真空阀的利记博彩app
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种真空阀。
【背景技术】
[0002]—般来说，在将真空栗安装于真空处理装置的腔室的情况下，在腔室与真空栗之间设置着真空阀。因此，在收纳阀体的阀壳体上，隔着阀体而设置着一个凸缘。作为真空阀，使用进行开闭的闸阀、或不仅开闭且电导(conductance)可变的控制型阀等。
[0003]专利文献I记载的真空阀为所述控制型阀，根据阀构成的关系，将连接于腔室侧的凸缘与阀壳体分开设置，从而成为将凸缘螺固在阀壳体的构成。
[0004]在使用涡轮分子栗等旋转式真空栗来作为真空栗的情况下，当转子因与定子接触等而紧急停止时，会对真空阀施加大的旋转转矩。结果，专利文献I记载的真空阀中，有将凸缘与阀壳体加以紧固的螺栓因所述旋转转矩而断裂的担心。
[0005]因此，要求将真空阀的本体与凸缘加以紧固的螺栓具有将阀壳体与凸缘加以紧固的功能、以及能够经得住旋转转矩的强度。结果，需要使用对于紧固功能而言所需的根数以上的螺栓。如果螺栓的根数增加，则作业步骤数或所需构件增加，而存在作业成本上升的问题。
[0006][现有技术文献]
[0007][专利文献]
[0008][专利文献I]日本专利第4630994号公报
【发明内容】
[0009][实用新型所要解决的问题]
[0010]如所述般，关于将分开设置的凸缘固定在阀壳体的构成的真空阀，期望不增加紧固用螺栓的根数而能够经受得住来自真空栗的转矩的真空阀。
[0011][解决问题的技术手段]
[0012]本实用新型的优选形态的真空阀包括收纳阀体的壳体、及螺固在壳体的凸缘，且真空阀安装于真空腔室与真空栗之间，在壳体的紧固面形成着第I销孔，在凸缘的紧固面中第I销孔所相向的位置形成着第2销孔，且包括插设在相互相向的第I销孔及第2销孔的销。
[0013]本实用新型中，在所述凸缘形成着螺固用的螺栓孔，在所述壳体形成着螺固用的螺纹孔，所述螺栓孔与贯通所述螺栓孔的螺栓的间隙尺寸Db、所述销与所述第I销孔的间隙尺寸DpU及所述销与所述第2销孔的间隙尺寸Dp2满足数式“Db彡(Dpl+Dp2) ”。
[0014]本实用新型中，所述第I销孔包括具有第I孔径的销孔、及具有直径小于所述第I孔径的第2孔径的至少两个销孔，与具有所述第2孔径的第I销孔相向的所述第2销孔的直径设定得比与具有所述第I孔径的第I销孔相向的所述第2销孔的直径小。
[0015]本实用新型中，所述销兼备减小从外部连接的装置传递的旋转转矩的功能、及将所述凸缘定位于所述壳体的功能。
[0016][实用新型的效果]
[0017]根据本实用新型，可提供一种真空阀，所述真空阀为利用紧固用螺栓将分开设置的凸缘固定在阀壳体的构成，且不会因紧固以外的目的增加紧固用螺栓的根数而能够经受得住来自真空栗的转矩。
[0018]上述说明仅是本实用新型技术方案的概述，为能更清楚了解本实用新型的技术手段，而可依照说明书的内容予以实施，并且为让本实用新型的上述和其他目的、特征和优点能够更明显易懂，以下特举较佳实施例，并配合附图，详细说明如下。
【附图说明】
[0019]图1是本实用新型的一实施方式的真空阀的立体图。
[0020]图2是表示已从真空阀的壳体卸下凸缘的情况的立体图。
[0021]图3是表示已从真空阀的壳体卸下凸缘的情况的剖面示意图。
[0022]图4(a)是表示阀壳体与凸缘的紧固构造中设置着螺栓的部位的剖面图，图4(b)是表示所述紧固构造中设置着销的部位的剖面图。
[0023][符号的说明]
[0024]1:真空阀
[0025]2:阀本体
[0026]3:凸缘
[0027]3A:筒部
[0028]3B、4A1、4A2:开口
