真空阀的利记博彩app
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种真空阀，其包括:带有第一壳体件和第二壳体件的阀壳体，在壳体件之间布置有环状的壳体密封件；和封闭元件(Verschlussglied)，其可在真空阀被打开的打开位置与真空阀被关闭的关闭位置之间调节。
【背景技术】
[0002]多件式地构造真空阀的阀壳体且通过弹性密封圈(其也被称为“静态密封件”)将各个壳体件相对彼此密封是已知且常见的。在此，阀壳体的壳体盖大多被构造为单独的部分，其经由密封件与阀壳体的基体相连接，以便使真空阀的装配和必要时服务的执行成为可能或容易。
[0003]例如，这样的真空阀可以以角阀的形式构造，如其此外由文件US 6,669, 170 B2、US 6, 289,932 BUDE 40 23 845 CUUS 2009/0194728 AUDE 10 2005 004 987 AUDE 102008 003 725 Al和DE 31 25 034 Al已知的那样。但是例如滑阀或L形阀也以该形式来构造。在滑阀中，封闭元件被直线地从其打开位置推到其关闭位置中或承载封闭元件的支架件被直线地从起始位置推到最终位置中，其中，在最终位置中或靠近最终位置作用有杆元件或分叉元件，其将封闭元件相对于支架件的运动方向有角度地按压到阀座处。这样的滑阀大多数仅具有单个的移动支架件的促动器或也可通过手动驱动器来操纵。尤其板状构造的封闭元件的L形运动也可通过单独的在阀杆的纵向和横向上起作用的促动器来实施或者阀杆可首先被直线地推动且然后例如通过滑块引导(Kulissenfuehrung)被翻倾，以便将封闭元件靠放到阀座处。
[0004]由文件DE 37 17 724 Al得悉一种真空阀，在其中阀壳体“沿纵向”被两分，使得这两个壳体半部中的每个具有阀开口中的一个，其中，这两个壳体半部经由密封圈相互连接。
[0005]也已知将阀壳体的至少一个法兰(其具有阀开口)构造为单独的部件且与阀壳体的基体经由弹性的密封圈相连接。这样的构造例如由文件GB 990，624得悉。在此，相对基体借助于密封圈密封的法兰中的一个也具有密封面，在真空阀的关闭状态中封闭元件以布置在其处的弹性密封圈(=真空阀的“动态密封件”)被按压到该密封面处。
[0006]在传统的真空阀中，动态密封件大多数被安装在封闭元件处且阀座由密封面来形成，封闭元件以布置在其处的密封件在真空阀的关闭状态中贴靠在该密封面处。但是还已知在密封座处设置弹性的密封件，封闭元件在关闭位置中以封闭元件的密封面贴靠在其处。
[0007]由文件WO 2012/162051 Al已知经由薄的接片连接两个或更多个O形圈，接片与O形圈材料一体地来构造。O形圈由此可彼此如此靠近地来布置，从而未留有足够空间用于构造用于所有O形圈的燕尾槽。在此，插入燕尾槽中的O形圈可保持至少另一被插入矩形槽中的O形圈。
【发明内容】
[0008]本发明的目的是提供一种开头所提及的类型的可成本有利地构造的且可简单地装配的真空阀。根据本发明，这通过一种带有权利要求1的特征的真空阀来实现。
[0009]在根据本发明的真空阀中，壳体密封件(其布置在第一与第二壳体件之间的壳体密封件且将它们相对彼此密封)被安装在环状的支架处。此外，在支架处径向上在壳体密封件内安装有环状的阀座密封件，封闭元件在其关闭位置中被按压在该阀座密封件处。在此，阀座密封件贴靠在阀壳体的密封面处。尤其地，这两个由壳体密封件密封的壳体件中的一个具有密封面。在封闭元件的关闭位置中，封闭元件通过阀座密封件相对阀壳体来密封。
[0010]在根据本发明的真空阀中，因此设置有接下来也被称为密封单元的构件，其一方面具有壳体密封件(其形成在阀壳体的两个壳体件之间的静态密封件)、另一方面具有阀座密封件(其形成在真空阀的关闭状态中密封通过真空阀的通道的动态密封件)。阀座密封件与壳体件的密封面(阀座密封件置于其上)共同形成真空阀的阀座。
[0011]在根据本发明的真空阀中可使简单的装配过程成为可能，其中，壳体密封件和阀座密封件是共同的构件的部件，由此实现简单的操作。此外，阀壳体可在密封座的区域中非常简单地来构造、尤其具有平的密封面(阀座密封件贴靠在其处)。
[0012]在一可能的构造形式中，壳体密封件和阀座密封件被固化到支架(其在该实施形式中优选地由金属构成)处。在此，支架具有大于壳体密封件和阀座密封件的弹性模量。在另一可能的实施形式中，壳体密封件和阀座密封件被喷注到支架处，其中，支架由必要时包含添加剂(如强化纤维)的塑料构成，其具有比构成壳体密封件和阀座密封件的材料更大的弹性模量。在两个实施形式中，如果壳体密封件在支架的整个外周缘上径向向外伸出超过支架而阀座密封件在支架的整个内周缘上径向向内伸出超过支架，是有利的。
[0013]在本发明的一有利的实施形式中，真空阀以角阀的形式来构造且第一和第二壳体件(壳体密封件处于它们之间)由阀壳体的基体和阀壳体的具有阀开口的部分形成。阀壳体的具有阀开口的该部分设有用于将真空阀与另外的真空构件、例如腔室或真空管连接的法兰。在此，密封面(阀座密封件贴靠在其处)有利地布置在具有阀开口的第二壳体件处且围绕阀开口的轴线。
