切割装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及切割装置。本申请基于2012年10月12日在日本申请的特愿2012-227023号而主张优先权，将其内容引用于此。
【背景技术】
[0002]一直以来，作为切割玻璃板等板状脆性材料的切割装置，提出了一种装置，其具备对玻璃板等被加工部件照射激光而局部地加热的激光照射部、和向通过该激光加热的被加工部件喷射冷却剂的冷却剂喷射部(例如，参照专利文献I)。
[0003]在这种切割装置中，如果对被加工部件喷射冷却剂，那么冷却剂将因喷射的冲势溅回并飞溅于周围。如果飞溅的冷却剂还飞溅至用于加热被加工部件的激光所通过的激光通过区域，那么飞溅的冷却剂吸收激光的一部分，不能充分加热被加工部件。对于这种问题，在专利文献I中，通过在冷却区域和加热区域之间设置屏蔽板，从而防止冷却剂向激光通过区域的飞溅。
[0004]在先技术文献专利文献
专利文献1:日本特开2008-49375号公报。
【发明内容】
[0005]发明要解决的问题
可是，在前述的切割装置中，因被加工部件的材质或厚度使激光的照射导致的加热条件的有效界限变得非常狭窄。因而，在加工这种加热条件的有效界限狭窄的被加工部件的情况下，为了维持期望的切割精度，需要将加热条件严格地管理在规定的范围内。尤其是进行高速加工时，由于需要增加冷却剂的喷射量，因而需要更加严格的管理。
[0006]但是，在需要大量的冷却剂等情况下，即使如专利文献I那样设置屏蔽板，也难以完全消除冷却剂飞溅至激光通过区域的影响，难以将加热条件管理在规定的范围内。尤其是，在将被加工部件保持于加工平台上，并将被加工部件向激光照射部的下方接着向冷却剂喷射部的下方连续地移送的情况下，被加工部件的前端侧到达激光照射部的下方，在对被加工部件仅仅进行激光照射导致的加热处理的初期加工时，和被加工部件的前端侧到达冷却剂喷射部的下方，冷却剂喷射导致的冷却和激光照射导致的加热分别在加工部件的不同区域同时地进行的中期加工时以后之间，将激光照射导致的加热条件管理在规定的范围内是非常困难的。因而，在现有技术中，因为不能良好地进行加热条件的管理，故不能良好地进行切割，不能获得期望的切割精度。
[0007]本发明是鉴于这种状况而做出的，其目的在于提供能够将激光照射导致的加热条件管理在规定的范围内并由此能够获得期望的切割精度的切割装置。
[0008]用于解决问题的方案
本发明人为了达成前述目的而进行锐意研宄的结果是得出以下见解在被加工部件的前端部到达激光照射部的下方，对被加工部件仅仅进行激光照射导致的加热处理的初期加工时，和被加工部件的前端部到达冷却剂喷射部的下方，冷却剂喷射导致的冷却和激光照射导致的加热分别在加工部件的不同区域同时地进行的中期加工时以后之间，难以管理激光照射导致的加热条件的主要理由是，因为来自冷却剂喷射部的冷却剂对激光通过区域引起的影响在初期加工时和中期加工时以后之间变化很大”。而且，本发明人基于这种见解而进一步重复研宄的结果，完成了本发明。
[0009]即，本发明的第一方式为一种切割装置，其具备:使板状的被加工部件浮起的加工台；在前述被加工部件上照射激光的激光照射部；在前述被加工部件上喷射冷却剂的冷却剂喷射部；使前述被加工部件相对前述激光照射部和前述冷却剂喷射部在预先设定的方向上相对移动的移动机构；该切割装置从前述激光照射部向设定于前述被加工部件上的加热区域照射激光而加热该加热区域，并通过前述移动机构使前述被加工部件在预先设定的方向上相对移动，从前述冷却剂喷射部向设定于加热后的前述加热区域上的冷却区域喷射冷却剂而冷却前述冷却区域。在该切割装置中，在前述加工台的前述被加工部件相对移动的移动方向上的前述被加工部件的前方，设置有飞溅部件，其受到来自前述冷却剂喷射部的冷却剂的喷射并使该冷却剂飞溅。
[0010]另外，本发明的第二方式为，在前述第一方式的切割装置中，前述加工台具备多个浮起板，其在与前述被加工部件通过前述移动机构而相对移动的方向垂直的方向上空开间隔并排，前述移动机构具备夹持前述被加工部件的前端部并沿着前述间隔的长度方向行进的夹紧部件，前述飞溅部件配置在前述间隔内。
