阳极以及具备该阳极的高速电镀装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种阳极以及具备该阳极的高速电镀装置。
【背景技术】
[0002]在专利文献1中公开了一种现有的高速电镀装置。该高速电镀装置具备由金属筒和盖部件构成的密闭容器，其中，所述金属筒为阳极，所述盖部件一体地结合在该金属筒的两端上。金属筒为铜制，并在其内表面以及端面上电沉积有铂薄膜。相对置的两个盖部件设置有供栓部件滑动自如地插穿的插穿孔。栓部件为对被镀物进行夹持并保持的部件，且构成保持装置的一部分。此外，栓部件也为与被镀物接触并施加负电压的供电部件。
[0003]另外，该高速电镀装置具备电源装置，所述电源装置以向金属筒施加正电压且向被镀物施加负电压的方式，对金属筒以及栓部件进行通电。此外，该高速电镀装置具备由以使电镀液在密闭容器内流动的方式使电镀液进行循环的栗等构成的循环装置。
[0004]该高速电镀装置在将栓部件所夹持的被镀物收纳至密闭容器内之后，以使电镀液在密闭容器内流动的方式对栗进行驱动。而且，通过向金属筒施加正电压并经由栓部件而向被镀物施加负电压，从而能够实施电镀时间较短的高速电镀。
[0005]在先技术文献
[0006]专利文献
[0007]专利文献1:日本特开昭55-138097号公报
【发明内容】
[0008]发明所要解决的课题
[0009]但是，由于专利文献1的高速电镀装置与一般的电镀装置相比，以更大的电流密度来实施电镀，因此电沉积在金属筒的内表面上的铂薄膜会在短时间内剥离或消耗。由于当电沉积在金属筒的内表面上的铂薄膜剥离或消耗时无法均匀地实施电镀，因此，该高速电镀装置中，金属筒的更换频率会增加，并且追加加工铂薄膜的费用将提高。
[0010]本发明为鉴于上述现有的情况而完成的发明，作为应当解决的课题在于，提供一种能够长期间良好地实施电镀的阳极以及具备该阳极的高速电镀装置。
[0011 ] 用于解决课题的方法
[0012]本发明的阳极为筒状，并在所述阳极与配置在该阳极内部的被镀物之间形成使电镀液流动的空间，且所述阳极被施加正电压，所述阳极的特征在于，具备:外筒部，其具有导电性；内筒部，其以与该外筒部的内表面相接的方式被焊接并由铂制的板料构成。
[0013]发明效果
[0014]由于该阳极将由铂制的板料构成的内筒部焊接在导电性的外筒部的内表面上，因此能够使由铂制的板料构成的内筒部牢固地紧贴在导电性的外筒部上。因此，能够减少在电镀工序中由铂制的板料构成的内筒部从外筒部的内表面剥离的情况。此外，由于内筒部由铂制的板料形成，因此与电沉积而成的铂薄膜相比能够减少由于实施电镀而产生的消耗量。如此，该阳极能够减少更换频率，从而能够降低追加加工费。
[0015]因此，本发明的阳极以及具备该阳极的高速电镀装置能够长期良好地实施电镀。
【附图说明】
[0016]图1为表示沿着实施例的高速电镀装置的第二供电部件的移动方向的截面的剖视图。
[0017]图2为表示沿着实施例的高速电镀装置的保持部件的移动方向的截面的剖视图。
[0018]图3表示实施例的阳极，㈧为表示将钛制的平板料与铂制的平板料焊接在一起的状态的剖视图，(B)为表示卷成圆筒状并使端面对接而焊接在一起的状态的剖视图。
[0019]图4为表不实施例的阳极与第一供电部件的剖视图。
[0020]图5为将实施例的高速电镀装置的与阳极的上部相比靠上方的部分放大的剖视图。
[0021]图6为将实施例的高速电镀装置的对阳极下部进行支承的下部承受部件周围放大后的剖视图。
[0022]图7为从上方观察实施例的高速电镀装置的俯视图。
[0023]图8为实施例的第二供电部件所处的位置的水平剖视图。
[0024]图9为实施例的第二供电部件的局部剖视图。
[0025]图10为实施例的保持部件所处的位置的水平剖视图。
[0026]图11为表示沿着实施例的高速电镀装置的第二供电部件的移动方向的截面、且为被镀物下降至阳极内前的剖视图。
[0027]图12为表示沿着实施例的高速电镀装置的保持部件的移动方向的截面、且为被镀物下降至阳极内前的剖视图。
[0028]图13为表示沿着实施例的高速电镀装置的第二供电部件的移动方向的截面、且为被镀物的下端部被插入到支承棒的上端的凹部中的状态的剖视图。
[0029]图14为表示沿着实施例的高速电镀装置的第二供电部件的移动方向的截面、且为被镀物下降至阳极内的状态的剖视图。
[0030]图15为表示实施例的第二供电部件的顶端部与被镀物的外周面接触的状态的剖视图。
