硅芯清洗装置及清洗效果判断方法与流程

本发明涉及多晶硅生产技术领域，具体而言，涉及一种硅芯清洗装置及清洗效果判断方法。

背景技术：

硅芯在包装前一般需要清洗、烘干等环节后才能进行包装，此方法操作环节较多，期间容易玷污硅芯表面，无法用肉眼进行直观辨识是否酸洗干净；而且酸洗时采用具有强腐蚀性的强酸，用量极大，工作人员操作时存在极大的安全隐患。

技术实现要素：

本发明旨在提供一种硅芯清洗装置，以解决现有技术中的硅芯清洗操作环节较多，期间容易玷污硅芯表面、无法检测是否清洗干净以及存在极大安全隐患的问题。

本发明的另一目的在于提供一种采用上述硅芯清洗装置的硅芯清洗效果判断方法，代替人工目测直观判断，避免因人为感官判断时造成的误差。

本发明的实施例是这样实现的：

一种硅芯清洗装置，其包括硅芯清洗装置包括清洗室、风干室以及检测室；清洗室、风干室以及检测室依次相邻设置。清洗室具备有上端开口的清洗池。风干室设置在清洗室与检测室之间。检测室靠近风干室的设置；检测室能够检测硅芯是否清洗干净。

本发明的实施例中提供的硅芯清洗装置，清洗室、风干室以及检测室依次相邻设置；硅芯在清洗室内清洗过后，经风干室风干后，置于检测室内检测，检测硅芯是否清洗干净，本发明的实施例中提供的硅芯清洗装置设置检测室对硅芯进行检测，代替人工目测直观判断，避免因人为感官判断时造成的误差，具有判断精确，减少操作工序，节省人力资源，提高安全性能的有益效果。

在本发明的一个实施例中：

上述硅芯清洗装置还包括传送装置；传送装置包括至少两个夹持件，每个夹持件的夹持面水平设置；夹持件传动连接有第一驱动装置以及第二驱动装置；第一驱动装置用于带动夹持件水平运动；第二驱动装置用于带动夹持件竖直运动。

在本发明的一个实施例中：

上述夹持件的夹持面开设有容纳硅芯的分割槽。

在本发明的一个实施例中：

上述检测室内设置有检测探头；检测探头包括两个相对设置的检测部；两个检测部形成一端具有开口的检测空间；检测探头远离监测空间的开口的一端连接有第三驱动装置；第二驱动装置用于带动检测探头沿着检测室的长度方向移动。

在本发明的一个实施例中：

上述检测室还包括处理装置；处理装置与检测探头电连接。

在本发明的一个实施例中：

上述处理装置还连接有机械手。

一种硅芯清洗效果判断方法，采用上述任意一种硅芯清洗装置，硅芯清洗效果判断方法的步骤如下：

清洗工序：将硅芯置于清洗池内进行清洗；

风干工序：将清洗完毕的硅芯置于风干室进行风干；

检测工序：对风干过后的硅芯置于检测室进行检测；检测硅芯是否清洗干净。

在本发明的一个实施例中：

上述检测工序中，采用检测探头沿着待检硅芯的长度方向对其进行扫描，将扫描拍摄的照片按照序列传递给处理装置，所述处理装置对存在污点的硅芯进行识别。

在本发明的一个实施例中：

上述检测工序中，处理装置中的识别模块对硅芯的照片进行识别，识别出存在污点的照片，并将该存在污点的照片的信号传递给处理装置中的标记模块，处理装置中的标记模块对存在污点的硅芯的位置及硅芯编号传递给处理装置中的控制模块。

在本发明的一个实施例中：

上述检测工序后还包括回收工序，控制模块控制机械手将检测清洗不合格硅芯取出，放入硅芯收集箱内。

本发明实施例的有益效果是：

本发明的实施例中提供的硅芯清洗装置，清洗室、风干室以及检测室依次相邻设置；硅芯在清洗室内清洗过后，经风干室风干后，置于检测室内检测，检测硅芯是否清洗干净，本发明的实施例中提供的硅芯清洗装置设置检测室对硅芯进行检测，代替人工目测直观判断，避免因人为感官判断时造成的误差，具有判断精确，减少操作工序，节省人力资源，提高安全性能的有益效果。