【附图说明】
[0014]接下来根据附图来阐述本发明的另外的优点和细节。其中:
图1显示了根据本发明的真空阀的一实施例的斜视图；
图2显示了图1的真空阀的侧视图；
图3显示了在封闭元件的打开位置中沿着图2的线AA的剖面；
图4显示了在封闭元件的关闭位置中沿着图2的线AA的剖面；
图5显示了密封单元的斜视图；
图6和图7显示了密封单元的视图和侧视图；
图8显示了沿着图6的线BB的剖面；
图9显示了沿着图6的线CC的剖面；
图10显示了根据本发明的第二实施例的真空阀的斜视图；
图11显示了图10的真空阀的侧视图；
图12显示了在封闭元件的打开位置中沿着图11的线DD的剖面； 图13显示了在封闭元件的关闭位置中沿着图11的线DD的剖面； 图14显不了对图10的真空阀的俯视图；
图15显示了在封闭元件的关闭位置中沿着图14的线EE的剖面； 图16显示了分解图示。
[0015]附图标记清单 I阀壳体 Ia壳体件 Ib壳体件 2螺栓 3密封单元 3a支架 3b壳体密封件 3c阀座密封件 3d轴线 4阀座 5阀开口 6阀开口 7轴线 8轴线 9封闭元件 10关闭方向 11联接法兰 12连接法兰
13联接法兰 14缸体 14a底部 15促动器 17凹部 18活塞 19活塞杆 20阀杆 21导向套 22闭合弹簧 23缸体室 24穿通孔 25盒管 26密封圈 27旋转件 28旋转轴线 29第一驱动件 30第二驱动件 31止挡 32壳体盖 33标记环 34环形凸缘 35止挡 36螺母。
【具体实施方式】
[0016]根据本发明的真空阀的第一实施例在图1至9中示出。
[0017]真空阀具有阀壳体I ο其在该实施例中包括第一壳体件Ia (其构造真空阀的基体)和第二壳体件Ib (其具有带有轴线7的阀开口 5)。第一和第二壳体件la、Ib借助于环状的壳体密封件3b (其在下面进一步更精确地来说明)相互密封。
[0018]具有阀开口 5的第二壳体件Ib具有联接法兰11。真空阀可经由该联接法兰与另外的真空构件、例如真空腔或真空管相连接。联接法兰11布置在壳体件Ib的管状的截段处。在它的面向壳体件Ia的端部处，壳体件Ib具有用于与壳体件Ia连接的连接法兰12。壳体件Ib也可被称为阀接管(Ventilstutzen)。
[0019]形成阀壳体的基体的壳体件Ia设有与阀壳体的基体一件式地构造的或设有被焊接到基体处的阀接管。该阀接管具有带有轴线8的真空阀的另一阀开口 6且包括管状的截段和布置在管状的截段的自由端处的用于将真空阀与另外的真空构件连接的联接法兰13。
[0020]壳体件la、lb例如由铝构成。例如，由优质钢构造也是可能的。
[0021]在该实施例中，气动的活塞缸体单元的缸体14被安放到壳体件Ia的敞开侧上。该活塞缸体单元是用于自动地(机械地)调节封闭元件9的促动器15。因此，缸体14的封闭壳体件Ia的敞开侧的底部14a同样可被视为以壳体盖的形式的阀壳体I的壳体件。缸体14的该底部14a然而在该实施例中处于真空阀的真空区域之外，如下面进一步更精确地来阐述的那样。
[0022]真空阀的所示的实施例以角阀的形式来构造。因此，第一和第二阀开口 5、6的轴线7、8彼此成角度、尤其成直角。
[0023]使用螺栓2用于连接壳体件la、lb。其贯穿在壳体件Ia中的钻孔(其在图1至4中不可见、但是以与在第二实施例中类似的方式来构造，参见图15)。
[0024]螺栓2的头部和/或被置入其下的垫圈搭接连接法兰12且因此将壳体件Ib拉向壳体件la。壳体件Ia具有凹部17，连接法兰12被插入其中。凹部17的底部有利地成阶梯形地构造且具有第一截段(连接法兰12置于其上)和相对于此凹入的第二截段(壳体密封件3d置于其上)。在壳体件la、lb的相连接的状态中，连接法兰12的外表面(至少在由螺栓2和垫圈(倘若存在)所搭接的区域中)优选地与壳体件Ia的外表面的联接到连接法兰12处的、被由螺栓2和垫圈(倘若存在)遮盖的截段齐平。
[0025]螺栓2被拧入缸体14的内螺纹中。作为替代，其也可贯穿通过缸体14的钻孔且被拧入抵靠缸体14支撑的螺母中。
[0026]通过所说明的构造来实现壳体件Ia与壳体件Ib且还与缸体14的非常简单的连接。
[0027]壳体件Ib的管状的截段也可取消且联接法兰11可直接布置在连接法兰12处。
[0028]壳体件Ia的连接接管同样可由单独的部件来形成，其经由旋拧与壳体件Ia相连接。管状的截段(联接法兰13布置在其处)也可取消而联接法兰13可直接布置在阀壳体I的基体处。
[0029]在阀壳体I中布置有尤其板状构造的封闭元件9。在真空阀的关闭的(密封的)状态中，封闭元件9占据其关闭位置且被按压到阀座4处，参见图4。阀座4由在该实施例中布置在第二壳体件Ib处的密封面和置于该密封面上的环状的阀座密封件3c形成。锁闭连杆9具有优选地平面地构造的密封面，封闭元件以该密封面贴靠在阀座密封件3c处。阀座密封件3c是在下面进一步更精确地来阐述的密封单元3的部分。
[0030]壳体件Ib的密封面(阀座密封件3c贴靠在其处)有利地平面地来构造且优选地处在垂直于第二壳体件