缺陷检测方法及缺陷检测装置的制造方法_2

文档序号:9199216阅读:来源:国知局
灯源I每次发出第二种光L2时,控制取像单元2在第二种光L2的亮度达到一第二预设亮度的至少一半以上的一第二时间区间T2,取得待测物在第二种光L2之下的一第二影像,即影像2、4、6...。借此,控制取像单元2在第一种光LI及第二种光L2的亮度至少维持在百分之五十以上时取像,以解决现有技术中取得的影像的头尾端因亮度不足而无法清楚呈现的问题。
[0029]其中当第一种光LI与第二种光L2是颜色相同但强度不同的光时,第一预设亮度(对金属线路有较佳反射率)小于第二预设亮度(对ITO线路有较佳反射率),而若第一种光LI与第二种光L2是不同颜色的光时,第一预设亮度(针对金属线路)则可以视实际应用需求而与第二预设亮度(针对ITO线路)相同或不同。且若第一种光LI与第二种光L2是颜色相同但强度不同的光时,亦可以只使用单一发光单元交替发出不同强度的光。
[0030]且较佳地,在本实施例中,取像单元2是在第一种光LI的亮度维持在(或达到)第一预设亮度的百分之九十以上的第一时间区间Tl对待测物进行取像(拍摄),并且是在第二种光L2的亮度维持在(或达到)第二预设亮度的百分之九十以上的第二时间区间T2对待测物进行取像,但在第一时间区间Tl与第二时间区间T2之间的一第三时间区间T3(包括第一种光LI的放电时间TD及第二种光L2的充电时间TU,或者包括第一种光LI的充电时间TU及第二种光L2的放电时间TD)不进行取像。借此,使取像单元2的取像时间完全避开第一种光LI及第二种光L2的充电时间TU及放电时间TD区间,以避开亮度不足或两种光L1、L2相混杂状况,进而解决了现有技术中取得的影像的头尾端无法清楚呈现的问题,并使取得的影像的头尾端与影像的中间部分具有几乎相同的影像质量。
[0031]最后,在后续处理中,再将在第一种光LI照射下取得的所述影像1、3、5…组合在一起,即为整个待测物(玻璃面板)在第一种光LI照射下的完整影像,且将在第二种光L2照射下取得的所述影像2、4、6…组合在一起,即为整个待测物(玻璃面板)在第二种光20照射下的完整影像。
[0032]然后,即可从所述影像1、3、5…组成的完整影像中检测金属线路的缺陷,并从所述影像2、4、6…组成的完整影像中检测ITO线路的缺陷。
[0033]再参见图6所示,本实施例的另一实施态样是控制器3控制取像单元2连续取像,亦即控制取像单元2除了在第一种光LI的第一时间区间Tl及第二种光L2的第二时间区间T2取像外,亦在第一时间区间Tl与第二时间区间T2之间的第三时间区间T3取像,以取得于第三时间区间T3的第三影像,因此在此实施方式下,取像单元2会依序取得影像1、2、3...,所以取像单元2的扫描(取像)频率会是灯源I的默认频率的两倍。
[0034]然后,在后续处理中,会将在每一个第一时间区间Tl取得的影像1、5、…组合在一起,形成待测物(玻璃面板)在第一种光LI照射下的一完整影像,并将在每一个第二时间区间T2取得的影像3、7、…组合在一起,形成待测物(玻璃面板)在第二种光L2照射下的一完整影像,而在每一个第三时间区间T3取得的影像2、4、6…则弃置不用。
[0035]再参见图7所示,本实施例的控制器3还与灯源I电耦接,并在第一发光单元11被关闭,使得第一种光LI的亮度下降至第一预设亮度的一半以下时,控制器3即控制第二发光单元12被开启,并且在第二发光单元12被关闭,使得第二种光L2的亮度下降至第二预设亮度的一半以下时,控制器3即控制第一发光单元11被开启,借此使第一种光LI的放电时间TD与第二种光L2的充电时间TU重叠,以及使第二种光L2的放电时间TD与第一种光LI的充电时间TU重叠,以缩短第三时间区间T3,进而提升取像单元2的扫描(取像)效率。
[0036]综上所述,上述实施例借由将取像单元2的取像时间控制在第一种光LI的亮度维持在第一预设亮度的至少一半以上,例如百分之九十以上的第一时间区间,以及控制取像单元的取像时间在第二种光L2的亮度维持在第二预设亮度的至少一半以上,以如百分之九十以上的第二时间区间,使取像单元2在第一种光LI及第二种光L2的亮度至少维持在百分之五十以上时取像,而解决了现有技术中取得的影像的头尾端因亮度不足或光混杂而无法清楚呈现的问题,达到本发明的功效与目的。
