用于材料结晶的混合坩埚的利记博彩app

技术总结
本发明涉及包括框架和底板的混合坩埚。所述坩埚的特征为：选择用于两个部件的热导率被优化的材料。所述坩埚适于制造结晶材料。此外，还公开了制造结晶材料的方法。

技术研发人员：亨利克·弗朗茨;克里斯多夫·莫舍;安德里亚·兹梅尔曼;阿米·文歌特;凯·穆勒;迈克尔·霍曼
受保护的技术使用者：ALD真空技术股份有限公司
文档号码：201580012185
技术研发日：2015.03.06
技术公布日：2016.11.16