曲面形状构件形成用感光性树脂组合物、使用其的曲面形状构件形成用感光性树脂膜和 ...的利记博彩app
【技术领域】
[0001] 本发明涉及曲面形状构件形成用感光性树脂组合物、曲面形状构件形成用感光性 树脂膜和使用它们而形成的透镜构件。
【背景技术】
[0002] 在1C技术、LSI技术中，为了提高工作速度、集成度，进行了将电配线基板中的电配 线的一部分替换为光纤、光波导等光配线，并且利用光信号代替电信号。
[0003] 例如，专利文献1公开了在表面上具备光学元件的1C芯片的上方设置光波导膜，在 这些1C芯片与光波导膜之间进行光通信。然而，如专利文献1那样在具备光学元件这样的光 通信单元的基板与光波导这样的光通信单元之间进行光通信时，存在如下问题:如果没有 以高精度将这些光通信单元彼此进行位置对准而安装，则无法进行光通信;如果不聚光，则 光损耗(信号强度)会减小。
[0004] 为了解决该问题，进行了在基板表面设置微透镜的操作。
[0005] 例如，专利文献2公开了在透明基板的表面设置有微透镜的带透镜基板。为了制造 该带透镜基板，在透明基板的表面形成感光性树脂抗蚀剂并且在基板的背面形成具有开口 部的遮光膜。接着，从遮光膜侧照射光，将感光性树脂抗蚀剂中存在于与遮光膜的开口部相 对位置的部分曝光后进行显影，形成圆柱状的抗蚀剂结构物。之后，加热该抗蚀剂结构物， 使抗蚀剂结构物的表面受热下垂(热fiL)，从而制造微透镜。
[0006] 现有技术文献
[0007] 专利文献
[0008] 专利文献1:日本特开2006-11210号公报 [0009] 专利文献2:日本特开2004-361858号公报 [0010] 专利文献3:日本特开2006-91537号公报
【发明内容】
[0011] 发明所要解决的课题
[0012] 作为透镜形成用材料，例如，公开了如专利文献3那样包含非感光性聚合物和具有 乙烯性不饱和基的化合物的树脂组合物，其通过加热处理而表现了曲面形状。然而，如果是 这样的材料体系，则聚合物成分与其他成分的交联稀疏，从而担忧因回流等透镜形成后的 后加热而使透镜的形状变乱，对聚光性产生不良影响。此外，另一方面，如果使用感光性的 聚合物成分，则在曝光时交联变密，能够抑制上述形状变乱，但预测难以通过加热处理来表 现曲面形状，从而无法得到期望的透镜曲率。
[0013] 本发明是为了解决上述课题而完成的，其目的在于，提供耐热性优异的曲面形状 构件形成用感光性树脂组合物、曲面形状构件形成用感光性树脂膜和使用它们形成的透镜 构件。
[0014] 用于解决课题的方法
[0015] 为了解决上述课题，本发明人等进行了深入研究，结果发现，通过使用含有聚合 物、具有与上述聚合物进行热反应的基团的聚合性化合物以及聚合引发剂的曲面形状构件 形成用感光性树脂组合物来解决上述课题。本发明是基于这样的见解而完成的。
[0016] 即，本发明提供:含有(A)聚合物、（B)具有与上述聚合物进行热反应的基团的聚合 性化合物以及(C)聚合引发剂的曲面形状构件形成用感光性树脂组合物;使用了该曲面形 状构件形成用感光性树脂组合物的曲面形状构件形成用感光性树脂膜;和使用该曲面形状 构件形成用感光性树脂组合物或曲面形状构件形成用感光性树脂膜形成的耐热性、曲面形 状形成性、透明性优异的透镜构件。
[0017]发明效果
