图9 (C)
是俯视图。
[0025]图10是电路封装件的外观图，图10⑷是左侧视图，图10⑶是主视图，图10(C)
是后视图。
[0026]图11是表示在电路封装件的框架装载电路配件的状态的图。
[0027]图12是图11所示的流量检测部的放大图。
[0028]图13是图10⑶的C — C线剖视图。
[0029]图14是说明电路封装件的模制成形方法的实施例的图。
[0030]图15-1是说明电路封装件的模制成形方法的比较例的图。
[0031]图15-2是说明电路封装件的模制成形方法的比较例的图。
[0032]图16是说明其它的实施例的剖视图。
[0033]图17是说明其它的实施例的剖视图。
[0034]图18是表示第一树脂模制工序后的电路封装件的状态的图。
[0035]图19是表示电路封装件的生产工序的图。
[0036]图20是表示热式流量计的生产工序的图。
[0037]图21是表示热式流量计的流量检测电路的电路图。
[0038]图22是说明流量检测电路的流量检测部的说明图。
【具体实施方式】
[0039]以下说明的用于实施发明的实施方式(以下称为实施例)解决作为实际产品所期望的各种课题，尤其是解决为了用作测量车辆的吸入空气量的测量装置而期望的各种课题，实现各种效果。下述实施例解决的多种课题内的一个，是上述的发明所要解决的课题的栏内所记载的内容，另外下述实施例所起到的多种效果内的一个是发明的效果栏所记载的效果。对于下述实施例所解决的多种课题，进而对于通过下述实施例而起到的多种效果，在下述实施例的说明中进行叙述。因此下述实施例中叙述的实施例所解决的课题、效果，对发明所要解决的课题栏或发明的效果栏的内容以外的内容也进行了记载。
[0040]在以下的实施例中，相同的参照符号即使图号不同也表示相同的结构，实现相同的作用效果。对于已经说明过的结构，有时仅在图中标记参照符号并省略说明。
[0041]1.将本发明的热式流量计用于内燃机控制系统的一实施例
[0042]图1是表示将本发明的热式流量计用于电子燃料喷射方式的内燃机控制系统的一实施例的系统图。基于具备引擎缸112和引擎活塞114的内燃机110的动作，吸入空气作为被测量气体30从空气净化器122吸入，经过作为主通道124的例如吸气体、节气门体126、吸气歧管128而被引导至引擎缸112的燃烧室。被引导至上述燃烧室的吸入空气即被测量气体30的流量由本发明的热式流量计300测量，基于测量到的流量通过燃料喷射阀152供给燃料，并与被测量气体30 —同以混合气体的状态被引导至燃烧室。此外，本实施例中，燃料喷射阀152设置于内燃机的吸气口，被喷射至吸气口的燃料与被测量气体30 —同成形为混合气体，经过吸入阀116而被引导至燃烧室，燃烧并产生机械能。
[0043]近年，许多车中作为优化排气净化、燃料利用率提高的方式，采用在内燃机的缸盖安装燃料喷射阀152，并从燃料喷射阀152向各燃烧室直接喷射燃料的方式。热式流量计300不仅能够用于向图1所示的内燃机的吸气口直接喷射燃料的方式，也同样能够用于向各燃烧室直接喷射燃料的方式。两方式都包含热式流量计300的使用方法的控制参数的测量方法以及燃料供给量、包含点火时刻的内燃机的控制方法的基本概念大致相同，作为两方式的代表例，向吸气口喷射燃料的方式由图1所示。
[0044]被引导至燃烧室的燃料以及空气成为燃料与空气的混合状态，利用火花塞154的火花点火，爆炸地燃烧，产生机械能。燃烧后的气体从排气阀118被引导至排气管，作为废气24从排气管排出至车外。被引导至上述燃烧室的吸入空气即被测量气体30的流量基于油门踏板的操作由其开度变化的节气阀132控制。基于被引导至上述燃烧室的吸入空气的流量控制燃料供给量，驾驶员控制节气阀132的开度来控制被引导至上述燃烧室的吸入空气的流量，由此能够控制内燃机产生的机械能。
[0045]1.1内燃机控制系统的控制的概要
[0046]从空气净化器122摄入并在主通道124内流动的吸入空气即被测量气体30的流量以及温度由热式流量计300测量，表示吸入空气的流量以及温度的电信号从热式流量计300输入控制装置200。另外，测量节气阀132的开度的节气门角度传感器144的输出被输入至控制装置200，为了进一步测量内燃机的引擎活塞114、吸入阀116、排气阀118的位置、状态，进而测量内燃机的转速，而使旋转角度传感器146的输出被输入至控制装置200。为了从废气24的状态测量燃料量与空气量的混合比的状态，氧传感器148的输出被输入至控制装置200。
[0047]控制装置200，基于热式流量计300的输出即吸入空气的流量以及旋转角度传感器146的输出而测量内燃机的转速，并基于该测量到的转速来计算燃料喷射量、点火时刻。基于这些计算结果，控制从燃料喷射阀152供给的燃料量或被火花塞154点火的点火时刻。燃料供给量、点火时刻还实时地基于由热式流量计300测量的吸气温度、节气门角度的变化状态、引擎转速的变化状态、由氧传感器148测量的空气燃料比的状态，进行细微控制。控制装置200还在内燃机的空转状态中，将对节气阀132进行旁通的空气量由空转空气控制阀156控制，从而对空转状态下的内燃机的转速进行控制。
[0048]1.2热式流量计的测量精度提高的重要性和热式流量计的装载环境
[0049]作为内燃机的主要的控制量的燃料供给量、点火时刻均作为主要参数来计算热式流量计300的输出。因此热式流量计300的测量精度的提高、老化的抑制、可靠性的提高对确保车辆的控制精度的提高、可靠性的确保而言很重要。尤其是近年来，对于车辆的节省燃料的期望非常高，另外对废气净化的期望也非常高。为了应对这些期望，提高由热式流量计300测量的被测量气体30的流量的测量精度是极为重要的。另外热式流量计300维持较高的可靠性也很重要。