[0029]3C、3D、4B、4C:紧固面
[0030]4:壳体
[0031]6:阀板
[0032]7、8:电动机
[0033]10:螺栓孔
[0034]11、20、40:螺纹孔
[0035]31、31A、31B、41、41A、41B:销孔
[0036]52:螺栓
[0037]52A:螺栓轴
[0038]60:密封环
[0039]100:销
[0040]Arr:箭头
[0041]Db、Dpl、DplA、DplB、Dp2、Dp2A、Dp2B:间隙尺寸
[0042]z:方向
[0043]Θ:方向(开度)
【具体实施方式】
[0044]为更进一步阐述本实用新型为达成预定发明目的所采取的技术手段及功效，以下结合附图及较佳实施例，对依据本实用新型提出的真空阀其【具体实施方式】、结构、特征及其功效，详细说明如后。
[0045]图1表示本实用新型的一实施方式的真空阀I。真空阀I包括阀本体2、使阀板6向Θ方向摆动驱动的电动机7、及将未图示的密封环(参照图3)向z方向驱动的电动机8。阀本体2包括收纳阀板6及密封环(未图示)的壳体4、及凸缘3。凸缘3与壳体4分开形成，且凸缘3螺固在壳体4。凸缘3用于固定于真空处理装置的真空腔室。另外，图1中虽未图示，但在壳体4的固定着凸缘3的一侧的相反侧，形成着供真空栗固定的紧固面(参照图3) ο
[0046]如所述那样，阀板6利用电动机7而摆动驱动。在该驱动下，阀板6在遮蔽凸缘开口的位置(与开度0%相对应)和凸缘开口全部开放的位置(与开度100%相对应)之间滑动移动。本实施方式的真空阀I通过对阀板6的开度Θ进行调整，而能够控制从凸缘3侧向相反侧的凸缘侧流动的气体的流量，即，从真空腔室向真空栗流动的气体的流量。
[0047]图2、图3是表示已从壳体4卸下凸缘3的状态的图。图2是立体图。图3是示意性地表示凸缘3及壳体4的紧固凸缘3的部分的剖面图。如图3所示，凸缘3上形成着筒部3A。凸缘3以筒部3A插入到形成于壳体4的开口 4A2的方式，螺固于壳体4的紧固面4C。此外，本实施方式中，凸缘3与壳体4之间设置着至少一个(优选多个)销100。
[0048]在凸缘3上形成着多个螺固用的螺栓孔10 (贯通孔10)。此外，凸缘3的紧固面3D上形成着供销100插设的至少一个(优选多个)销孔31。另一方面，在壳体4的紧固面4C(与紧固面3D相向的面)，螺固用的螺纹孔11分别形成在凸缘3的与螺栓孔10相向的位置。而且，在紧固面4C上，在凸缘3的与销孔31相向的位置分别形成着销孔41。
[0049]凸缘3的紧固面3C上形成着多个用以将真空腔室的凸缘紧固在凸缘3的螺纹孔20。而且，壳体4的图示下侧的紧固面4B上形成着多个螺纹孔40。形成在紧固面4B的开口 4A1形成为直径与形成在凸缘3的开口 3B的直径相同，且与开口 3B同心。
[0050]另外，图3表示阀板6受到驱动而滑动到与开口 3B及开口 4A1相向的位置的状态。该状态下，阀板6的开度Θ与0%相对应，开口 3B及开口 4A1由阀板6遮蔽。然而，如图3所示，在阀板6的边缘部分与壳体4之间形成着间隙，真空阀I的流路并非为完全闭合的状态。从该状态利用电动机8 (图2)使密封环60向阀板6侧移动，而形成阀板6夹持于密封环60与壳体4的状态，由此真空阀I的流路成为完全闭合的状态。
[0051](销100的说明)
[0052]图4(a)、图4(b)是说明销100的图。图4(a)是表示螺固部分的剖面图，图4(b)是设置着销100的部分的剖面图。
[0053]如所述般，真空栗中，在转子因与定子接触等而紧急停止的情况下，因该冲击而真空栗的吸气口凸缘会产生大的旋转转矩。而且，该旋转转矩也会被传递到真空阀I的壳体4、凸缘3、紧固于凸缘3的真空腔室。因此，在凸缘3与壳体4的紧固部分，当旋转转矩的方向为