本发明提供的硅芯清洗效果判断方法，采用上述的硅芯清洗装置，因此也具有判断精确，减少操作工序，节省人力资源，提高安全性能的有益效果。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本发明的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。

图1为本发明实施例中提供的硅芯清洗装置在第一视角下的整体结构示意图；

图2为本发明实施例中提供的硅芯清洗装置在第二视角下的整体结构示意图；

图3为本发明实施例中提供的硅芯清洗装置的检测探头的结构示意图；

图4为本发明实施例中提供的硅芯清洗装置的检测室的原理框图；

图5为本发明实施例中提供的硅芯清洗装置的夹持件的结构示意图。

图标：10-硅芯清洗装置；100-清洗室；200-风干室；210-吹风装置；300-检测室；310-检测探头；312-检测部；314-检测空间；320-处理装置；322-识别模块；324-标记模块；326-控制模块；330-显示屏；340-机械手；400-传送装置；410-夹持件；412-分割槽；420-第一驱动装置；430-第二驱动装置。

具体实施方式

为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本发明实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。

因此，以下对在附图中提供的本发明的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本发明的范围，而是仅仅表示本发明的选定实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。

在本发明实施例的描述中，需要说明的是，若出现术语“上”、“下”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该发明产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，本发明的描述中若出现术语“第一”、“第二”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本发明实施例的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，若出现术语“设置”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

实施例1：

图1为本发明实施例中提供的硅芯清洗装置10在第一视角下的整体结构示意图；图2为本发明实施例中提供的硅芯清洗装置10在第二视角下的整体结构示意图。请参照图1并结合图2，本实施例提供一种硅芯清洗装置10，其包括清洗室100、风干室200、检测室300以及传送装置400；清洗室100、风干室200以及检测室300依次相邻设置，传送装置400用于传送硅芯至相应的位置。清洗室100具备有上端开口的清洗池，风干室200设置在清洗室100与检测室300之间，检测室300靠近风干室200的设置；检测室300能够检测硅芯是否清洗干净。从图中可以看出风干室200延长度方向的两端设置有吹风装置210。

图3为本发明实施例中提供的硅芯清洗装置10的检测探头310的结构示意图。请参照图3，在本实施例中，检测室300内设置有检测探头310；检测探头310包括两个相对设置的检测部312；两个检测部312形成一端具有开口的检测空间314；检测探头310远离监测空间的开口的一端连接有第三驱动装置(图中未示出)；第三驱动装置用于带动检测探头310沿着检测室300的长度方向移动。在检测室300内设置有检测探头310；检测探头310包括两个相对设置的检测部312；两个检测部312形成一端具有开口的检测空间314，便于对处于检测室300内的硅芯进行全方位地检测，使得检测更加精确。在检测探头310远离监测空间的开口的一端连接有第三驱动装置；第三驱动装置用于带动检测探头310沿着检测室300的长度方向移动，由于硅芯较长为检测方便，需将检测室300内的检测探头310设计为可移动探头便于对硅芯进行更加全面的检测，提高检测精度。

需要说明的是，在本实施例中，在检测室300内设置有检测探头310；检测探头310包括两个相对设置的检测部312；两个检测部312形成一端具有开口的检测空间314，便于对处于检测室300内的硅芯进行全方位地检测，使得检测更加精确。可以理解的，在其他具体实施例中，也可以根据用户的需求，将检测装置设置为其他形状。

还需要说明的是，在本实施例中，在检测探头310远离监测空间的开口的一端连接有第三驱动装置；第三驱动装置用于带动检测探头310沿着检测室300的长度方向移动，由于硅芯较长为检测方便，需将检测室300内的检测探头310设计为可移动探头便于对硅芯进行更加全面的检测，提高检测精度。可以理解的，在其他具体实施例中，也可以根据用户的需求，采用手动或者其他方式带动检测探头310检测硅芯。