[0050]装载有热式流量计300的车辆在温度变化较大的环境中使用，另外在风雨、雪中使用。在车在雪地中行驶的情况下，在散布有防冻剂的道路上行驶。热式流量计300期望可以考虑对其使用环境中温度变化的对应、对尘埃、污染物等的对应。再有，热式流量计300设置于承受内燃机的振动的环境。针对振动也寻求维持较高的可靠性。
[0051]另外，热式流量计300装配于接受来自内燃机的发热的影响的吸气管。因此内燃机的发热经过作为主通道124的吸气管，传递至热式流量计300。热式流量计300通过与被测量气体进行热传递来测量被测量气体的流量，所以重要的是尽可能地抑制来自外部的热的影响。
[0052]装载于车的热式流量计300如以下说明所述，不单单解决发明所要解决的课题栏所记载的课题、起到发明的效果栏所记载的效果，还可以如以下说明所述，充分考虑上述的多种课题，解决作为制品而寻求的多种课题，起到多种效果。热式流量计300解决的具体的课题、实现的具体的效果在以下的实施例的记载中进行说明。
[0053]2.热式流量计300的结构
[0054]2.1热式流量计300的外观构造
[0055]图2以及图3、图4是表示热式流量计300的外观的图，图2 (A)是热式流量计300的左侧视图，图2(B)是主视图，图3(A)是右侧视图，图3(B)是后视图，图4(A)是俯视图，图4(B)是仰视图。热式流量计300具备外壳302、表罩303、背罩304。外壳302具备:用于将热式流量计300固定于作为主通道124的吸气体的凸缘312 ;具有用于进行与外部设备的电连接的外部端子306的外部连接部305 ;以及用于测量流量等的测量部310。在测量部310的内部，设置有用于制作副通道的副通道槽，在测量部310的内部，还设置有用于测量在主通道124中流动的被测量气体30的流量的流量检测部602 (参照图21)、具备用于测量在主通道124中流动的被测量气体30的温度的温度检测部452的电路封装件400。
[0056]2.2基于热式流量计300的外观构造的效果
[0057]热式流量计300的入口 350设置在从凸缘312朝向主通道124的中心方向延伸的测量部310的前端侧，所以不仅主通道124的内壁面附近，而且靠近从内壁面离开的中央部的部分的气体也能够被摄入副通道。因此热式流量计300能够测定从主通道124的内壁面离开的部分的气体的流量、温度，能够抑制热等的影响造成的测量精度的降低。在主通道124的内壁面附近，容易受到主通道124的温度的影响，相对于气体本来的温度被测量气体30的温度处于不同的状态，变得与主通道124内的主气体的平均的状态不同。尤其是主通道124是引擎的吸气体的情况下，收到来自引擎的热的影响，维持在高温的情况较多。因此主通道124的内壁面附近的气体相对于主通道124本来的气温较高的情况较多，成为使测量精度降低的主要原因。
[0058]主通道124的内壁面附近流体阻力较大，相比主通道124的平均的流速，流速变低。因此若将主通道124的内壁面附近的气体作为被测量气体30摄入副通道，则流速相对于主通道124的平均流速的降低存在导致测量误差的隐患。在图2至图4所示的热式流量计300中，在从凸缘312朝向主通道124的中央延伸的薄且长的测量部310的前端部设置有入口 350，所以能够降低与内壁面附近的流速降低有关的测量误差。另外，图2至图4所示的热式流量计300中，不仅在从凸缘312朝向主通道124的中央延伸的测量部310的前端部设置有入口 350，还在测量部310的前端部设置副通道的出口，所以能够进一步降低测量误差。
[0059]热式流量计300的测量部310成为从凸缘312朝向主通道124的中心方向延长的形状，在其前端部设置有用于将吸入空气等被测量气体30的一部分摄入副通道的入口 350和用于从副通道使被测量气体30返回主通道124的出口 352。测量部310成为沿从主通道124的外壁朝向中央的轴延长的形状，但宽度如图2(A)以及图3㈧所记载，成为较窄的形状。即热式流量计300的测量部310中侧面的宽度较薄的正面成为大致长方形的形状。由此，热式流量计300能够具备足够的长度的副通道，对于被测量气体30能够将流体阻力抑制在较小的值。
[0060]因此，热式流量计300能够将流体阻力抑制在较小的值并且以较高的精度对被测量气体30的流量进行测量。
[0061]2.3温度检测部452的构造
[0062]比设置于测量部310的前端侧的副通道更位于凸缘312侧一方，如图2以及图3所示，成形有朝向被测量气体30的流动的上游侧开口的入口 343，在入口 343的内部配置有用于测量被测量气体30的温度的温度检测部452。在设置有入口 343的测量部310的中央部，构成外壳302的测量部310内的上游侧外壁朝向下游侧凹陷，温度检测部452成为从上述凹陷形状的上游侧外壁朝向上游侧突出的形状。另外在上述凹陷形状的外壁的两侧部设置有表罩303和背罩304，上述表罩303与背罩304的上游侧端部成为从上述凹陷形状的外壁朝向上游侧突出的形状。因此通过上述凹陷形状的外壁与其两侧的表罩303和背罩304，成形用于将被测量气体30摄入的入口 343。从入口 343摄入的被测量气体30通过与设置于入口 343的内部的温度检测部452接触，被温度检测部452测量温度。进而被测量气体30沿着对从成为凹陷形状的外壳302的外壁向上游侧突出的温度检