一种溅射靶材与背板的连接组件的利记博彩app
【技术领域】
[0001] 本实用新型涉及一种溅射靶材的组件，具体涉及一种靶材与背板的连接组件。
【背景技术】
[0002] 工业应用的多种溅射靶材是由符合溅射要求的靶与背板连接而成的组件，在现有 溅射技术下，靶材组件工作条件恶劣，溅射时靶材一侧处于高温真空下，而背板一侧则通以 一定压力的冷却水强冷，因此靶材组件两侧形成巨大的温度差和压力差，同时，靶材一侧受 到高压电场和强磁场中各种粒子的轰击，有大量热量产生。因此，靶材制造中对焊接质量有 着严格要求，焊接必须具有良好的导热性，能够将溅射产生的热量传导至冷却水；焊缝必须 具有一定的强度，否则将导致靶材在受热条件下发生变形、开裂，影响成膜质量甚至对对溅 射机台造成损伤。
[0003] 通常，现有靶材与背板的大面积焊接以钎焊和热等静压（HIP)方式进行。钎焊焊 料一般为铟和锡，但是受铟和锡的熔点限制，这种连接方式仅适合于尺寸较小、溅射功率较 低的靶材组件。当溅射功率增大到一定程度后，这种靶材组件将会因为焊料的熔化而失效。 HIP焊接可以保证靶材的高强度焊接，并适用于大功率溅射，但HIP工艺温度较高，易改变 靶材内部组织结构，降低靶材性能。为了保证靶材质量，需开发出一种新型靶材与背板的连 接组件。
[0004] 专利CN101564793A公开了 一种铝靶材坯料与铝合金背板的焊接方法，其是采 取的常规的扩散焊接方法，焊接前在靶坯与背板外添加包套，工艺复杂，焊接周期长。 CN102430865A公开了一种替代钎焊的靶材焊接方法及形成的靶材组件，它采用背板上加工 燕尾槽连接靶坯和背板并形成组合件。该方法的主要缺陷为靶坯材料并不能完全填充结合 缝隙，结合强度偏小，从而影响靶材质量。此外，该组合件的加工量大，容易变形。因此，设 计一种保证高质量连接性能与使用性能且方便加工的靶材是十分必要的。 【实用新型内容】
[0005] 针对现有技术的上述问题，本实用新型提供一种溅射靶材与背板的连接组件，实 现大面积靶材与背板的快速可靠焊接，保证产品质量和加工效率。
[0006] 为实现上述目的，本实用新型提供以下技术方案：
[0007] -种溅射靶材与背板的连接组件，该连接组件由溅射靶材部和背板部组成；
[0008] 该溅射靶材部的连接面上具有凸台，在凸台上设有多个凸缘；背板部的连接面上 具有嵌槽，在嵌槽内设有多个凹槽；该嵌槽的形状、位置与该凸台相配合；该多个凸缘的形 状、位置分别与该多个凹槽相配合；
[0009] 相邻凹槽间与溅射靶材连接的表面上设有复数个凸齿；
[0010] 该溅射靶材部和背板部相互嵌合连接，连接形成的组件中溅射靶材的凸台嵌入背 板的嵌槽中，同时凸台上凸缘嵌入嵌槽内的凹槽中，凹槽间的凸齿压合嵌入溅射靶材中； [0011] 嵌合的溅射靶材部和背板部边缘采用真空封焊。
[0012] 如上所述的组件，优选地，所述凸台上的多个凸缘，每个凸缘为环型，多个凸缘呈 同心环形排布；所述嵌槽上的多个凹槽，每个凹槽为环型，多个凹槽呈同心环形排布，且其 尺寸和位置分别与该多个凸缘相对应。
[0013] 如上所述的组件，优选地，所述凸缘的轴向横截面为矩形，所述凹槽的轴向横截面 为梯形，底角α <90°，该凸缘的截面面积不大于凹槽的截面面积。
[0014] 如上所述的组件，优选地，所述革El材上每个凸缘宽为l-10mm，高度为0. 2-5mm，排 列间距为l-l〇mm。
[0015] 如上所述的组件，优选地，所述背板上凹槽宽为l-10mm，深度为0. 2-5mm，排列间 距为 I-IOmm0
[0016] 如上所述的组件，优选地，所述凸齿数不少于2个，单个凸齿宽为0. 5-5_，凸齿深 为 0· 1-5mm〇
[0017] 本实用新型的有益效果具体体现在以下几个方面：
[0018] 1、实现靶材与背板的大面积连接，适用材料广泛；
[0019] 2、该组件要求靶材与背板加工配合尺寸较为宽泛，利于加工，提高了生产效率；
[0020] 3、该组件可采用热等静压、冷等静压、热压等多种方法对靶材和背板进行连接处 理，加热温度低，连接压力小，对设备要求低；
[0021] 4、该组件中通过真空封焊靶材和背板，使连接处处于真空状态，有效防止了连接 面的氧化，提高结合性能。
[0022] 5、采用新型凸齿形设计，凸缘与凹槽的配合可保证靶材材料完全填充凸齿形缝 隙，提高了结合强度，通过加压的方式进行靶材与背板的连接，连接后可完全填充结合缝 隙，提高了靶材与背板的结合强度，结合强度达到30MPa以上，焊合率达到98%以上，保证 了靶材质量。
【附图说明】
[0023] 图1是本实用新型一种优先实施方式中靶材组件的轴向剖面图；
[0024] 图2是图1所示靶材组件连接前靶材和背板各自的轴向剖面图；
[0025] 图3是靶材连接面示意图，其中a为轴向剖面图，包含局部放大的凸缘示意图，b为 凸缘排列的平面示意图；
[0026] 图4是背板连接面示意图，其中a为轴向剖面图，包含局部放大的凹槽和凸齿形示 意图；b为凹槽和凸齿形排列的平面示意图（其中，凸齿形特征未在图中显示）；
[0027] 图5是本实用新型一种优选实施方式的靶材与背板结合面示意图；
[0028] 图6是本实用新型一种优选实施方式的靶材与背板结合面示意图；
[0029] 图7是靶材和背板在封焊后压合示意图。
[0030] 图8是图6中靶材与背板结构压合后组件的靶材与背板连接的剖面示意图。
【具体实施方式】
[0031] 下面结合具体实施例对本实用新型的组件作进一步说明。
[0032] 实施例1高纯Al (99. 9995% )与606IAl合金背板的连接组件
[0033] 如图1所示，该连接组件由高纯Al溅射靶材部I和6061A1合金背板部II组成， 溅射靶材部直径280mm ;背板部直径320mm。
[0034] 如图2所示，在高纯Al靶材部连接面上