在本实施例中，检测探头310设置为扫描仪，将检测探头310设置为扫描仪，扫描仪在日常中较为常见，增加检测探头310的可匹配性。

还需要说明的是，在本实施例中，将检测探头310设置为扫描仪，扫描仪在日常中较为常见，增加检测探头310的可匹配性。可以理解的，在其他具体实施例中，也可以根据用户的需求，将检测探头310设置为其他装置。

在本实施例中，检测室300还包括处理装置320；处理装置320与检测探头310电连接。在检测室300内设置与检测探头310电连接的处理装置320，扫描装置对检测室300内的硅芯进行全方位扫描，之后将扫描装置快速拍摄的照片按照序列传递给处理装置320，处理装置320做出相应的措施。

图4为本发明实施例中提供的硅芯清洗装置10的检测室300的原理框图。请参照图4，在本实施例中，处理装置320包括识别模块322、标记模块324以及控制模块326；扫描装置对检测室300内的硅芯进行全方位扫描，之后将扫描装置拍摄的照片按照序列传递给处理装置320的识别模块322，识别模块322对硅芯的照片一一进行识别，识别出存在污点的照片。并将该存在的照片的信号传递给标记模块324，标记模块324对存在污点的硅芯的位置及硅芯编号传递给控制模块326，便于控制模块326做出相应的处理。需要说明的是，在其他具体实施例中，也可以根据用户的需求，将处理装置320设置其他形式。

在本实施例中，处理装置320还连接有显示屏330。处理装置320的标记模块324与显示屏330电连接，便于在显示屏330中观察检测室300内存在污点的硅芯的位置以及编号，将存在污渍或是没有清洗干净的硅芯的编号及位置呈现在显示屏330上。便于对没有清洗干净的硅芯做出相应的措施。

需要说明的是，在本实施例中，处理装置320的标记模块324与显示屏330电连接，便于在显示屏330中观察检测室300内存在污点的硅芯的位置以及编号，将存在污渍或是没有清洗干净的硅芯的编号及位置呈现在显示屏330上。便于对没有清洗干净的硅芯做出相应的措施。可以理解的，在其他具体实施例中，也可以根据用户的需求，不设置显示屏330。

在本实施例中，处理装置320还连接有机械手340。设置机械手340，将处理装置320中的控制模块326与机械手340电连接，标记模块324对存在污点的硅芯的位置及硅芯编号传递给控制模块326，控制模块326将标记模块324传来的信号进行处理分析，控制机械手340运行到存在污点的硅芯的位置，将存在污点的硅芯夹持出来，便于进行再次清洗或者其他处理方式。

需要说明的是，在本实施例中，将处理装置320中的控制模块326与机械手340电连接，标记模块324对存在污点的硅芯的位置及硅芯编号传递给控制模块326，控制模块326将标记模块324传来的信号进行处理分析，控制机械手340运行到存在污点的硅芯的位置，将存在污点的硅芯夹持出来，便于进行再次清洗或者其他处理方式。可以理解的，在其他具体实施例中，也可以根据用户的需求，不设置机械手340或者采用其他结构将清洗不合格硅芯取出。

在本实施例中，硅芯清洗装置10还包括硅芯收集箱(图中不可见)；硅芯收集箱靠近检测室300设置，设置硅芯收集箱便于机械手340将清洗不合格的硅芯取出后放置在硅芯收集箱上，后将清洗不合格硅芯放置清洗池内进行第二次清洗。

需要说明的是，在本实施例中，设置硅芯收集箱便于机械手340将清洗不合格的硅芯取出后放置在硅芯收集箱上，后将清洗不合格硅芯放置清洗池内进行第二次清洗。可以理解的，在其他具体实施例中，也可以根据用户的需求，不设置硅芯收集箱或者采用其他结构或者工具回收初次清洗不合格的硅芯。

