一种用于晶片刷洗的陶瓷盘刷洗结构的利记博彩app

本实用新型涉及一种刷洗机刷洗结构，尤其是涉及一种具有清洗液喷洒、毛刷高度调节、毛刷刷洗、晶片固定以及晶片甩干的一种用于晶片刷洗的陶瓷盘刷洗结构。

背景技术：

目前，市场上有各种各样的半导体制造领域单晶片刷洗结构，大部分使用时侯不能调节刷子的刷洗高度。

本实用新型为了克服上述缺陷，进行了有益的改进。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于解决现有技术中的上述不足，提供了一种具有清洗液喷洒、毛刷高度调节、毛刷刷洗、晶片固定以及晶片甩干的一种用于晶片刷洗的陶瓷盘刷洗结构。

为了实现上述目的，本实用新型采用以下技术方案：

一种用于晶片刷洗的陶瓷盘刷洗结构，其特征在于：该陶瓷盘刷洗结构包括工作平台升降组件，刷洗主轴组件、甩干轴组件、毛刷移动组件、干燥空气吹扫系统、刷洗槽和调速电机组件，所述调速电机组件安装在工作平台升降组件的工作平台和导向柱固定板之间，所述刷洗主轴组件通过螺钉固定安装在工作平台升降组件的工作平台上，通过调速电机组件驱动进行高速旋转，同时还与真空系统连接在刷洗主轴组件顶部的真空吸附头产生真空，用于固定晶片，所述的甩干轴组件通过螺钉固定安装在工作平台升降组件的工作平台上，通 过调速电机组件驱动进行高速或低速旋转，所述刷洗槽安装在工作平台升降组件的工作平台上，并罩住刷洗主轴组件和甩干轴组件，所述所述毛刷移动组件上的毛刷在伺服电机系统的驱动下，可以实现毛刷的旋转运动，并往复刷洗晶片，通过调节毛刷移动组件上气缸驱动和调节螺杆，实现调整毛刷与晶片在刷洗运动时的距离，所述毛刷移动组件还包括清洗液喷洒结构、清水喷洒结构和吹扫系统，所述清洗液喷洒结构跟随毛刷的刷洗位置进行药业喷洒，所述吹扫系统安装在毛刷移动组件的刷洗总支撑板上，且位于甩干轴组件的上方，所述毛刷移动组件还包括挡水护罩，所述挡水护照固定在刷洗总支撑板底部，通过工作平台升降组件的上下移动，使挡水护罩与刷洗槽打开或闭合，刷洗的时候可以保持刷洗液不会飞溅；

进一步地，所述工作平台升降组件包括工作平台、升降气缸、导向柱、直线轴承和导向柱固定板，所述升降气缸通过紧固螺钉三安装在工作平台上，所述直线轴承通过紧固螺钉二固定在工作平台上，所述导向柱固定板通过紧固螺钉一固定在升降气缸下部，所述导向柱通过锁紧螺母固定在导向柱固定板上面，穿过直线轴承并在其内滑动，所述导向柱上部设置有凸台和螺纹孔，用于固定毛刷移动组件；

进一步地，所述刷洗主轴组件包括真空吸附头，刷洗主轴、卡簧、轴承座一、轴承一、轴承套一、轴承套二、轴承盖一、高速旋转接头一和同步带轮一，所述高速旋转接头一与外部真空吸附系统连接，在刷洗主轴内产生真空，在真空吸附头上安装有密封圈一，可以实现固定晶片的作用，通过所述调速电机组件驱动刷洗主轴组件高速 旋转，所述刷洗主轴上部的沟槽内安装密封圈二，所述真空吸附头通过固定螺钉一安装在刷洗主轴上，通过挤压密封圈，使刷洗主轴和刷洗吸附头之间没有间隙，可以达到防漏气的作用，所述刷洗主轴的下部安装轴承座一，所述轴承座一内部依次安装有卡簧、轴承一、轴承套一和轴承套二，所述轴承座一的底部设置有轴承盖一，所述轴承盖一的下端通过高速旋转接头一连接有同步带轮一；