[0031]图16为表示沿着实施例的高速电镀装置的保持部件的移动方向的截面、且为保持部对被镀物进行保持的状态的剖视图。
[0032]图17为表示保持部对被镀物进行保持的状态的水平剖视图。
[0033]图18为对实施例的高速电镀装置的与阳极的上部相比靠上方的部分进行了放大、且为表示保持部对被镀物进行保持的状态的剖视图。
【具体实施方式】
[0034]参照附图，对将本发明的具备阳极的高速电镀装置具体化了的实施例进行说明。
[0035]<实施例>
[0036]如图1及图2所示，实施例的高速电镀装置具备:阳极10 ;第一供电部件20，其与阳极10接触并施加正电压；第二供电部件30，其与作为工件的被镀物1接触并施加负电压；保持装置40，其具备对被镀物1进行保持的保持部件41 ;加压装置50，其向配置有保持部件41的保持室45内送入空气而进行加压；循环装置60，其使电镀液进行循环；电源装置70，其对阳极10和第二供电部件30进行通电。
[0037]阳极10为圆筒状并以在铅直方向上延伸的方式而被配置。如图3及图4所示，阳极10具有由钛制的板料形成的外筒部11、和由铂制的板料形成的内筒部12。此外，如图1及图2所示，阳极10具有分别外嵌于上下端部上的钛制的环形部件13。
[0038]该阳极10以接下来所说明的方式被制造。首先，使铂制的平板料12A重叠在钛制的平板料11A上，并通过电阻焊接而使表面彼此焊接在一起，从而制造双重结构的板料10A(参照图3(A))。接下来，以使铂制的平板料12A成为内侧的方式卷起来，以成为圆筒状的方式成形，并以使端面对接的方式进行焊接(参照图3(B))。而且，将环形部件13分别焊接在阳极10的上下端部的外周面上从而实现一体化。
[0039]如此，由于将由铂制的板料12A构成的内筒部12焊接在具有导电性的钛制的外筒部11的内表面上从而形成阳极10，因此，能够使由铂制的板料12A构成的内筒部12牢固地紧贴在导电性的外筒部11上。因此，能够减少在电镀工序中由铂制的板料12A构成的内筒部12从外筒部11的内表面上剥离的情况。此外，由于内筒部12由铂制的板料12A形成，因此与电沉积而成的铂薄膜相比能够减少由于实施电镀而产生的消耗量。如此，该阳极10能够减少更换频率，从而能够降低追加加工费。
[0040]因此，实施例的阳极10以及具备该阳极10的高速电镀装置能够长期良好地实施电镀。
[0041]此外，由于通过使铂制的平板料12A重叠在钛制的平板料11A上并使表面彼此焊接在一起之后，以成为圆筒状的方式卷起来并使端面对接地进行焊接，从而使阳极10成形，因此，能够容易地使圆筒状的阳极10成形，所述圆筒状的阳极10通过由钛制的平板料11A形成的外筒部11、和由铂制的平板料12A形成的外筒部11而构成。
[0042]如图1、图2及图4所示，第一供电部件20由第一部件21和第二部件22形成，并且这些部件被安装于分别外嵌在阳极10的上下端部上的环形部件13之间。第一部件21为铜板，第二部件22由与第一部件21相比而较薄的铜板形成。第一部件21为沿着阳极10而在上下方向上延伸的纵长的长方形的平板，其左右中央部与在铅直方向上于一条直线上延伸的阳极10的外周面接触。第二部件22为以两端部与第一部件21抵接的方式在上下方向上延伸的纵长的长方形的平板，该两端部通过多个螺栓而被螺纹结合在第一部件21上。第二部件22以在被螺纹结合在第一部件21上的状态下覆盖阳极10的方式中央部U字状地向前方鼓出，并且其内表面与阳极10的从第一部件21远离的半周面接触。第一供电部件20通过使对第一部件21与第二部件22进行结合的螺栓旋松从而拆卸阳极10并进行更换。
[0043]如图1及图2所示，阳极10的上端部通过上部承受部件80而被支承，下端部通过下部承受部件90而被支承。上部承受部件80被固定在具有供阳极10插穿的开口的平板状的第一固定部件100上。下部承受部件90被固定在具有供后述的支承棒15插穿的开口的平板状的第二固定部件101上。第二固定部件101通过从第一固定部件100的下表面起向下方垂下的四个连结部件102而被连结于第一固定部件100的下方。
[0044]如图5所示，上部承受部件80的外形形状为长方体形状，并具有向铅直上方开口的上部空间81、和与该上部空间81的下端连续并向铅直下方开口的下部空间82。上部承受部件80的上部空间81以及下部空间82的各自的内周面的水平截面形状被形成为同心圆形状。上部空间81供后述的基座部件8