[0018] 根据本发明，能够提供曲面形状构件形成用感光性树脂组合物和使用其得到的该 曲面形状构件形成用感光性树脂组合物膜，所述曲面形状构件形成用感光性树脂组合物可 溶于碱性水溶液，能够较自由地进行图案形成，并且使用其制造的透镜构件的耐热性、曲面 形状形成性、透明性优异。
【附图说明】
[0019] 图1是表示使用曲面形状构件形成用感光性树脂膜形成的透镜构件的制造方法的 截面图。
[0020] 图2是表示实施例和比较例中的透镜构件形状的照片。
[0021] 图3是表示实施例和比较例中的耐热性试验后的树脂表面形状的照片。
【具体实施方式】
[0022] 本发明的实施方式的曲面形状构件形成用感光性树脂组合物含有(A)聚合物、（B) 具有与聚合物进行热反应的基团的聚合性化合物和(C)聚合引发剂，优选为通过加热或活 性光线的照射而进行固化的树脂组合物。
[0023]以下，对本发明所使用的各成分进行说明。
[0024] [(A)成分]
[0025] 作为(A)成分的聚合物，一般优选具有碱可溶性，碱可溶性聚合物是指具有碱可溶 性基团（例如，羧基、磺酸基、酚羟基、醇羟基、氨基等）的聚合物，只要是能够溶解于碱水溶 液的聚合物即可。这样的聚合物没有特别限制，优选碱可溶性的（甲基）丙烯酸聚合物。此 外，作为碱可溶性基团，优选羧基。
[0026] 予以说明的是，（甲基)丙烯酸是指丙烯酸和/或甲基丙烯酸。
[0027] 作为碱可溶性（甲基)丙烯酸聚合物，只要是溶解于包含碱性水溶液的显影液，并 且具有能够完成目标显影处理的程度的溶解性的聚合物就没有特别限制。例如，优选举出 (甲基）丙烯酸、各种（甲基）丙烯酸酸酯（（甲基）丙烯酸烷基酯、（甲基）丙烯酸羟基烷基酯 等）、（甲基)丙烯酰胺等（甲基)丙烯酸系单体、它们与其他含有聚合性不饱和基的单体(苯 乙烯、α甲基苯乙烯、马来酸酐、N取代或未取代的马来酰亚胺单体等)等的聚合物。
[0028] 其中，从透明性、耐热性、在碱性水溶液中的溶解性的观点考虑，优选为使用Ν取代 马来酰亚胺的具有马来酰亚胺骨架的聚合物，更优选它与其他（甲基)丙烯酸系的共聚物。 进一步优选使用主链包含下述通式（1)、（2)所表示的结构单元(A-ι)和(A-2)，进一步包含 下述通式(3)、（4)所表示的结构单元(A-3)和(A-4)中的至少一者的碱可溶性（甲基)丙烯酸 聚合物。
[0029] 「化 Π
[0030]
[0031] 氢原子、碳原子数1~20的有机基团中的任一种。）
[0032]
[0033]
[0034] 氢原子、碳原子数1~20的有机基团中的任一种。）
[0035]
[0036]
[0037] 氢原子、碳原子数1~20的有机基团中的任一种。）
[0038]
[0039]
[0040] (式中，R1Q~R12和X1各自独立地表示氢原子、碳原子数1~20的有机基团中的任一 种。)
[0041 ] 作为通式（1)~(4)中的有机基团，例如，可举出烷基、环烷基、芳基、芳烷基、幾基、 烷氧基羰基、芳氧基羰基、氨甲酰基等1价或2价基团，它们可进一步被羟基、卤原子、烷基、 环烷基、芳基、芳烷基、幾基、烷氧基幾基、芳氧基幾基、氣甲醜基烷氧基、芳氧基、烧硫基、芳 硫基、氣基、甲娃烷基等取代。
[0042]在碱可溶性（甲基)丙烯酸聚合物中，来源于马来酰亚胺骨架的结构单元(A-1)的 含有率优选为大于或等于3质量％且小于或等于50质量％。如果小于3质量％，则无法得到 来源于马来酰亚胺的耐热性，如果多于50质量％，则透明性不充分，得到的树脂图案变脆。 从以上观点考虑，进一步优选大于或等于5质量％且小于或等于40质量％，特别优选大于或 等于10质量％且小于或等于30质量％。
