。两个单柔顺铰链正对对称设置是指:两个单柔顺铰链的开口朝向相对并对称设置。
[0028]实施例一
[0029]本实施例以双柔顺铰链一、双柔顺铰链二和双柔顺铰链三中的单柔顺铰链的横截面呈半圆形为例对下面进行说明。
[0030]如图1和图2所示，本实用新型基于对称型双柔顺铰链的三自由度微定位平台包括定平台1、动平台3、设置在定平台1上的压电陶瓷驱动器4和用于连接定平台1和动平台3的三个杠杆放大机构2 ;三个杠杆放大机构2均匀布设在动平台3的外围，并分别与定平台1、动平台3和压电陶瓷驱动器4连接。
[0031]其中，每个杠杆放大机构2包括活动杠杆5、双柔顺铰链和设置有双柔顺铰链的导向机构，活动杠杆5通过双柔顺铰链分别与定平台1和压电陶瓷驱动器4连接，并通过导向机构与动平台3连接，双柔顺铰链为对称型双柔顺铰链。
[0032]本实用新型的双柔顺铰链包括双柔顺铰链一 6和双柔顺铰链二 7，导向机构中的双柔顺铰链为双柔顺铰链三8，双柔顺铰链一 6、双柔顺铰链二 7和双柔顺铰链三8均为对称型双柔顺铰链。
[0033]更具体地说，活动杠杆5通过双柔顺铰链分别与定平台1和压电陶瓷驱动器4连接，并通过导向机构与动平台3连接是指:活动杠杆5的第一侧边5.1与动平台3相对并具有间隙一，活动杠杆5的第二侧边5.2与定平台1相对并具有间隙二 ；活动杠杆5中与第一侧边5.1相对的第三侧边5.3通过双柔顺铰链一 6与定平台1连接；活动杠杆5中与第二侧边5.2相对的第四侧边5.4的中部与定平台1相对并具有间隙三，第四侧边5.4的两侧分别通过双柔顺铰链二 7和导向机构与压电陶瓷驱动器4和动平台3连接。其中，间隙一、间隙二和间隙三均相等。
[0034]而双柔顺铰链一 6由两个相同的单柔顺铰链组成，两个单柔顺铰链背对对称设置。本实用新型的双柔顺铰链一 6的形状设计可承受弹性变形，从而可获取一部分运动。双柔顺铰链二 7和双柔顺铰链三8均由两个相同的单柔顺铰链组成，两个单柔顺铰链正对对称设置。本实用新型的双柔顺铰链二 7和双柔顺铰链三8的形状设计可起到传递位移和运动的作用。
[0035]本实用新型的导向机构包括柔顺铰链三8和连接在柔顺铰链三8之间的连杆9。而导向机构一端的柔顺铰链三8与活动杠杆5的第四侧边5.4连接，其另一端的柔顺铰链三8与动平台3连接，实现活动杠杆5通过导向机构与动平台3连接。本实用新型的连杆9具有矫正位移输出的作用，使得位移尽量呈线性输出，从而减小耦合位移。
[0036]本实用新型的三个杠杆放大机构2呈120°对称分布在动平台3的外围，其中，三个杠杆放大机构2中的活动杠杆5长度方向的轴线共面且交于一点。
[0037]实施例二
[0038]本实施例与实施例一不同之处仅在于:双柔顺铰链一、双柔顺铰链二和双柔顺铰链三中的单柔顺铰链的横截面呈弧形、圆弧形、半椭圆形或其它形状。
[0039]本实施例其它结构与实施例——致。
[0040]上述实施例为本实用新型较佳的实施方式，但本实用新型的实施方式并不受上述实施例的限制，其他的任何未背离本实用新型的精神实质与原理下所作的改变、修饰、替代、组合、简化，均应为等效的置换方式，都包含在本实用新型的保护范围之内。
【主权项】
