技术总结
本实用新型属于控制技术领域，提供了一种双循环温湿度控制系统，净化厂房内包括多个净化车间，且在净化厂房顶部包括上夹层；双循环温湿度控制系统中包括新风机组、多个风机过滤单元以及多个干管盘，其中，新风机组设置在净化厂房外侧、与净化厂房上夹层连接，风机过滤单元设置于净化厂房顶部、设于上夹层下部，干管盘设置于净化车间外技术夹层顶部、与净化厂房上夹层连接；新风机组对新风进行处理之后送入上夹层中，净化车间中的回风通过技术夹层上的干盘管进入上夹层中并与处理后的新风进行混合，混合气体经过风机过滤单元再进入净化车间中，该系统精度较高，可达温度±0.5℃、湿度±3％RH。
技术研发人员：王凤鸣
受保护的技术使用者：无锡中微掩模电子有限公司
文档号码：201620958945
技术研发日：2016.08.26
技术公布日：2017.02.22