[0011 ] 另外，本发明的第三方式为，在前述第二方式的切割装置中，设置多个前述夹紧部件，前述夹紧部件在前述被加工部件的前端部的宽度方向上的不同位置处夹持被加工部件。
[0012]本发明的第四方式为一种切割装置，其为与前述第一方式的切割装置不同的切割装置，具备:载置板状的被加工部件的加工台；在前述被加工部件上照射激光的激光照射部；在前述被加工部件上喷射冷却剂的冷却剂喷射部；使前述加工台相对前述激光照射部和前述冷却剂喷射部在预先设定的方向上相对移动的移动机构；该切割装置从前述激光照射部向设定于前述被加工部件上的加热区域照射激光而加热前述加热区域，并通过前述移动机构使前述加工台在预先设定的方向上相对移动，由此，使前述被加工部件在预先设定的方向上相对移动，从前述冷却剂喷射部向设定于加热后的前述加热区域上的冷却区域喷射冷却剂而冷却前述冷却区域。在该切割装置中，设置有飞溅部件，其从前述加工台相对移动的移动方向上的该加工台的前端向前述移动方向的前方伸出，受到来自前述冷却剂喷射部的冷却剂的喷射并使前述冷却剂飞溅。
[0013]另外，本发明的第五方式为，在前述第一至第四方式的任一切割装置中，前述飞溅部件在前述被加工部件通过前述移动机构而相对移动的方向上的长度，比前述冷却区域的前述相对移动的方向上的前端与前述加热区域的前述相对移动的方向上的后端之间的距离更长。
[0014]另外，本发明的第六方式为，在前述第一至第四方式的任一切割装置中，在从前述激光照射部照射的激光通过前述激光照射部和前述加热区域之间的激光通过区域，和从前述冷却剂喷射部喷射的冷却剂通过前述冷却剂喷射部和前述冷却区域之间的冷却剂通过区域之间，设置有屏蔽体，其在与前述被加工部件之间设置间隙而配置，并且设置有气体喷射部，其朝向前述屏蔽体和前述被加工部件之间的间隙，从前述激光通过区域侧喷射气体。
[0015]发明的效果
依照本发明的切割装置，在被加工部件相对移动的移动方向上的该被加工部件的前方，设置有受到来自冷却剂喷射部的冷却剂的喷射并使该冷却剂飞溅的飞溅部件，或者，设置有在加工台相对移动的移动方向上的前端侧比该加工台更向前述移动方向伸出、受到来自前述冷却剂喷射部的前述冷却剂的喷射并使该冷却剂飞溅的飞溅部件。因而，即使在被加工部件的前端部到达激光照射部的下方，被加工部件仅仅受到激光照射导致的加热处理的初期加工时，从冷却剂喷射部喷射的冷却剂也通过飞溅部件而飞溅。
[0016]因而，在被加工部件的前端部到达冷却剂喷射部的下方，冷却剂喷射导致的冷却和激光照射导致的加热分别在被加工部件的不同区域同时地进行的中期加工时以后，成为与冷却剂通过被加工部件而飞溅时的条件相同的条件，来自冷却剂喷射部的冷却剂在激光通过区域上引起的影响在初期加工时和中期加工时以后之间基本相同。因而，能够将激光照射导致的加热条件管理成在初期加工时和中期加工时以后之间基本相同，即在规定的范围内。由此，能够得到期望的切割精度。
【附图说明】
[0017]图1A是示出本发明的切割装置的第一实施方式的大体构成的侧视图。
[0018]图1B是示出本发明的切割装置的第一实施方式的大体构成的俯视图。
[0019]图2A是示出图1A和图1B所示的切割装置的初期加工时的状态的侧视图。
[0020]图2B是示出图1A和图1B所示的切割装置的初期加工时的状态的俯视图。
[0021]图3A是示出图1A和图1B所示的切割装置的中期加工时的状态的侧视图。
[0022]图3B是示出图1A和图1B所示的切割装置的中期加工时的状态的俯视图。
[0023]图3C是示出图1A和图1B所示的切割装置的中期加工时的状态的关键部分放大图。
[0024]图4A是示出本发明的切割装置的第二实施方式的大体构成的侧视图。
[0025]图4B是示出本发明的切割装置的第二实施方式的大体构成的俯视图。
[0026]图5是用于说明图4A和图4B所示的切割装置的前工序的侧视图。
【具体实施方式】
[0027](第一实施方式)
下面，参照附图详细