【主权项】
1.一种缺陷检测方法,用以取得一待测物的影像以对其进行缺陷检测,其特征在于: 该缺陷检测方法包括: 提供一灯源,使交替发出一第一种光及一第二种光;当该灯源发出该第一种光时,以一控制器控制一取像单元,在该第一种光的亮度维持在一第一预设亮度的至少一半以上的一第一时间区间时,取得该待测物的一第一影像;及 当该灯源发出该第二种光时,以该控制器控制该取像单元,在该第二种光的亮度维持在一第二预设亮度的至少一半以上的一第二时间区间时,取得该待测物的一第二影像。2.根据权利要求1所述的缺陷检测方法,其特征在于:该控制器还控制该取像单元在该第一时间区间与该第二时间区间之间的一第三时间区间停止取像,或取得该待测物的一第二时间区间的第二影像。3.根据权利要求2所述的缺陷检测方法,其特征在于:该灯源包含一发出该第一种光的第一发光单元及一发出该第二种光的第二发光单元。4.根据权利要求3所述的缺陷检测方法,其特征在于:当该第一发光单元被关闭,使得该第一种光的亮度下降至该第一预设亮度的一半以下时,该控制器即控制该第二发光单元被开启,且当该第二发光单元被关闭,使得该第二种光的亮度下降至该第二预设亮度的一半以下时,该控制器即控制该第一发光单元被开启。5.根据权利要求1所述的缺陷检测方法,其特征在于:该取像单元被控制在该第一种光的亮度维持在该第一预设亮度的百分之九十以上的该第一时间区间取像,且该取像单元被控制在该第二种光的亮度维持在该第二预设亮度的百分之九十以上的该第二时间区间取像。6.一种缺陷检测装置,用以取得一待测物的影像以对其进行缺陷检测,其特征在于: 该缺陷检测装置包括: 一灯源,交替发出一第一种光及一第二种光; 一取像单元,用以取得该待测物的一影像;及 一控制器,与该取像单元电耦接,并在该灯源发出该第一种光时,控制该取像单元在该第一种光的亮度维持在一第一预设亮度的至少一半以上的一第一时间区间,取得该待测物的一第一影像,且在该灯源发出该第二种光时,控制该取像单元在该第二种光的亮度维持在一第二预设亮度的至少一半以上的一第二时间区间,取得该待测物的一第二影像。7.根据权利要求6所述的缺陷检测装置,其特征在于:该控制器还控制该取像单元在该第一时间区间与该第二时间区间之间的一第三时间区间停止取像,或取得该待测物的一第二时间区间的第二影像。8.根据权利要求7所述的缺陷检测装置,其特征在于:该灯源包含一发出该第一种光的第一发光单元及一发出该第二种光的第二发光单元。9.根据权利要求8所述的缺陷检测装置,其特征在于:该第一发光单元被关闭,使得该第一种光的亮度下降至该第一预设亮度的一半以下时,该控制器即控制该第二发光单元被开启,且该第二发光单元被关闭,使得该第二种光的亮度下降至该第二预设亮度的一半以下时,该控制器即控制该第一发光单元被开启。10.根据权利要求6所述的缺陷检测装置,其特征在于:该取像单元被控制在该第一种光的亮度维持在该第一预设亮度的百分之九十以上的该第一时间区间取像,且该取像单元被控制在该第二种光的亮度维持在该第二预设亮度的百分之九十以上的该第二时间区间取像。
【专利摘要】一种缺陷检测方法及其装置,用以取得一待测物的影像以对其进行缺陷检测,该方法提供一灯源,使交替发出一第一种光及一第二种光,并在该灯源发出该第一种光时,以一控制器控制一取像单元,使在该第一种光的亮度维持在一第一预设亮度的至少一半以上的一第一时间区间,取得该待测物的一第一影像,以及在该灯源发出该第二种光时,以该控制器控制该取像单元,使在该第二种光的亮度维持在一第二预设亮度的至少一半以上的一第二时间区间,取得该待测物的一第二影像。
【IPC分类】G01N21/01, G01N21/88
【公开号】CN104914106
【申请号】CN201410156468
【发明人】高志豪, 邓亦书
【申请人】由田新技股份有限公司
【公开日】2015年9月16日
【申请日】2014年4月18日
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