在本实施例中，硅芯清洗装置10还包括传送装置400；传送装置400包括至少两个夹持件410，每个夹持件410的夹持面水平设置；夹持件410传动连接有第一驱动装置420以及第二驱动装置430；第一驱动装置420用于带动夹持件410水平运动；第二驱动装置430用于带动夹持件410竖直运动。采用第一驱动装置420便于夹持件410在清洗室100、风干室200以及检测室300之间流动。采用第二驱动装置430便于将夹持件410所加持的硅芯放置在清洗池内清洗。减少人工操作，节约人力且避免人工引起的危险以及避免人工玷污硅芯。

需要说明的是，在本实施例中，采用第一驱动装置420便于夹持件410在清洗室100、风干室200以及检测室300之间流动。采用第二驱动装置430便于将夹持件410所加持的硅芯放置在清洗池内清洗。减少人工操作，节约人力且避免人工引起的危险以及避免人工玷污硅芯。可以理解的，在其他具体实施例中，也可以根据用户的需求，不设置传送装置400。

图5为本发明实施例中提供的硅芯清洗装置10的夹持件410的结构示意图。请参照图5，在本实施例中，夹持件410的夹持面开设有容纳硅芯的分割槽412。在夹持件410的夹持面开设有容纳硅芯的分割槽412是为了便于分离硅芯，使位于夹持面上的硅芯相互分离，便于清洗以及便于检测。

需要说明的是，在本实施例中，在夹持件410的夹持面开设有容纳硅芯的分割槽412是为了便于分离硅芯，使位于夹持面上的硅芯相互分离，便于清洗以及便于检测。可以理解的，在其他具体实施例中，也可以根据用户的需求，不设置分割槽412。

在本实施例中，分割槽412外表面设置有弹性防滑层。在分割槽412外表面设置有弹性防滑层是为了避免分割槽412内的硅芯在传送过程中滑落，增大硅芯清洗装置10的稳定性。

需要说明的是，在本实施例中，在分割槽412外表面设置有弹性防滑层是为了避免分割槽412内的硅芯在传送过程中滑落，增大硅芯清洗装置10的稳定性。可以理解的，在其他具体实施例中，也可以根据用户的需求，不设置弹性防滑层。

本发明的实施例中提供的硅芯清洗装置10，清洗室100、风干室200以及检测室300依次相邻设置；硅芯在清洗室100内清洗过后，经风干室200风干后，置于检测室300内检测，检测硅芯是否清洗干净，本发明的实施例中提供的硅芯清洗装置10设置检测室300对硅芯进行检测，代替人工目测直观判断，避免因人为感官判断时造成的误差，具有判断精确，减少操作工序，节省人力资源，提高安全性能的有益效果。

本发明的实施例中还提供了一种硅芯清洗效果判断方法，硅芯清洗效果判断方法采用上述的硅芯清洗装置10实现；

硅芯清洗效果判断方法的步骤如下：

清洗工序：将硅芯置于清洗池内进行清洗；

风干工序：将清洗完毕的硅芯置于风干室200进行风干；

检测工序：对风干过后的硅芯置于检测室300进行检测；检测硅芯是否清洗干净。

在本实施例中，硅芯的清洗工序采用第一驱动装置420便于夹持件410在清洗室100、风干室200以及检测室300之间流动。采用第二驱动装置430便于将夹持件410所加持的硅芯放置在清洗池内清洗。减少人工操作，节约人力且避免人工引起的危险以及避免人工玷污硅芯。

需要说明的是，在本实施例中，设置采用第一驱动装置420便于夹持件410在清洗室100、风干室200以及检测室300之间流动。采用第二驱动装置430便于将夹持件410所加持的硅芯放置在清洗池内清洗。减少人工操作，节约人力且避免人工引起的危险以及避免人工玷污硅芯。可以理解的，在其他具体实施例中，也可以根据用户的需求，不设置自动传送的工序。