进一步地，所述甩干轴组件包括甩干盘、甩干盘挡柱、甩干轴上部、甩干轴下部、小型气缸、晶片托盘、轴承座二、轴承二、轴承套三、轴承套四、轴承盖二、高速旋转接头二、同步带轮二，所述甩干轴组件通过调速电机组件驱动进行高速或者低速旋转，所述甩干轴上部通过固定螺钉二与所述甩干盘连接，所述甩干盘挡柱的上面有大倒角，下面采用螺纹结构，安装在所述甩干盘上，所述晶片托盘安装在小型气缸上，托举或者放下晶片，方便放下或者取出晶片，所述小型气缸的主体套装在甩干盘下部，所述甩干盘下部插入轴承座二内，所述轴承座二内部还依次设置有轴承二、轴承套三和轴承套四，所述轴承座二的底部安装有轴承盖二，所述轴承盖二外侧通过高速旋转转接头二和旋转接头连接件安装有同步带轮二；

进一步地，所述毛刷移动组件包括毛刷主轴固定组件、毛刷往复移动刷洗组件、定位组件、过线管、挡水护罩和刷洗总支撑板，述刷洗总支撑板上有3个通孔，通过螺钉固定在工作平台升降组件的导向柱上，所述过线管安装在刷洗总支撑板的一侧，用于线路走线，所述毛刷往复移动刷洗组件包括伺服电机系统、刷洗移动丝杠套、刷 洗轴移动支座、刷洗头支撑座和直线导轨，所述刷洗移动支座通过螺钉与刷洗总支撑板连接，并通过螺钉与刷洗移动丝杠套连接，由伺服电机系统驱动，可以实现毛刷的往复移动，通过定位组件的定位，可以保护毛刷往复移动的安全；

进一步地，所述毛刷主轴固定组件包括调速电机、调速电机固定板、直线导轨、气缸固定板、调整螺杆、毛刷旋转主轴固定板、毛刷、毛刷旋转主轴、同步带轮三、气缸、直线导轨固定板，所述直线导轨固定板通过螺丝固定在刷洗头支撑板上，所述直线导轨通过螺钉固定在直线导轨固定板上，所述毛刷旋转主轴固定板通过螺钉安装在直线导轨上，所述气缸通过螺钉下部安装在刷洗头支撑板上，上部通过螺钉与气缸固定板连接，所述气缸固定板通过螺钉连接安装在毛刷旋转主轴固定板上，毛刷旋转主轴通过毛刷连接安装在毛刷旋转主轴固定板上，所述毛刷通过螺纹安装在旋转主轴上，所述调速电机通过螺钉连接安装调速电机固定板上，所述调速电机固定板通过螺钉连接安装在气缸固定板上，通过气缸驱动可以实现毛刷旋转主轴上下移动，所述毛刷高度调节螺丝安装在气缸固定板上，调整调节螺丝的高低，可以控制气缸收缩行程，可以实现毛刷刷洗高度调节的作用，通过调试电机的驱动，可以实现毛刷旋转主轴旋转运动；

进一步地，所述清洗液喷洒结构和清水喷洒结构安装在刷洗支撑板中，跟随刷洗支撑板运动，位于刷洗主轴组件上方，向刷洗主轴组件上固定的晶片表面喷洒清洗液或者清水。

本实用新型的有益效果：本实用新型是一款有药液喷洒、毛 刷自动刷洗、毛刷高度调节、晶片固定、晶片甩干及干燥空气吹扫的刷洗结构，其中，毛刷可实现左右旋转两个方向的刷洗，并且可以进行毛刷高度的调节，可以实现刷洗轴对晶片的真空固定，甩干轴的高速甩干和干燥空气的吹干，上下晶片的时候有自动托举功能，将晶片托出，可以提高刷洗效率和成品率。