[0043]来源于马来酰亚胺的结构单元(A-1)的结构只要为通式（1)所表示的结构就没有 特别限制。
[0044] 作为结构单元(A-1)的原料的马来酰亚胺，例如，可举出N-甲基马来酰亚胺、N-乙 基马来酰亚胺、N-丙基马来酰亚胺、N-异丙基马来酰亚胺、N-丁基马来酰亚胺、N-异丁基马 来酰亚胺、N-2-甲基-2-丙基马来酰亚胺、N-戊基马来酰亚胺、N-2-戊基马来酰亚胺、N-3-戊 基马来酰亚胺、N-2-甲基-1-丁基马来酰亚胺、N-2-甲基-2-丁基马来酰亚胺、N-3-甲基-1-丁基马来酰亚胺、N-3-甲基-2-丁基马来酰亚胺、N-己基马来酰亚胺、N-2-己基马来酰亚胺、 N-3-己基马来酰亚胺、N-2-甲基-1-戊基马来酰亚胺、N-2-甲基-2-戊基马来酰亚胺、N-2-甲 基-3-戊基马来酰亚胺、N-3-甲基-1-戊基马来酰亚胺、N-3-甲基-2-戊基马来酰亚胺、N-3-甲基-3-戊基马来酰亚胺、N-4-甲基-1-戊基马来酰亚胺、N-4-甲基-2-戊基马来酰亚胺、N-2,2_二甲基-1-丁基马来酰亚胺、N-3,3-二甲基-1-丁基马来酰亚胺、N-3,3-二甲基-2-丁基 马来酰亚胺、N-2,3-二甲基-1-丁基马来酰亚胺、N-2,3-二甲基-2-丁基马来酰亚胺、N-羟基 甲基马来酰亚胺、N-1-羟基乙基马来酰亚胺、N-2-羟基乙基马来酰亚胺、N-1-羟基-1-丙基 马来酰亚胺、N-2-羟基-1-丙基马来酰亚胺、N-3-羟基-1-丙基马来酰亚胺、N-1-羟基-2-丙 基马来酰亚胺、N-2-羟基-2-丙基马来酰亚胺、N-1-羟基-1-丁基马来酰亚胺、N-2-羟基-1-丁基马来酰亚胺、N-3-羟基-1-丁基马来酰亚胺、N-4-羟基-1-丁基马来酰亚胺、N-1-羟基-2-丁基马来酰亚胺、N-2-羟基-2-丁基马来酰亚胺、N-3-羟基-2-丁基马来酰亚胺、N-4-羟 基-2-丁基马来酰亚胺、N-2-甲基-3-羟基-1-丙基马来酰亚胺、N-2-甲基-3-羟基-2-丙基马 来酰亚胺、N-2-甲基-2-羟基-1-丙基马来酰亚胺、N-1-羟基-1-戊基马来酰亚胺、N-2-羟基-1-戊基马来酰亚胺、N-3-羟基-1-戊基马来酰亚胺、N-4-羟基-1-戊基马来酰亚胺、N-5-羟 基-1-戊基马来酰亚胺、N-1-羟基-2-戊基马来酰亚胺、N-2-羟基-2-戊基马来酰亚胺、N-3-羟基-2-戊基马来酰亚胺、N-4-羟基-2-戊基马来酰亚胺、N-5-羟基-2-戊基马来酰亚胺、N-1-羟基-3-戊基马来酰亚胺、N-2-羟基-3-戊基马来酰亚胺、N-3-羟基-3-戊基马来酰亚胺、 N-1-羟基-2-甲基-1-丁基马来酰亚胺、N-1-羟基-2-甲基-2-丁基马来酰亚胺、N-1-羟基-2-甲基-3-丁基马来酰亚胺、N-1-羟基-2-甲基-4-丁基马来酰亚胺、N-2-羟基-2-甲基-1-丁基 马来酰亚胺、N-2-羟基-2-甲基-3-丁基马来酰亚胺、N-2-羟基-2-甲基-4-丁基马来酰亚胺、 N-2-羟基-3-甲基-1-丁基马来酰亚胺、N-2-羟基-3-甲基-2-丁基马来酰亚胺、N-2-羟基-3-甲基-3-丁基马来酰亚胺、N-2-羟基-3-甲基-4-丁基马来酰亚胺、N-4-羟基-2-甲基-1-丁基 马来酰亚胺、N-4-羟基-2-甲基-2-丁基马来酰亚胺、N-1-羟基-3-甲基-2-丁基马来酰亚胺、 