1.一种基于对称型双柔顺铰链的三自由度微定位平台，其特征在于:包括定平台、动平台、设置在定平台上的驱动器和用于连接定平台和动平台的三个杠杆放大机构；所述三个杠杆放大机构均匀布设在动平台的外围，并分别与定平台、动平台和驱动器连接； 其中，每个杠杆放大机构包括活动杠杆、双柔顺铰链和设置有双柔顺铰链的导向机构；所述活动杠杆通过双柔顺铰链分别与定平台和驱动器连接，并通过导向机构与动平台连接；所述双柔顺铰链为对称型双柔顺铰链。2.根据权利要求1所述的基于对称型双柔顺铰链的三自由度微定位平台，其特征在于:所述双柔顺铰链包括双柔顺铰链一和双柔顺铰链二 ；所述导向机构中的双柔顺铰链为双柔顺铰链三；双柔顺铰链一、双柔顺铰链二和双柔顺铰链三均为对称型双柔顺铰链。3.根据权利要求2所述的基于对称型双柔顺铰链的三自由度微定位平台，其特征在于:所述活动杠杆通过双柔顺铰链分别与定平台和驱动器连接，并通过导向机构与动平台连接是指:所述活动杠杆的第一侧边与动平台相对并具有间隙一；活动杠杆的第二侧边与定平台相对并具有间隙二 ；活动杠杆中与第一侧边相对的第三侧边通过双柔顺铰链一与定平台连接；活动杠杆中与第二侧边相对的第四侧边的中部与定平台相对并具有间隙三，第四侧边的两侧分别通过双柔顺铰链二和导向机构与驱动器和动平台连接；其中，间隙一、间隙二和间隙三均相等。4.根据权利要求2所述的基于对称型双柔顺铰链的三自由度微定位平台，其特征在于:所述双柔顺铰链一由两个相同的单柔顺铰链组成，两个单柔顺铰链背对对称设置。5.根据权利要求2所述的基于对称型双柔顺铰链的三自由度微定位平台，其特征在于:所述双柔顺铰链二和双柔顺铰链三均由两个相同的单柔顺铰链组成，两个单柔顺铰链正对对称设置。6.根据权利要求4或5所述的基于对称型双柔顺铰链的三自由度微定位平台，其特征在于:所述单柔顺铰链的横截面呈弧形、圆弧形、半圆形或半椭圆形。7.根据权利要求5所述的基于对称型双柔顺铰链的三自由度微定位平台，其特征在于:所述导向机构包括柔顺铰链三和连接在柔顺铰链三之间的连杆。8.根据权利要求7所述的基于对称型双柔顺铰链的三自由度微定位平台，其特征在于:所述活动杠杆通过导向机构与动平台连接是指:导向机构一端的柔顺铰链三与活动杠杆连接，其另一端的柔顺铰链三与动平台连接，实现活动杠杆通过导向机构与动平台连接。9.根据权利要求1所述的基于对称型双柔顺铰链的三自由度微定位平台，其特征在于:所述三个杠杆放大机构呈120°对称分布在动平台的外围。10.根据权利要求1所述的基于对称型双柔顺铰链的三自由度微定位平台，其特征在于:所述三个杠杆放大机构中的活动杠杆长度方向的轴线共面且交于一点。
【专利摘要】本实用新型提供一种基于对称型双柔顺铰链的三自由度微定位平台，包括定平台、动平台、设置在定平台上的驱动器和用于连接定平台和动平台的三个杠杆放大机构；三个杠杆放大机构均匀布设在动平台的外围，并分别与定平台、动平台和驱动器连接；其中，每个杠杆放大机构包括活动杠杆、双柔顺铰链和设置有双柔顺铰链的导向机构；活动杠杆通过双柔顺铰链分别与定平台和驱动器连接，并通过导向机构与动平台连接；双柔顺铰链为对称型双柔顺铰链。该微定位平台在满足安装空间和固定频率等各种条件的前提下，可提高位移定位精度和获得尽量大的行程；其具有矫正位移输出功能的微定位平台，使得位移尽量呈线性输出，从而减小耦合位移。
【IPC分类】B81C99/00
【公开号】CN205023842
【申请号】CN201520741970
【发明人】卢清华, 张财喜
【申请人】佛山科学技术学院
【公开日】2016年2月10日
【申请日】2015年9月23日