附图说明

图1是本实用新型实施例刷洗结构示意图；

图2是本实用新型实施例刷洗结构分解示意图；

图3是本实用新型实施例刷洗结构工作平台升降组件分解示意图；

图4是本实用新型实施例刷洗结构刷洗轴组件分解示意图；

图5是本实用新型实施例刷洗结构甩干轴组件分解图；

图6是本实用新型实施例刷洗结构毛刷固定结构组件分解图。

附图标记：1、工作台升降组件；1-1、工作平台；1-2、导向柱；1-3、直线轴承；1-4、升降气缸；1-5、导向柱固定板；1-6、锁紧螺母；1-7、紧固螺钉一；1-8、紧固螺钉二；1-9、紧固螺钉三；2、刷洗轴组件；2-1、固定螺钉一；2-2、密封圈一；2-3、真空吸附头；2-4、密封圈二；2-5、刷洗主轴；2-6、轴承座一；2-7、卡簧；2-8、轴承一；2-9、轴承套一；2-10、轴承套二；2-11、轴承盖一；2-12、同步带轮一；2-13、高速旋转接头一；3、甩干轴组件；3-1、晶片托盘；3-2、甩干盘挡柱；3-3、甩干盘；3-4、甩干轴上部；3-5、小型 气缸；3-6、甩干轴下部；3-7、轴承座二；3-8、轴承二；3-9、轴承套三；3-10、轴承套四；3-11、轴承盖二；3-12、同步带轮二；3-13、旋转接头连接件；3-14、高速旋转接头二；3-15、固定螺钉二；4、毛刷移动组件；4-1、调速电机；4-2、调速电机固定板；4-3、直线导轨；4-4、气缸固定板；4-5、调整螺杆；4-6、毛刷旋转主轴固定板；4-7、毛刷；4-8、毛刷旋转主轴；4-9、同步带轮三；4-10、清洗液喷洒结构；4-11、毛刷移动支座；4-12、伺服电机系统；4-12-1、刷洗移动丝杠套；4-13、定位组件；4-14、清水喷洒装置；4-15、过线管；4-16、挡水护罩；4-17、刷洗总支撑板；4-18、直线导轨；4-19、刷洗头支撑板；4-20、气缸；4-21、刷洗头支撑座；5、调速电机组件；6、陶瓷盘；7、刷洗槽；8、吹扫系统；9、检测元件；10、紧固件；

具体实施方式

下面结合附图与实施例对本实用新型作进一步的说明。

本实用新型的实施例整体结构参考图1-2所示，一种刷洗机清洗液单晶片刷洗结构，包括工作平台升降组件1，刷洗主轴组件2、甩干轴组件3、毛刷移动组件4，还包括清洗液喷洒结构4-10和清水喷洒结构4-14、干燥空气吹扫系统8、刷洗槽7、挡水护罩4-16、调速电机组件5、检测元件9、待刷洗晶片及螺钉紧固件，所述工作平台升降组件包括工作平台1-1、升降气缸1-4、导向柱1-2、直线轴承1-3、导向柱固定板1-5、锁紧螺母1-6及紧固螺钉一1-7、紧固螺钉二1-8、紧固螺钉三1-9，所述刷洗主轴2，通过螺钉固定在工 作台升降平台组件1的工作平台1-1上，通过调速电机驱动5进行高速旋转，通过与真空系统连接在再真空吸附头2-3产生真空，用于固定晶片，所述甩干主轴组件3通过调速电机5驱动进行高速或者低速旋转，通过螺钉固定在工作台升降平台组件的工作平台1上，所述毛刷移动组件4通过伺服电机系统4-12驱动，可实现带动毛刷4-7往复刷洗晶片，毛刷移动组件通过调试电机4-1驱动，可以实现毛刷4-7旋转运动，通过气缸驱动4-20和调节螺杆4-5的调整，可以实现调整毛刷4-7与晶片在刷洗运动时候的距离，所述清洗液喷洒结构4-10和清水喷洒结构4-14安装在毛刷固定组件上，可以跟随毛刷的刷洗位置进行药业喷洒，所属干燥空气吹扫系统8安装在毛刷移动组件4的刷洗总支撑板4-17上，在甩干轴组件3上方，在甩干轴组件3高速旋转时吹扫晶片表面，让晶片表面干燥，所述刷洗槽7安装在工作平台组件的工作平台1上，所述挡水护罩4-16固定在刷洗总支撑板上，通过工作平台升降组件1的上下移动，使挡水护罩4-16与刷洗槽7打开或闭合，刷洗的时候可以保持刷洗液不会飞溅。

本实用新型的工作平台升降组件如图3所示，工作平台升降组件包括工作平台1-1、升降气缸1-4、导向柱1-2、直线轴承1-3、导向柱固定板1-5、锁紧螺母1-6及紧固螺钉一1-7、紧固螺钉二1-8、紧固螺钉三1-9，所述升降气缸1-4、通过紧固螺钉三1-9安装在工作平台1-1上，所述直线轴承1-3通过紧固螺钉二1-8固定在工作平台1-1上，，所述导向柱固定板通过紧固螺钉一1-7固定在升降气缸1-4上，所述导向柱1-2通过锁紧螺母固定在导向柱固定板1-5上面， 并穿过直线轴承-3并在其内滑动，其上部的凸台和螺纹孔，用于固定毛刷移动组件4。