N-1-羟基-3-甲基-1-丁基马来酰亚胺、N-1-羟基-2,2-二甲基-1-丙基马来酰亚胺、N-3-羟 基-2,2-二甲基-1-丙基马来酰亚胺、N-1-羟基-1-己基马来酰亚胺、N-1-羟基-2-己基马来 酰亚胺、N-1-羟基-3-己基马来酰亚胺、N-1-羟基-4-己基马来酰亚胺、N-1-羟基-5-己基马 来酰亚胺、N-1-羟基-6-己基马来酰亚胺、N-2-羟基-1-己基马来酰亚胺、N-2-羟基-2-己基 马来酰亚胺、N-2-羟基-3-己基马来酰亚胺、N-2-羟基-4-己基马来酰亚胺、N-2-羟基-5-己 基马来酰亚胺、N-2-羟基-6-己基马来酰亚胺、N-3-羟基-1-己基马来酰亚胺、N-3-羟基-2- 己基马来酰亚胺、N-3-羟基-3-己基马来酰亚胺、N-3-羟基-4-己基马来酰亚胺、N-3-羟基-5-己基马来酰亚胺、N-3-羟基-6-己基马来酰亚胺、N-1-羟基-2-甲基-1-戊基马来酰亚胺、 N-1-羟基-2-甲基-2-戊基马来酰亚胺、N-1-羟基-2-甲基-3-戊基马来酰亚胺、N-1-羟基-2-甲基-4-戊基马来酰亚胺、N-1-羟基-2-甲基-5-戊基马来酰亚胺、N-2-羟基-2-甲基-1-戊基 马来酰亚胺、N-2-羟基-2-甲基-2-戊基马来酰亚胺、N-2-羟基-2-甲基-3-戊基马来酰亚胺、 N-2-羟基-2-甲基-4-戊基马来酰亚胺、N-2-羟基-2-甲基-5-戊基马来酰亚胺、N-2-羟基-3-甲基-1-戊基马来酰亚胺、N-2-羟基-3-甲基-2-戊基马来酰亚胺、N-2-羟基-3-甲基-3-戊基 马来酰亚胺、N-2-羟基-3-甲基-4-戊基马来酰亚胺、N-2-羟基-3-甲基-5-戊基马来酰亚胺、 N-2-羟基-4-甲基-1 -戊基马来酰亚胺、N-2-羟基-4-甲基-2-戊基马来酰亚胺、N-2-羟基-4-甲基-3-戊基马来酰亚胺、N-2-羟基-4-甲基-4-戊基马来酰亚胺、N-2-羟基-4-甲基-5-戊基 马来酰亚胺、N-3-羟基-2-甲基-1-戊基马来酰亚胺、N-3-羟基-2-甲基-2-戊基马来酰亚胺、 N-3-羟基-2-甲基-3-戊基马来酰亚胺、N-3-羟基-2-甲基-4-戊基马来酰亚胺、N-3-羟基-2-甲基-5-戊基马来酰亚胺、N-1-羟基-4-甲基-1-戊基马来酰亚胺、N-1-羟基-4-甲基-2-戊基 马来酰亚胺、N-1-羟基-4-甲基-3-戊基马来酰亚胺、N-1-羟基-4-甲基、N-1-羟基-3-甲基- 1- 戊基马来酰亚胺、N-1-羟基-3-甲基-2-戊基马来酰亚胺、N-1-羟基-3-甲基-3-戊基马来 酰亚胺、N-1-羟基-3-甲基-4-戊基马来酰亚胺、N-1-羟基-3-甲基-5-戊基马来酰亚胺、N-3-羟基-3-甲基-1-戊基马来酰亚胺、N-3-羟基-3-甲基-2-戊基马来酰亚胺、N-1-羟基-3-乙 基-4-丁基马来酰亚胺、N-2-羟基-3-乙基-4-丁基马来酰亚胺、N-2-羟基-2-乙基-1-丁基马 来酰亚胺、N-4-羟基-3-乙基-1-丁基马来酰亚胺、N-4-羟基-3-乙基-2-丁基马来酰亚胺、N-4-羟基-3-乙基-3-丁基马来酰亚胺、N-4-羟基-3-乙基-4-丁基马来酰亚胺、N-1-羟基-2,3-二甲基-1-丁基马来酰亚胺、N-1-羟基-2,3-二甲基-2-丁基马来酰亚胺、N-1-羟基-2,3-二 甲基-3-丁基马来酰亚胺、N-1-羟基-2，3-二甲基-4-丁基马来酰亚胺、N-2-羟基-2，3-二甲 基-1-丁基马来酰亚胺、N-2-羟