在本实施例中，检测工序中，采用检测探头310沿着待检硅芯的长度方向对其进行扫描，将扫描拍摄的照片按照序列传递给处理装置320，处理装置320对存在污点的硅芯进行识别。采用移动监测探头沿着硅芯的长度方向对硅芯进行扫描，便于对硅芯进行全方位的扫描，提高检测精度；采用处理装置320便于对存在污点的硅芯做出相应的处理措施。

需要说明的是，在本实施例中，采用移动监测探头沿着硅芯的长度方向对硅芯进行扫描，便于对硅芯进行全方位的扫描，提高检测精度。可以理解的，在其他具体实施例中，也可以根据用户的需求，采用其他检测装置对硅芯进行扫描。

在本实施例中，在检测工序中，处理装置320中的识别模块322对硅芯的照片进行识别，识别出存在污点的照片，并将该存在污点的照片的信号传递给处理装置320中的标记模块324，处理装置320中的标记模块324对存在污点的硅芯的位置及硅芯编号传递给处理装置320中的控制模块326，处理装置320中的控制模块326作出相应的处理。采用处理装置320中的识别模块322、标记模块324以及控制模块326即可实现对存在污点的硅芯进行识别并对其做出相应的处理。

需要说明的是，在本实施例中，采用处理装置320中的识别模块322、标记模块324以及控制模块326即可实现对存在污点的硅芯进行识别并对其做出相应的处理。可以理解的，在其他具体实施例中，也可以根据用户的需求，处理装置320采用其他模块组成。

在本实施例中，在检测工序后还包括回收工序，控制模块326控制机械手340将检测清洗不合格硅芯取出，放入硅芯收集箱内。设置该回收工序便于更好地清洗硅芯，并对检测清洗不合格的硅芯进行二次清洗。

需要说明的是，在本实施例中，在检测工序中，添加回收工序，将检测清洗不合格硅芯采用机械手340取出，放入硅芯收集箱内，后再次投放进清洗池内进行清洗。设置该回收工序便于更好地清洗硅芯，并对检测清洗不合格的硅芯进行二次清洗。可以理解的，在其他具体实施例中，也可以根据用户的需求，不设置回收工序或者采用其他方式对检测清洗不合格的硅芯进行处理。

本发明的实施例中提供的硅芯清洗效果判断方法，在采用上述的硅芯清洗装置10工作的过程中，传送装置400的夹持件410将待清洗的硅芯放置在清洗池内清洗。清洗完毕后，在第二驱动装置430的作用下带动夹持件410向上移动脱离清洗池。并在第一驱动装置420的作用下，将硅芯运送至风干室200。对硅芯进行风干处理后，在第一驱动装置420的作用下将硅芯运送至检测室300内，使硅芯置于检测探头310的检测空间314内，第三驱动装置带动检测探头310沿着硅芯的长度方向移动，便于对硅芯进行更加全面的拍照，检测探头310利用利用拍照功能将硅芯各处的照片呈序列发送至处理装置320的识别模块322，处理装置320的识别模块322对存在污点的硅芯进行识别，识别出存在污点的照片。并将该存在的照片的信号传递给标记模块324，标记模块324对存在污点的硅芯的位置及硅芯编号传递给控制模块326以及显示屏330。控制模块326接收该存在污点的硅芯的位置及硅芯编号的信号后，将标记模块324传来的信号进行处理分析，并控制机械手340运行到存在污点的硅芯的位置，将存在污点的硅芯夹持出来，放置在硅芯收集箱中，便于将清洗不合格硅芯放置清洗池内进行第二次清洗。显示屏330接收该存在污点的硅芯的位置及硅芯编号的信号后，将存在污渍或是没有清洗干净的硅芯的编号及位置呈现在显示屏330上，便于用户观察存在污点的硅芯的位置及编号。本发明的实施例中提供的硅芯清洗效果判断方法，由于采用上述的硅芯清洗装置10，因此也具有判断精确，减少操作工序，节省人力资源，提高安全性能的有益效果。

以上所述仅为本发明的优选实施例而已，并不用于限制本发明，对于本领域的技术人员来说，本发明可以有各种更改和变化。凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。