本实用新型的刷洗主轴组件如图4所示，所述刷洗主轴组件包括真空吸附头2-3，刷洗主轴2-5、轴承座一2-6、轴承一2-8、轴承套一2-9和轴承套二2-10、轴承盖一2-11、高速旋转接头2-13、同步带轮一2-12、密封圈一2-2、密封圈二2-4、卡簧2-7及固定螺钉一2-1，所述高速旋转接头2-13与外部真空吸附系统连接，在刷洗主轴2-5内产生真空，在真空吸附头2-3上安装有密封圈一2-2，可以实现固定晶片的作用，通过调速电机组件5驱动刷洗主轴组件2高速旋转。所述刷洗主轴2-5上部有沟槽用于安装密封圈二2-4，所述刷洗吸附头2-3通过固定螺钉一2-1安装在刷洗主轴2-5上，通过挤压密封圈二2-4，使刷洗主轴2-5和刷洗吸附头2-3之间没有间隙，可以达到防漏气的作用。

本实用新型的甩干轴组件如图5所示，所述甩干轴组件包括甩干盘3-3、甩干盘挡柱3-2、甩干轴上部3-4、甩干轴下部3-6、小型气缸3-5、晶片托盘3-1、轴承座二3-7、轴承二3-8、轴承盖二3-11、轴承套三3-9和轴承套四3-10，通过调速电机组件5驱动进行高速或者低速旋转，所述晶片托盘3-1安装在小型气缸3-5上，托举或者放下晶片，方便放下或者取出晶片。所述甩干挡住3-2，上面有个大倒角，下面是螺纹，直接安装在甩干盘3-3上。

本实用新型的毛刷移动组件如图6所示，所述毛刷移动组件包括毛刷主轴固定组件、毛刷往复移动刷洗组件、定位组件4-13、， 穿线管4-15、挡水护罩4-16、刷洗总支撑板4-17，所述刷洗总支撑板上有3个通孔，通过螺钉固定在工作平台升降组件的导向柱1-2上，所属毛刷往复移动刷洗组件包括伺服电机系统4-12、刷洗移动丝杠套4-12-1、刷洗轴移动支座4-11、刷洗头支撑座4-19、直线导轨4-18，所述刷洗移动支座4-11通过螺钉与刷洗总支撑板4-17链接，通过螺钉与刷洗移动丝杆套4-12-1链接，通过伺服电机系统4-12驱动，可以实现毛刷的往复移动，通过定位组件4-13的定位，可以保护毛刷往复移动的安全，所述毛刷主轴固定组件包括调速电机4-1、调速电机固定板4-2、直线导轨4-3、气缸固定板4-4、调整螺杆4-5、毛刷旋转主轴固定板4-6、毛刷4-7、毛刷旋转主轴4-8、同步带轮三4-9、气缸4-20、直线导轨固定板4-21，所述直线导轨固定板4-21通过螺丝固定在刷洗头支撑板4-19上，所述直线导轨4-3通过螺钉固定在直线导轨固定板4-21上，所述毛刷旋转主轴固定板4-6通过螺钉安装在直线导轨4-3上，所述气缸4-20通过螺钉下部安装在刷洗头支撑板4-19上，上部通过螺钉与气缸固定板4-4连接，所述气缸固定板4-4通过螺钉连接安装在毛刷旋转主轴固定板4-6上，毛刷旋转主轴4-8通过毛刷连接安装在毛刷旋转主轴固定板4-6上，所述毛刷4-7通过螺纹连接，直接安装在旋转主轴4-8上面，所述调速电机4-1通过螺钉连接安装调速电机固定板4-2上，所述调速电机固定板4-2通过螺钉连接安装在气缸固定板4-4上，通过气缸驱动可以实现毛刷旋转主轴上下移动，所述毛刷高度调节螺杆4-5安装在气缸固定板4-4上，调整调节螺杆4-5的高低，可以控制气缸收缩行程，可以实 现毛刷刷洗高度调节的作用，通过调试电机4-1的驱动，可以实现毛刷旋转主轴4-8旋转运动。所述清洗液喷洒喷头，安装在刷洗支撑板4-19中，跟随刷洗支撑板运动，位于刷洗轴上方，向刷洗轴上固定的晶片表面喷洒清洗液或者清水。

以上所述实施方式仅表达了本实用新型的一种实施方式，但并不能因此而理解为对本实用新型范围的限制。应当指出，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围。